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來源: 發(fā)布時間:2023-12-05

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緩沖氧化物蝕刻液(BOE)又稱為緩沖氧化物蝕刻劑,是由氫氟酸(49%)與水或氟化銨與水混合而成。作為一種濕式蝕刻劑,緩沖氧化物蝕刻液具有速率快、蝕刻容易控制、溶解能力高等特點(diǎn)。緩沖氧化物蝕刻液主要用于蝕刻二氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)的薄膜,下游應(yīng)用涉及到光伏太陽能、半導(dǎo)體、平板顯示等多個領(lǐng)域。

年來,得益于新能源、電子等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,全球緩沖氧化物蝕刻液市場規(guī)模不斷擴(kuò)大,發(fā)展到2020年,全球緩沖氧化物蝕刻液市場規(guī)模已達(dá)到4.2億元。目前緩沖氧化物蝕刻液下游市場處于發(fā)展階段,對緩沖氧化物蝕刻液的需求仍保持增長態(tài)勢,因此未來緩沖氧化物蝕刻液行業(yè)發(fā)展前景較好。 上海一種BOE蝕刻液電話