可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時,值得指出的時,所述豎直平板421上所述側(cè)支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式,具體的,所述豎直平板421上設(shè)置有若干豎槽,所述豎槽單側(cè)豎直有若干定槽,對應(yīng)所述定槽設(shè)置有帶有固定塊的安裝板,所述安裝板對應(yīng)所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有至少2個所述固定塊,所述安裝板遠(yuǎn)離所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有所述側(cè)支撐件44,通過將所述固定塊分別設(shè)置于所述定槽內(nèi),從而實(shí)現(xiàn)所述側(cè)支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側(cè)板422上的所述側(cè)支撐件44的設(shè)置,從而實(shí)現(xiàn)對所述玻璃加工治具4上玻璃的側(cè)邊位置固定,同時,通過所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的設(shè)置,可實(shí)現(xiàn)所述側(cè)板422上所述側(cè)支撐件44的位置調(diào)節(jié),從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃,并可根據(jù)具體玻璃尺寸同時放置不同尺寸的玻璃進(jìn)行減薄處理。實(shí)施例五一般的,對于實(shí)施例四中的所述玻璃加工治具4結(jié)構(gòu),可通過調(diào)節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示,圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖;圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖;所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。選擇專業(yè)減薄用清洗劑,為您的產(chǎn)品質(zhì)量保駕護(hù)航。臺州哪里減薄用清洗劑推薦貨源
磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上,用于通過旋轉(zhuǎn)對待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,對待加工表面進(jìn)行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力,降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷。可選地,本發(fā)明實(shí)施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當(dāng)然,本發(fā)明并不限于此,在其他實(shí)施例中,待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進(jìn)行鍵合固定?;诖耍鐖D2所示,本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14,該熱板14設(shè)置在托盤10底部,用于對托盤10進(jìn)行加熱,以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地,將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,之后,將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上,將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件20上進(jìn)行鍵合,鍵合時間20min。本發(fā)明實(shí)施例中,采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,來對待加工部件20的待加工表面進(jìn)行拋光。需要說明的是。上海國產(chǎn)減薄用清洗劑商家減薄用清洗劑,助您實(shí)現(xiàn)精密加工,提升產(chǎn)品品質(zhì)。
并控制磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11每間隔20s旋轉(zhuǎn)10s,也就是說,控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)10s,控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn)后,控制噴頭噴涂拋光液10s,停止噴涂拋光液10s后,控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)10s,以此類推。本發(fā)明實(shí)施例中,控制部件在脈沖工作模式下,實(shí)現(xiàn)減薄和拋光兩種工藝交替作用,使得減薄和拋光一體化完成,整個過程穩(wěn)定,速度快,控制性好,重復(fù)度高,無粉塵污染,襯底減薄終厚度達(dá)到20μm,拋光面ra<2nm。還需要說明的是,本發(fā)明實(shí)施例中,在減薄的過程中,可以不斷更換磁轉(zhuǎn)子12,如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時后,將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子,以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密,避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。此外,本發(fā)明實(shí)施例中,在完成拋光和減薄后,可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進(jìn)行清洗,用di水沖洗干凈,40℃的氮?dú)獯蹈伞V?,將清洗后的待加工部?0和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,使得待加工部件20和托盤10自動分離,取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種拋光減薄方法,如圖5所示,包括:s101:將待加工部件固定在托盤上,待加工部件包括inp基晶圓;可選地。
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降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷。由于本發(fā)明實(shí)施例中采用光刻膠對托盤和待加工部件進(jìn)行了固定,因此,對待加工部件的待加工表面進(jìn)行拋光和減薄之后,還包括:對待加工部件進(jìn)行清洗;采用特定溶液對光刻膠進(jìn)行腐蝕,以將待加工部件與托盤分離。具體地,在完成拋光和減薄后,可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進(jìn)行清洗,用di水沖洗干凈,40℃的氮?dú)獯蹈伞V?,將清洗后的待加工部?0和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,使得待加工部件20和托盤10自動分離,取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實(shí)施例提供的方法,還包括:在磁轉(zhuǎn)子運(yùn)行一段時間后,更換磁轉(zhuǎn)子。如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時后,可以將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子,以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密,避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。本說明書中各個實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述,每個實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處,各個實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。對于實(shí)施例公開的裝置而言,由于其與實(shí)施例公開的方法相對應(yīng),所以描述的比較簡單,相關(guān)之處參見方法部分說明即可。對所公開的實(shí)施例的上述說明。使用減薄用清洗劑的需要什么條件。杭州哪家公司減薄用清洗劑技術(shù)指標(biāo)
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經(jīng)減薄處理后的玻璃可再次進(jìn)入所述沖洗區(qū)2以經(jīng)歷減薄后清潔并且通過所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被卸載到外部;所述玻璃減薄設(shè)備還設(shè)置有制動組件,通過所述制動組件實(shí)現(xiàn)所述玻璃加工治具4從所述轉(zhuǎn)換區(qū)1經(jīng)所述沖洗區(qū)2向所述蝕刻區(qū)3的減薄前移動,以及從所述蝕刻區(qū)3經(jīng)所述沖洗區(qū)2向所述轉(zhuǎn)換區(qū)1的減薄后移動。在本實(shí)施例中,圖1內(nèi)并排設(shè)置有2個所述玻璃減薄設(shè)備,所述沖洗區(qū)2包括沖洗區(qū)2、第二沖洗區(qū)2和第三沖洗區(qū)2,所述第二沖洗區(qū)2設(shè)置于所述沖洗區(qū)2和所述第三沖洗區(qū)2之間,所述沖洗區(qū)2設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)2和所述轉(zhuǎn)換區(qū)1之間,所述第三沖洗區(qū)2設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)2和所述蝕刻區(qū)3之間。所述轉(zhuǎn)換區(qū)1可升降的折疊式結(jié)構(gòu),從而便于所述玻璃加工治具4在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1的放置或卸下。較佳的,所述轉(zhuǎn)換區(qū)1還設(shè)置有裝卸臂,通過所述裝卸臂可實(shí)現(xiàn)對所述玻璃加工治具4的上下料,以及單片玻璃的拿取檢測。實(shí)施例二如圖2所示,圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖;所述蝕刻區(qū)3包括腔室31、主厚度測量儀32、噴淋組件33和控制器;所述噴淋組件33在所述腔室31中對設(shè)置于所述玻璃加工治具4上的玻璃施加減薄處理,所述主厚度測量儀32實(shí)時測量在所述腔室31內(nèi)經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度。臺州哪里減薄用清洗劑推薦貨源