本發(fā)明提供如下技術方案:一種拋光減薄裝置,包括:托盤,用于固定待加工部件,所述待加工部件包括inp基晶圓;噴頭,用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,以對所述待加工表面進行拋光;磁轉子,放置在所述待加工部件的待加工表面上,用于通過旋轉對所述待加工表面進行機械研磨,對所述待加工表面進行減薄??蛇x地,還包括控制部件;所述控制部件與所述磁轉子和所述噴頭相連,用于控制所述噴頭和所述磁轉子交替工作,以對所述待加工表面交替進行拋光和減薄??蛇x地,所述磁轉子包括截面為半圓形的柱狀磁性結構和位于所述磁性結構底部的研磨層,以通過所述研磨層對所述待加工表面進行機械研磨??蛇x地,所述研磨層為金屬氧化物層,所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層??蛇x地,還包括:熱板,設置于所述托盤底部,用于對所述托盤進行加熱,以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定??蛇x地,所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法,包括:將待加工部件固定在托盤上,所述待加工部件包括inp基晶圓;通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對所述待加工表面進行拋光;通過磁轉子旋轉對所述待加工表面進行機械研磨。高效去除涂層,減薄用清洗劑讓您的生產更順暢。寧波清洗效果好的減薄用清洗劑配方技術
用于實現(xiàn)將所述玻璃加工治具從所述轉換區(qū)經所述沖洗區(qū)向所述蝕刻區(qū)的減薄前移動,以及從所述蝕刻區(qū)經所述沖洗區(qū)向所述轉換區(qū)的減薄后移動;所述沖洗區(qū)設置于所述轉換區(qū)和所述蝕刻區(qū)之間。較佳的,所述蝕刻區(qū)包括腔室、主厚度測量儀、噴淋組件和控制器;所述主厚度測量儀、所述噴淋組件設置于所述腔室上,所述噴淋組件在所述腔室中對設置于所述玻璃加工治具上的玻璃施加減薄處理,所述主厚度測量儀實時測量在所述腔室內經歷減薄處理的玻璃厚度;所述控制器與所述噴淋組件、所述主厚度測量儀、所述傳輸組件連接。較佳的,所述噴淋組件包括設置于所述腔室頂部的噴淋頭、設置于所述腔室底部的收集槽、以及與所述噴淋頭、所述收集槽均連通的外部噴淋液管路,通過所述噴淋頭對所述玻璃加工治具上的玻璃噴淋噴淋液從而實現(xiàn)玻璃的減薄處理,所述收集槽收集減薄處理后的噴淋液并傳輸至所述噴淋液管路從所述腔室內排出。較佳的,所述主厚度測量儀包括用于發(fā)射激光束的發(fā)射器、用于接收被玻璃反射光束的接收器以及用于分析所述接收器中接收光束并且計算玻璃厚度的分析器。較佳的,所述主厚度測量儀還包括空氣噴射器,用于將空氣噴射到玻璃表面,將被檢測部位暴露于所述發(fā)射器對應位置。廣東顯示面板用減薄用清洗劑減薄清洗劑,良好品質,值得信賴,讓您的加工更輕松。
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故所述控制器在從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃厚度超出目標厚度的公差范圍時,可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區(qū)3,并且控制玻璃在所述蝕刻區(qū)3中再次經歷減薄處理,以將玻璃處理為目標厚度。同時通過所述輔助厚度測量儀提前測量待經歷減薄處理的玻璃厚度,可與所述主厚度測量儀32檢測的初始厚度作對比,可判斷所述主厚度測量儀32是否失靈,從而在后期根據(jù)所述輔助厚度測量儀的檢測數(shù)據(jù)判斷是否需再次進入所述腔室31。具體的,當所述輔助厚度測量儀檢測厚度與所述主厚度測量儀32檢測的初始檢測厚度不在公差范圍之內,可判斷所述主厚度測量儀32失靈;在當后期減薄后所述輔助厚度測量儀的檢測厚度不符合目標厚度時,可判斷所述主厚度測量儀32非暫時失靈,所述控制器警報提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內,而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區(qū)撤出,并等待所述主厚度測量儀32的維修完成。實施例七采用本發(fā)明所述玻璃減薄生產線的具體工藝流程為:s1,將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉換區(qū)1內,經所述沖洗區(qū)2減薄前清洗后轉移至所述蝕刻區(qū)3,所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3中經歷減薄處理;具體的,在所述蝕刻區(qū)3中進行減薄處理期間。減薄用清洗劑的人概費用是多少?
即兩所述側板422之間設置有一排所述固定板423,從而形成對應設置有所述側支撐件44的所述豎直平板421,在各所述放置部內放置有一排玻璃,可實現(xiàn)所述放置部結構的小型化,便于在同一所述玻璃加工治具4上設置若干所述放置部以使各所述放置部對應不同尺寸的玻璃。圖4為所述調節(jié)槽的另一種實施方式,所述調節(jié)槽包括若干所述水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的所述豎直槽425,所述固定槽426設置于所述水平槽424的下邊緣;兩所述豎直平板421均設置有所述側支撐件44,同一所述水平槽424可設置兩個所述固定卡塊427,即兩所述側板422之間設置有兩排所述固定板423,兩所述固定板423分別對應兩所述豎直平板421,使在同一所述放置部內分割處兩個放置空間,從而在各所述放置部內可放置兩排玻璃,便于節(jié)省所述玻璃加工治具4上的有限空間,可大尺寸玻璃和小尺寸玻璃配合設置于同一所述放置部內。較佳的,兩相鄰所述水平槽424之間還設置有至少兩個定位槽428,所述固定板423兩端設置有定位孔429,當所述固定卡塊427設置于所述固定槽426內時,所述定位槽428和所述定位孔429位置對應;通過將螺釘穿過所述固定槽426螺紋固定在所述定位孔429中,保證所述固定卡塊427在所述固定槽426內。去除多余涂層,選擇減薄用清洗劑,效果好。惠州市面上哪家減薄用清洗劑按需定制
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圖1為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結構示意圖;圖2為本發(fā)明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖;圖3為本發(fā)明實施例提供的一種磁轉子的結構示意圖;圖4為本發(fā)明實施例提供一種磁轉子的旋轉方式的示意圖;圖5為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發(fā)明的思想,為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂,下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。本發(fā)明實施例提供了一種拋光減薄裝置,用于對inp基晶圓等部件進行拋光減薄,如圖1所示,包括托盤10、噴頭11和磁轉子12,當然,本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括反應室13等,托盤10、噴頭11和磁轉子12等在反應室13內進行拋光和減薄反應。其中,托盤10,可選為石英托盤,用于固定待加工部件20,待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,以對待加工表面進行拋光。寧波清洗效果好的減薄用清洗劑配方技術