從而在玻璃側(cè)部提供支撐效果,通過所述底支撐件43和所述側(cè)支撐件44實(shí)現(xiàn)玻璃在所述玻璃加工治具4上的支撐穩(wěn)定效果。較佳的,所述底支撐件43和所述側(cè)支撐件44可均采用ptfe材質(zhì)。較佳的,所述側(cè)支撐件44設(shè)置為叉狀型結(jié)構(gòu),即所述側(cè)支撐件44包括兩叉腳,所述玻璃側(cè)邊邊緣設(shè)置于兩所述叉腳間,兩所述叉腳在一端連接,兩所述叉腳間距離從連接端向非連接端的方向逐漸增大,兩所述叉腳間的大距離大于玻璃的厚度,限制玻璃兩對應(yīng)側(cè)部邊緣的兩所述側(cè)支撐件44之間的水平距離大于玻璃兩側(cè)部邊緣之間的水平距離,即當(dāng)玻璃通過兩側(cè)的所述側(cè)支撐件44進(jìn)行支撐限制時(shí),玻璃的兩側(cè)部邊緣在兩所述叉腳間空間內(nèi)均具有一定的調(diào)整間隙,從而在所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng),玻璃的兩側(cè)部邊緣相較于所述側(cè)支撐件44進(jìn)行一定的位置移動(dòng),從而避免所述側(cè)支撐件44長期于玻璃的同一位置接觸緊貼。所述側(cè)支撐件44的結(jié)構(gòu)設(shè)置,使所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)沿直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)的過程中,所述側(cè)支撐件44與玻璃之間的接觸點(diǎn)發(fā)生變化,從而避免所述側(cè)支撐件44與玻璃之間的接觸點(diǎn)因所述側(cè)支撐件44的長期接觸造成接觸點(diǎn)無法被噴淋液噴淋,若接觸點(diǎn)無法被噴淋,易造成玻璃的減薄缺陷。哪家減薄用清洗劑的質(zhì)量比較好。深圳哪家減薄用清洗劑產(chǎn)品介紹
所述支撐條431和所述第二支撐條432一一平行對應(yīng)設(shè)置,所述連接部433活動(dòng)連接所述支撐條431和所述第二支撐條432,所述支撐條431固定設(shè)置于所述底座41上,所述接觸部434均勻設(shè)置在所述第二支撐條432上。同時(shí)可通過設(shè)置所述支撐條431的高度或所述支撐條431的固定位置從而調(diào)節(jié)所述底支撐件43的高度,如通過將上述支撐條431的兩端固定在兩所述豎直平板421上。較佳的,所述支撐條431和所述第二支撐條432上設(shè)置有磁性組,所述支撐條431和所述第二支撐條432在所述磁性組提供的磁性斥力作用下具有調(diào)節(jié)間隙。所述磁性組包括磁性件435和第二磁性件436,所述磁性件435和所述第二磁性件436分別設(shè)置于所述支撐條431和所述第二支撐條432上,且所述磁性件435和所述第二磁性件436之間具有磁性斥力,從而使所述第二支撐條432懸浮于所述支撐條431的上方。所述連接部433設(shè)置有限位孔437,所述限位孔437設(shè)置為腰型孔,所述支撐條431的水平兩側(cè)均設(shè)置有若干限位塊438,所述第二支撐條432的水平兩側(cè)均設(shè)置有若干第二限位塊439,所述限位塊438和所述第二限位塊439一一對應(yīng)設(shè)置,對應(yīng)設(shè)置的所述限位塊438和所述第二限位塊439均設(shè)置在同一所述連接部433的所述限位孔437內(nèi)。南通好用的減薄用清洗劑按需定制去除多余涂層,減薄用清洗劑是您不可或缺的好幫手。
降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷。由于本發(fā)明實(shí)施例中采用光刻膠對托盤和待加工部件進(jìn)行了固定,因此,對待加工部件的待加工表面進(jìn)行拋光和減薄之后,還包括:對待加工部件進(jìn)行清洗;采用特定溶液對光刻膠進(jìn)行腐蝕,以將待加工部件與托盤分離。具體地,在完成拋光和減薄后,可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進(jìn)行清洗,用di水沖洗干凈,40℃的氮?dú)獯蹈伞V?,將清洗后的待加工部?0和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,使得待加工部件20和托盤10自動(dòng)分離,取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實(shí)施例提供的方法,還包括:在磁轉(zhuǎn)子運(yùn)行一段時(shí)間后,更換磁轉(zhuǎn)子。如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時(shí)后,可以將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子,以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密,避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。本說明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述,每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處,各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。對于實(shí)施例公開的裝置而言,由于其與實(shí)施例公開的方法相對應(yīng),所以描述的比較簡單,相關(guān)之處參見方法部分說明即可。對所公開的實(shí)施例的上述說明。
用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于激光束的預(yù)定部分并因此瞬時(shí)去除噴淋液,從而可得到更準(zhǔn)確地玻璃厚度測量數(shù)據(jù)。一般的,所述目標(biāo)厚度為減薄處理后所需求玻璃的理論厚度值,所述理論厚度值為具有公差的范圍值。所述玻璃減薄生產(chǎn)線還包括輔助厚度測量儀,所述輔助厚度測量儀設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中并用于再次測量經(jīng)減薄處理后的玻璃厚度,所述輔助厚度測量儀將測得玻璃厚度發(fā)送到所述控制器。所述輔助厚度測量儀的設(shè)置可降低所述主厚度測量儀32失靈或因所述蝕刻區(qū)3中的阻礙因素不能正確測量玻璃厚度時(shí)異常操作而造成的玻璃減薄缺陷,所述阻礙因素可以為噴淋液的噴淋阻礙或所述玻璃加工治具4的振動(dòng)。所述控制器基于所述輔助厚度測量儀測得的玻璃厚度確定在所述蝕刻區(qū)3中是否正常執(zhí)行減薄處理或者所述主厚度測量儀32是否正確工作。一般的,從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃的厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍,則所述控制器確定所述主厚度測量儀32無法正確工作或者在所述蝕刻區(qū)3中沒有正常執(zhí)行減薄處理。在這種情況下,所述控制器發(fā)出警報(bào)來通知管理者,所述主厚度測量儀32失靈或者所述蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常。所述主厚度測量儀32失靈或所述者蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常可能是暫時(shí)的。減薄用清洗劑的的概費(fèi)用是多少?
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故所述控制器在從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍時(shí),可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區(qū)3,并且控制玻璃在所述蝕刻區(qū)3中再次經(jīng)歷減薄處理,以將玻璃處理為目標(biāo)厚度。同時(shí)通過所述輔助厚度測量儀提前測量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度,可與所述主厚度測量儀32檢測的初始厚度作對比,可判斷所述主厚度測量儀32是否失靈,從而在后期根據(jù)所述輔助厚度測量儀的檢測數(shù)據(jù)判斷是否需再次進(jìn)入所述腔室31。具體的,當(dāng)所述輔助厚度測量儀檢測厚度與所述主厚度測量儀32檢測的初始檢測厚度不在公差范圍之內(nèi),可判斷所述主厚度測量儀32失靈;在當(dāng)后期減薄后所述輔助厚度測量儀的檢測厚度不符合目標(biāo)厚度時(shí),可判斷所述主厚度測量儀32非暫時(shí)失靈,所述控制器警報(bào)提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內(nèi),而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區(qū)撤出,并等待所述主厚度測量儀32的維修完成。實(shí)施例七采用本發(fā)明所述玻璃減薄生產(chǎn)線的具體工藝流程為:s1,將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1內(nèi),經(jīng)所述沖洗區(qū)2減薄前清洗后轉(zhuǎn)移至所述蝕刻區(qū)3,所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理;具體的,在所述蝕刻區(qū)3中進(jìn)行減薄處理期間。深圳哪家減薄用清洗劑產(chǎn)品介紹