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來源: 發(fā)布時間:2024-04-12

    來對所述待加工表面進行減薄??蛇x地,還包括:在所述磁轉(zhuǎn)子運行一段時間后,更換所述磁轉(zhuǎn)子??蛇x地,將待加工部件固定在托盤上包括:采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤上??蛇x地,對所述待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后,還包括:對所述待加工部件進行清洗;采用特定溶液對所述光刻膠進行腐蝕,以將所述待加工部件與所述托盤分離。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明所提供的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點:本發(fā)明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法,采用托盤固定待加工部件,采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對所述待加工表面進行拋光,采用磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對待加工表面進行機械研磨,來對所述待加工表面進行減薄,由于減薄過程中待加工部件如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件如inp基晶圓的擠壓應力,降低待加工部件如inp基晶圓的機械加工損傷。附圖說明為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖是本發(fā)明的實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。減薄清洗劑,專為提升產(chǎn)品質(zhì)量而設(shè)計,讓您的產(chǎn)品更出色。寧波中芯國際用減薄用清洗劑銷售公司

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    圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖;圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖;圖5為圖3中的局部放大圖;圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖;圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖;圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。圖中數(shù)字表示:1-轉(zhuǎn)換區(qū);2-沖洗區(qū);3-蝕刻區(qū);4-玻璃加工治具;31-腔室;32-主厚度測量儀;33-噴淋組件;41-底座;42-支撐架;43-底支撐件;44-側(cè)支撐件;421-豎直平板;422-側(cè)板;423-固定板;424-水平槽;425-豎直槽;426-固定槽;427-固定卡塊;428-定位槽;429-定位孔;431-支撐條;432-第二支撐條;433-連接部;434-接觸部;435-磁性件;436-第二磁性件;437-限位孔;438-限位塊;439-第二限位塊。具體實施方式以下結(jié)合附圖,對本發(fā)明上述的和另外的技術(shù)特征和優(yōu)點作更詳細的說明。實施例一如圖1所示,圖1為所述玻璃減薄設(shè)備的結(jié)構(gòu)視圖;本發(fā)明中所述玻璃減薄設(shè)備包括轉(zhuǎn)換區(qū)1、沖洗區(qū)2和蝕刻區(qū)3,所述沖洗區(qū)2設(shè)置于所述轉(zhuǎn)換區(qū)1和所述蝕刻區(qū)3之間,豎直容納在玻璃加工治具4中的多個玻璃通過所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被加載到所述沖洗區(qū)2中,在所述沖洗區(qū)2中進行減薄前清潔并且在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理。寧波中芯國際用減薄用清洗劑銷售公司哪里可以買到玻璃清洗劑;

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    通過旋緊螺釘使螺釘?shù)亩祟^部分與所述支撐條431或所述第二支撐條432接觸,從而實現(xiàn)對所述連接部433的固定,避免所述連接部433在振動時發(fā)生脫離等情況。同時螺釘?shù)脑O(shè)置,可實現(xiàn)所述底支撐件43結(jié)構(gòu)的快速裝卸,便于維修更換。值得指出的是,為達到防止所述連接部433脫離的效果,所述限位塊438和所述第二限位塊439并非于設(shè)置為螺釘,通過在所述限位塊438和所述第二限位塊439的端部設(shè)置橫截面合適的部件,使所述限位塊438、所述第二限位塊439與所述連接部433卡接,即可實現(xiàn)螺釘?shù)男Ч?。所述接觸部434設(shè)置有弧形槽,玻璃的下邊緣設(shè)置于所述弧形槽內(nèi),從而實現(xiàn)所述底支撐件43對玻璃的位置固定。在進行減薄或其他加工過程中,玻璃通過所述玻璃加工治具4進行移動或放置時,均會產(chǎn)生振動;同時在進行蝕刻沖刷時,在酸液沖擊的作用下由于玻璃底部固定,易使玻璃產(chǎn)生彎曲,通過所述底支撐件43的結(jié)構(gòu)設(shè)置,可實現(xiàn)設(shè)置于所述接觸部434上玻璃的懸浮柔性支撐,有效緩沖玻璃所受到的外界壓力或沖擊力,避免振動或沖擊對玻璃帶來的損傷;同時可有效降低所述玻璃加工治具4往復移動帶來的振動,使玻璃底部在所述連接部433的限制下進行小幅度的移動,在保證玻璃在所述玻璃加工治具4上有效擺動。蘇州哪家公司的減薄用清洗劑的口碑比較好?

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    磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上,用于通過旋轉(zhuǎn)對待加工部件20的待加工表面進行機械研磨,對待加工表面進行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應力,降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷??蛇x地,本發(fā)明實施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當然,本發(fā)明并不限于此,在其他實施例中,待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進行鍵合固定?;诖?,如圖2所示,本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14,該熱板14設(shè)置在托盤10底部,用于對托盤10進行加熱,以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地,將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,之后,將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上,將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強于待加工部件20上進行鍵合,鍵合時間20min。本發(fā)明實施例中,采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,來對待加工部件20的待加工表面進行拋光。需要說明的是。蘇州質(zhì)量好的減薄用清洗劑的公司聯(lián)系方式。池州哪里減薄用清洗劑私人定做

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