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本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種剝離液機(jī)臺(tái)及其工作方法。背景技術(shù):剝離(lift-off)工藝通常用于薄膜晶體管(thinfilmtransistor)制程中的光罩縮減,lift-off先形成光阻并圖案化,再在光阻上成膜,移除光阻的同時(shí),沉積在光阻上的膜層也被剝離,從而完成膜層的圖形化,通過(guò)該制程可以實(shí)現(xiàn)兩次光刻合并為一次以達(dá)到光罩縮減的目的?,F(xiàn)有技術(shù)中,由于光阻上沉積了薄膜(該薄膜材料可以為金屬,ito(氧化銦錫)等用于制備tft的膜層),在剝離光阻的同時(shí)薄膜碎屑被帶入剝離液(stripper)中,大量的薄膜碎屑將會(huì)導(dǎo)致剝離液機(jī)臺(tái)中的過(guò)濾器(filter)堵塞,從而導(dǎo)致機(jī)臺(tái)無(wú)法使用,并且需要停止所有剝離液機(jī)臺(tái)的工作,待將filter清理后再次啟動(dòng),降低了生產(chǎn)效率。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺(tái)及其工作方法,可以提高生產(chǎn)效率。本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺(tái),包括:依次順序排列的多級(jí)腔室、每一級(jí)所述腔室對(duì)應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱;過(guò)濾器,所述過(guò)濾器的一端設(shè)置通過(guò)***管道與當(dāng)前級(jí)腔室對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱連接,所述過(guò)濾器的另一端通過(guò)第二管道與下一級(jí)腔室連接;其中,至少在所述***管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開關(guān)。在一些實(shí)施例中。上海和輝光電用的哪家的剝離液?滁州江化微的蝕刻液剝離液廠家現(xiàn)貨
所述印刷品傳送帶(5)一側(cè)安裝有所述印刷品放置箱(6),所述印刷品放置箱(6)一側(cè)安裝有所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7),所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)上方設(shè)置有油墨放置箱(701),所述油墨放置箱(701)下方安裝有油墨加壓器(702),所述油墨加壓器(702)下方安裝有高壓噴頭(703),所述高壓噴頭(703)一側(cè)安裝有防濺射擋板(704),所述防濺射擋板(704)下方安裝有印刷輥(705),所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)一側(cè)安裝有所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8),所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8)上方安裝有收卷調(diào)速器(801),所述收卷調(diào)速器(801)一側(cè)安裝有收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)(802),所述收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)(802)一側(cè)安裝有輥固定架(803),所述輥固定架(803)一側(cè)安裝有膠水盛放箱(804),所述膠水盛放箱(804)下方安裝有點(diǎn)膠頭(805),所述點(diǎn)膠頭(805)下方安裝有卷邊輥(806),所述卷邊輥(806)一側(cè)安裝有膠面收卷輥(807),所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8)一側(cè)安裝有電加熱箱(9),所述電加熱箱(9)下方安裝有熱風(fēng)噴頭(10),所述熱風(fēng)噴頭(10)下方安裝有干燥度感應(yīng)器(11),所述干燥度感應(yīng)器(11)下方安裝有電氣控制箱(12),所述電氣控制箱(12)上方安裝有液晶操作面板(13)。...【技術(shù)特征摘要】1.一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置,其特征在于:包括主支撐架(1)、橫向支架?;葜菽募椅g刻液剝離液費(fèi)用是多少剝離液蝕刻后如何判斷好壞 ?
所述卷邊輥與所述膠面收卷輥通過(guò)皮帶連接,所述收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)與所述膠面收卷輥通過(guò)導(dǎo)線連接。進(jìn)一步的,所述電加熱箱與所述干燥度感應(yīng)器通過(guò)導(dǎo)線連接,所述電氣控制箱與所述液晶操作面板通過(guò)導(dǎo)線連接。進(jìn)一步的,所述主支撐架由合金鋼壓制而成,厚度為5mm。進(jìn)一步的,所述干燥度感應(yīng)器與所述電氣控制箱通過(guò)導(dǎo)線連接。進(jìn)一步的,所述防濺射擋板共有兩塊,傾斜角度為45°。進(jìn)一步的,所述電氣控制箱與所述表面印刷結(jié)構(gòu)通過(guò)導(dǎo)線連接,所述電氣控制箱與所述膠面剝離結(jié)構(gòu)通過(guò)導(dǎo)線連接。本**技術(shù)的有益效果在于:采用黏合方式對(duì)印刷品膠面印刷進(jìn)行剝離,同時(shí)能夠?qū)τ∷⑵纺z面進(jìn)行回收,節(jié)約了大量材料,降低了生產(chǎn)成本。附圖說(shuō)明圖1是本**技術(shù)所述一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置的主視結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖;圖2是本**技術(shù)所述一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置的電氣控制箱外觀結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖;圖3是本**技術(shù)所述一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置的表面印刷結(jié)構(gòu)主視結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖;圖4是本**技術(shù)所述一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置的膠面剝離結(jié)構(gòu)主視結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明如下:1、主支撐架;2、橫向支架;3、伺服變頻電機(jī);4、電機(jī)減速箱;5、印刷品傳送帶;6、印刷品放置箱;7、表面印刷結(jié)構(gòu)。
添加劑中含有醇醚化合物、胺化合物、緩蝕劑以及潤(rùn)濕劑;s3:將步驟s1的剝離液廢液與添加劑混合,重新制備剝離液新液,制備過(guò)程中加入酰胺化合物或醇醚化合物。光刻膠剝離液為純有機(jī)溶劑體系,廢液可通過(guò)蒸餾回收80-95%有效物,得出純化液體,而在上述制備方式中,純化液體所含的組分與添加劑所含的組分之間是具有相重復(fù)的,可以認(rèn)為,添加劑是根據(jù)已知的剝離液新液的組分進(jìn)行配制的,添加劑可以是對(duì)純化液體與剝離液新液之間的組分的差別而進(jìn)行的添加、補(bǔ)充,使得純化液體和添加劑混合后,能夠具有與剝離液新液相同的組分。那么,可以知道,在預(yù)先知道剝離液新液的組分的基礎(chǔ)上,可以通過(guò)預(yù)先配制含有剝離液新液中的某些組分的添加劑,然后在制備回收的剝離液廢液得出純化液體時(shí),可以將添加劑加入純化液體中,再進(jìn)行質(zhì)量分?jǐn)?shù)的調(diào)節(jié)。純化液體是將剝離液廢液進(jìn)行加壓、蒸餾,去除剝離液廢液中的非剝離液新液的組分的物質(zhì),然后得出的純化液體,純化液體中所含的組分物質(zhì),都是剝離液新液所含有的組分物質(zhì)。進(jìn)一步技術(shù)方案中,所述的步驟1中得出的純化液體中含有的酰胺化合物的質(zhì)量分為:45%-60%;含有的醇醚化合物的質(zhì)量分為:35%-50%。質(zhì)量好的剝離液的公司聯(lián)系方式。
所述膠水盛放箱804與所述點(diǎn)膠頭805通過(guò)管道連接,所述卷邊輥806與所述膠面收卷輥807通過(guò)皮帶連接,所述收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)802與所述膠面收卷輥807通過(guò)導(dǎo)線連接。本實(shí)施例中,所述電加熱箱9與所述干燥度感應(yīng)器11通過(guò)導(dǎo)線連接,所述電氣控制箱12與所述液晶操作面板13通過(guò)導(dǎo)線連接。本實(shí)施例中,所述主支撐架1由合金鋼壓制而成,厚度為5mm。本實(shí)施例中,所述干燥度感應(yīng)器11與所述電氣控制箱12通過(guò)導(dǎo)線連接。本實(shí)施例中,所述防濺射擋板704共有兩塊,傾斜角度為45°。本實(shí)施例中,所述電氣控制箱12與所述表面印刷結(jié)構(gòu)7通過(guò)導(dǎo)線連接,所述電氣控制箱12與所述膠面剝離結(jié)構(gòu)8通過(guò)導(dǎo)線連接。具體工作原理為:將印刷品放置于所述印刷品放置箱6中,印刷品進(jìn)入所述印刷品傳送帶5本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】1.一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置,其特征在于:包括主支撐架(1)、橫向支架(2)、伺服變頻電機(jī)(3)、電機(jī)減速箱(4)、印刷品放置箱(6)、表面印刷結(jié)構(gòu)(7)、膠面剝離結(jié)構(gòu)(8),所述主支撐架(1)上方設(shè)置有所述橫向支架(2),所述橫向支架(2)上方設(shè)置有所述伺服變頻電機(jī)(3),所述伺服變頻電機(jī)(3)上方設(shè)置有所述電機(jī)減速箱(4),所述電機(jī)減速箱(4)上方安裝有印刷品傳送帶(5)。剝離液的價(jià)格哪家比較優(yōu)惠?揚(yáng)州半導(dǎo)體剝離液主要作用
哪家的剝離液的價(jià)格優(yōu)惠?滁州江化微的蝕刻液剝離液廠家現(xiàn)貨
所述過(guò)濾器包括多個(gè)并列排布的子過(guò)濾器,所述***管道包括多個(gè)***子管道,每一所述***子管道與一子過(guò)濾器連通,且所述多個(gè)***子管道與當(dāng)前級(jí)腔室對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱連通。在一些實(shí)施例中,所述第二管道包括公共子管道及多個(gè)第二子管道,每一所述第二子管道與一子過(guò)濾器連通,每一所述第二子管道與所述公共子管道連通,所述公共子管道與所述下一級(jí)腔室連通。在一些實(shí)施例中,所述閥門開關(guān)設(shè)置在每一所述***子管道上。在一些實(shí)施例中,所述閥門開關(guān)設(shè)置在每一所述第二子管道上。在一些實(shí)施例中,所述閥門開關(guān)設(shè)置在每一所述***子管道及每一所述第二子管道上。在一些實(shí)施例中,所述第二管道包括多個(gè)第三子管道,每一所述第三子管道與一子過(guò)濾器連通,且每一所述第三子管道與所述下一級(jí)腔室連通。在一些實(shí)施例中,所述閥門開關(guān)設(shè)置在每一所述第三子管道上。本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法,包括:將多級(jí)腔室順序排列,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級(jí)向剝離基板提供剝離液;將來(lái)自于當(dāng)前級(jí)腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲(chǔ)于當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的存儲(chǔ)箱中,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑。滁州江化微的蝕刻液剝離液廠家現(xiàn)貨
蘇州博洋化學(xué)股份有限公司屬于精細(xì)化學(xué)品的高新企業(yè),技術(shù)力量雄厚。博洋化學(xué)是一家股份有限公司企業(yè),一直“以人為本,服務(wù)于社會(huì)”的經(jīng)營(yíng)理念;“誠(chéng)守信譽(yù),持續(xù)發(fā)展”的質(zhì)量方針。公司業(yè)務(wù)涵蓋高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液,價(jià)格合理,品質(zhì)有保證,深受廣大客戶的歡迎。博洋化學(xué)順應(yīng)時(shí)代發(fā)展和市場(chǎng)需求,通過(guò)**技術(shù),力圖保證高規(guī)格高質(zhì)量的高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液。