《數(shù)字化轉(zhuǎn)型和跨學(xué)科實(shí)踐暑期研討會(huì)》詳解
數(shù)字化轉(zhuǎn)型和跨學(xué)科實(shí)踐暑期研討會(huì)
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按照組成成分和應(yīng)用工藝不同,濕電子化學(xué)品可分為通用性和功能性濕電子化學(xué)品。通用濕電子化學(xué)品以超凈高純?cè)噭橹?,一般為單組份、單功能、被大量使用的液體化學(xué)品,按照性質(zhì)劃分可分為:酸類、堿類、有機(jī)溶劑類和其他類。酸類包括氫氟酸、硝酸、鹽酸、硫酸、磷酸等;堿類包括氨水、氫氧化鈉、氫氧化鉀等;有機(jī)溶劑類包括甲醇、乙醇、異丙醇、**、乙酸乙酯等;其他類包括雙氧水等。功能濕電子化學(xué)品指通過復(fù)配手段達(dá)到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的復(fù)配類化學(xué)品,即在單一的超凈高純?cè)噭ɑ蚨喾N超凈高純?cè)噭┑呐浜希┗A(chǔ)上,加入水、有機(jī)溶劑、螯合劑、表面活性劑混合而成的化學(xué)品。例如剝離液、顯影液、蝕刻液、清洗液等。由于多數(shù)功能濕電子化學(xué)品是復(fù)配的化學(xué)品,是混合物,它的理化指標(biāo)很難通過普通儀器定量檢測(cè),只能通過應(yīng)用手段來評(píng)價(jià)其有效性。 專業(yè)配方,博洋剝離液是您的明智之選。杭州鋁鉬鋁蝕刻液剝離液產(chǎn)品介紹
所述過濾器包括多個(gè)并列排布的子過濾器,所述道包括多個(gè)子管道,每一所述子管道與一子過濾器連通,且所述多個(gè)子管道與當(dāng)前級(jí)腔室對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱連通。在一些實(shí)施例中,所述第二管道包括公共子管道及多個(gè)第二子管道,每一所述第二子管道與一子過濾器連通,每一所述第二子管道與所述公共子管道連通,所述公共子管道與所述下一級(jí)腔室連通。在一些實(shí)施例中,所述閥門開關(guān)設(shè)置在每一所述子管道上。在一些實(shí)施例中,所述閥門開關(guān)設(shè)置在每一所述第二子管道上。在一些實(shí)施例中,所述閥門開關(guān)設(shè)置在每一所述子管道及每一所述第二子管道上。在一些實(shí)施例中,所述第二管道包括多個(gè)第三子管道,每一所述第三子管道與一子過濾器連通,且每一所述第三子管道與所述下一級(jí)腔室連通。在一些實(shí)施例中,所述閥門開關(guān)設(shè)置在每一所述第三子管道上。本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法,包括:將多級(jí)腔室順序排列,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級(jí)向剝離基板提供剝離液;將來自于當(dāng)前級(jí)腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲(chǔ)于當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的存儲(chǔ)箱中,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑;使用當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的過濾器過濾來自當(dāng)前級(jí)腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級(jí)腔室。杭州配方剝離液什么價(jià)格ITO剝離液的配方是什么?
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,特別是涉及一種用于包括但不限于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中光刻膠去除步驟的光刻膠剝離去除方法。背景技術(shù):光刻膠是一大類具有光敏化學(xué)作用(或?qū)﹄娮幽芰棵舾?的高分子聚合物材料,是轉(zhuǎn)移紫外曝光或電子束曝照?qǐng)D案的媒介。光刻膠的也稱為光致抗蝕劑、光阻等,其作用是作為抗刻蝕層保護(hù)襯底表面。光刻膠廣泛應(yīng)用于集成電路(ic)、封裝(packaging)、微機(jī)電系統(tǒng)(mems)、光電子器件光子器件(optoelectronics/photonics)、平板顯示其(led、lcd、oled)和太陽能光伏(solarpv)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,離子注入層光刻膠(參考圖2)在經(jīng)過高劑量或大分子量的源種注入后(參考圖3),會(huì)在光刻膠的外層形成一層硬殼(參考圖4)本發(fā)明命名為主要光刻膠層?,F(xiàn)有的離子注入層光刻膠在經(jīng)過氧氣灰化干法剝離時(shí),由于等離子氧與光刻膠反應(yīng)速率很高,會(huì)有一部分等離子氧先穿透主要光刻膠層到達(dá)第二光刻膠層,在與第二光刻膠層反應(yīng)后在內(nèi)部產(chǎn)生大量氣體,第二層光刻膠膨脹(參考圖5),主要光刻膠層終因承受不住內(nèi)層巨大的氣壓而爆裂,爆裂的光刻膠有一定的概率掉落在臨近的光刻膠上(參考圖6),導(dǎo)致此交疊的光刻膠不能法剝離干凈。在經(jīng)過后續(xù)批作業(yè)的濕法剝離后會(huì)產(chǎn)生殘余物。
所述卷邊輥與所述膠面收卷輥通過皮帶連接,所述收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)與所述膠面收卷輥通過導(dǎo)線連接。進(jìn)一步的,所述電加熱箱與所述干燥度感應(yīng)器通過導(dǎo)線連接,所述電氣控制箱與所述液晶操作面板通過導(dǎo)線連接。進(jìn)一步的,所述主支撐架由合金鋼壓制而成,厚度為5mm。進(jìn)一步的,所述干燥度感應(yīng)器與所述電氣控制箱通過導(dǎo)線連接。進(jìn)一步的,所述防濺射擋板共有兩塊,傾斜角度為45°。進(jìn)一步的,所述電氣控制箱與所述表面印刷結(jié)構(gòu)通過導(dǎo)線連接,所述電氣控制箱與所述膠面剝離結(jié)構(gòu)通過導(dǎo)線連接。本技術(shù)的有益效果在于:采用黏合方式對(duì)印刷品膠面印刷進(jìn)行剝離,同時(shí)能夠?qū)τ∷⑵纺z面進(jìn)行回收,節(jié)約了大量材料,降低了生產(chǎn)成本。剝離液中加入特有添加劑可有效保護(hù)對(duì)應(yīng)金屬;
IC去除剝離液MSDS1.產(chǎn)品屬性產(chǎn)品形式:混合溶液產(chǎn)品名稱:ANS-908產(chǎn)品功能描述:用于COG重工,使IC與玻璃無損傷分離2.組成成份化學(xué)名稱CASNo含量%(v)1-METHYL-2-PYRROLIDINONE872-50-445~90N,N-DIMETHYLACETAMIDE127-19-510~58Other12~45SurfactantThickener3.危險(xiǎn)識(shí)別可燃性液體和蒸汽警示標(biāo)識(shí)外觀:透明或微黃氣味:類氨對(duì)人類和環(huán)境的危害:對(duì)眼睛和皮膚有刺激性吸入:會(huì)引起呼吸道受刺激,肝臟、腎受傷害,對(duì)系統(tǒng)有影響攝取:會(huì)引起呼吸道和消化道刺激長(zhǎng)期接觸:會(huì)引起皮膚傷害4.緊急處理吸入:移至空氣新鮮處,呼吸困難時(shí)輸氧、看醫(yī)生攝?。貉杆賴I吐或者看醫(yī)生皮膚接觸:用大量水沖洗15分鐘以上,更換衣服、鞋,或者看醫(yī)生眼睛接觸:用大量水沖洗15分鐘以上,嚴(yán)重時(shí)看醫(yī)生5.防火措施合適的滅火裝置:水槍、泡沫滅火器、干粉滅火器、CO2滅火器特別防護(hù)措施:穿戴防護(hù)面罩閃點(diǎn):>110℃自燃溫度:>340℃6.意外泄漏注意事項(xiàng)人員:避免吸入,避免皮膚、眼睛、衣物的接觸,霧狀時(shí)戴防護(hù)面罩環(huán)境:迅速移除火源,避免吸入和接觸清潔方法:大量泄漏應(yīng)截流并泵入容器,用吸附材料吸掉殘余物;少量泄漏用水沖洗7.存儲(chǔ)和搬運(yùn)搬運(yùn):遠(yuǎn)離火源、煙霧;不要吸入蒸汽。剝離液的成分分類有哪幾種;浙江銅鈦蝕刻液剝離液按需定制
天馬微電子用的哪家的剝離液?杭州鋁鉬鋁蝕刻液剝離液產(chǎn)品介紹
利用提升泵將一級(jí)過濾罐中濾液抽取到攪拌釜內(nèi);再向攪拌釜中輸入沉淀劑,如酸性溶液,與前述濾液充分?jǐn)嚢杌旌显俅挝龀龀恋砦铮炊?jí)線性酚醛樹脂,打開二級(jí)過濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥,帶有沉淀物的混合液進(jìn)入二級(jí)過濾罐中,由其中的過濾筒過濾得到二級(jí)線性酚醛樹脂,廢液二級(jí)過濾罐底部的廢液出口流出,送往剝離成分處理系統(tǒng)。上述過濾得到的一級(jí)線性酚醛樹脂可用于光刻膠產(chǎn)品的原料,而二級(jí)線性酚醛樹脂可用于其他場(chǎng)合。綜上,實(shí)現(xiàn)了對(duì)光刻膠樹脂的充分的回收利用,回收率得到提高。附圖說明圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是過濾筒的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式如圖1、圖2所示,該光刻膠廢剝離液回收裝置,包括攪拌釜10和與攪拌釜10連通的過濾罐,所述過濾罐的數(shù)量為兩個(gè),由一級(jí)過濾罐16和二級(jí)過濾罐13組成。所述一級(jí)過濾罐16和二級(jí)過濾罐13在垂直方向上位于攪拌釜10下方,一級(jí)過濾罐16和二級(jí)過濾罐13的進(jìn)料管路15、14分別與攪拌釜10底部連通,且進(jìn)料管路15、14上分別設(shè)有電磁閥18、17。所述一級(jí)過濾罐16的底部出液口19連接有提升泵6,所述提升泵6的出料管路末端與攪拌釜10頂部的循環(huán)料口7連通。攪拌釜10頂部另設(shè)有廢剝離液投料口5和功能切換口3。杭州鋁鉬鋁蝕刻液剝離液產(chǎn)品介紹