該宣泄孔121的上孔徑a1與下孔徑a2亦不相等,且該上孔徑a1小于該下孔徑a2,或該宣泄孔121由該第二擋板12的下表面122朝向上表面123的方向漸縮,以維持毛細(xì)現(xiàn)象而避免該藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題。當(dāng)該風(fēng)刀裝置40的***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42為了減少該基板(本圖式未標(biāo)示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時(shí),該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會(huì)往該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121流動(dòng),并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖10與圖11所示),除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的顯影不均現(xiàn)象,亦可達(dá)到避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;為了必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,故該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細(xì)現(xiàn)象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內(nèi)的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達(dá)到防止位于該第二擋板12上表面的藥液51水滴經(jīng)由該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖12所示)。另請(qǐng)參閱圖13所示,為本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備的蝕刻方法的步驟流程圖,其中本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備的蝕刻方法主要包括有下列步驟。質(zhì)量好的蝕刻液的公司聯(lián)系方式。安徽鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液銷售公司
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題即在于提供一種擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備,尤其是指一種適用于濕式蝕刻機(jī)的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產(chǎn)品損耗的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備,主要借由具有復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔的擋液板結(jié)構(gòu)搭配風(fēng)刀裝置的硬體設(shè)計(jì),有效使風(fēng)刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板顯影不均等異?,F(xiàn)象,確實(shí)達(dá)到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導(dǎo)致的基板刮傷或破片風(fēng)險(xiǎn)等主要優(yōu)勢(shì)。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)手段如下所述。為了達(dá)到上述的實(shí)施目的,本實(shí)用新型提出一種擋液板結(jié)構(gòu),適用于一濕式蝕刻機(jī),擋液板結(jié)構(gòu)包括有一***擋板、一與***擋板接合的第二擋板,以及一與第二擋板接合的第三擋板,其主要特征在于:第二擋板具有復(fù)數(shù)個(gè)貫穿第二擋板且錯(cuò)位設(shè)置的宣泄孔。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中***擋板與第二擋板呈正交設(shè)置,且第二擋板與第三擋板呈正交設(shè)置。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中***擋板、第二擋板與第三擋板圍設(shè)成一凹槽的態(tài)樣。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中第二擋板的長度介于10厘米(centimeter,cm)至15厘米(cm)之間。安徽鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液銷售公司蝕刻液的配方是什么?
故仍舊會(huì)有少量的藥液51噴灑在擋液板結(jié)構(gòu)10上而留下該藥液51的水滴,而該藥液51的水滴亦不能落入該基板20上,以避免基板20的蝕刻不均的現(xiàn)象產(chǎn)生;此外,該輸送裝置30用以承載并運(yùn)送至少一該基板20于該濕式蝕刻機(jī)內(nèi)運(yùn)行,并接受濕式蝕刻的噴灑裝置50的制程運(yùn)作,故該輸送裝置30具有一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以驅(qū)動(dòng)該滾輪31轉(zhuǎn)動(dòng),以帶動(dòng)該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風(fēng)刀裝置40的該***風(fēng)刀41下端部的方向移動(dòng)。步驟三s3:使用一設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10下方的風(fēng)刀裝置40對(duì)該基板20吹出一氣體43,以使該基板20干燥;在本實(shí)用新型其一較佳實(shí)施例中,該風(fēng)刀裝置40設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的一端部,該風(fēng)刀裝置40包括有一設(shè)置于該基板20上方的***風(fēng)刀41,以及一設(shè)置于該基板20下方的第二風(fēng)刀42,其中該***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42分別吹出一氣體43至該基板20,以將該基板20上的該藥液51帶往與相反于該基板20的行進(jìn)方向,以使該基板20降低該藥液51殘留,其中該氣體43遠(yuǎn)離該***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設(shè)有一第三夾角θ3,且該第三夾角θ3介于20度至35度之間。步驟四s4:該氣體43經(jīng)由該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121宣泄;在本實(shí)用新型其一較佳實(shí)施例中。
避免連接構(gòu)件11的兩側(cè)與操作人員的手接觸的時(shí)候,會(huì)因操作人員的手沾濕出現(xiàn)手滑的情況,有效的保證了裝置內(nèi)部構(gòu)件的連接工作能正常的進(jìn)行。推薦的,支撐腿2的底端嵌入連接有防滑紋6,在制備蝕刻液的時(shí)候,需要將裝置固定的特定的位置,通過支撐腿2將裝置主體1進(jìn)行支撐固定,在支撐腿2與固定位置的接觸面接觸時(shí),防滑紋6能增大支撐腿2的底端與固定接觸面的摩擦力,使裝置主體1能有足夠的抓地力固定在固定位置上,有效的提高了裝置固定的防滑性。推薦的,過濾部件9的內(nèi)部兩側(cè)嵌入連接有過濾板26,常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合,其分散混合性能差,蝕刻液雜質(zhì)含量多,過濾板26能將蝕刻液內(nèi)部的雜質(zhì)進(jìn)行過濾,使制備出的蝕刻液的雜質(zhì)被過濾板26過濾出,得到不含雜質(zhì)的蝕刻液,避免多種強(qiáng)酸直接共混有效的減小了蝕刻液制備的安全隱患。推薦的,過濾部件9設(shè)置有一個(gè),過濾部件9設(shè)置在連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè),過濾部件9與連接構(gòu)件11固定連接,過濾部件9能將制備出的蝕刻液進(jìn)行過濾,且過濾部件9能將內(nèi)部的過濾板26進(jìn)行拆卸更換,將過濾部件9的內(nèi)部進(jìn)行清洗,在將過濾部件9進(jìn)行連接安裝時(shí),將滑動(dòng)蓋24向外側(cè)滑動(dòng)。什么制程中需要使用蝕刻液。
為本實(shí)用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實(shí)施例的宣泄孔排列示意圖,以及其三較佳實(shí)施例的宣泄孔排列示意圖,在本實(shí)用新型其二較佳實(shí)施例中,開設(shè)于該第二擋板12上的宣泄孔121亦呈千鳥排列的直通孔態(tài)樣,且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離,例如:圖4中所示的w1,其中w1大于圖3的w或圖5的w2,其中w2大于w,而該宣泄孔121的一孔徑a0亦小于3mm,以使該宣泄孔121的孔洞內(nèi)產(chǎn)生毛細(xì)現(xiàn)象,若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時(shí),則該水滴不至于經(jīng)由該宣泄孔121落至下表面,但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。此外,請(qǐng)參閱圖6與圖7所示,為本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖,以及擋液板結(jié)構(gòu)運(yùn)作局部放大圖,其中本實(shí)用新型的蝕刻設(shè)備1設(shè)置于一濕式蝕刻機(jī)的一槽體(圖式未標(biāo)示)內(nèi),該蝕刻設(shè)備1包括有一如上所述的擋液板結(jié)構(gòu)10、一輸送裝置30、一基板20,以及一風(fēng)刀裝置40,其中本實(shí)用新型主要借由具有復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121的擋液板結(jié)構(gòu)10搭配該風(fēng)刀裝置40的硬體設(shè)計(jì),有效使該風(fēng)刀裝置40吹出的氣體43得以由該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121宣泄。如何挑選一款適合自己公司的蝕刻液?哪家蝕刻液蝕刻液銷售公司
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對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例,基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。實(shí)施例一,請(qǐng)參閱圖1-4,本實(shí)用新型提供技術(shù)方案:高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,包括裝置主體1、支撐腿2、電源線3和單片機(jī)4,裝置主體1的底端固定連接有支撐腿2,裝置主體1的后面一側(cè)底部固定連接有電源線3,裝置主體1的一側(cè)中間部位固定連接有控制器5,裝置主體1的內(nèi)部底端一側(cè)固定連接有單片機(jī)4,裝置主體1的頂部一端固定連接有去離子水儲(chǔ)罐14,裝置主體1的頂部一側(cè)固定連接有磷酸儲(chǔ)罐15,磷酸儲(chǔ)罐15的底部固定連接有攪拌倉23,攪拌倉23的內(nèi)部頂部固定連接有攪拌電機(jī)13,攪拌倉23的另一側(cè)頂部固定連接有醋酸儲(chǔ)罐16,裝置主體1的頂部中間一側(cè)固定連接有硝酸儲(chǔ)罐17,裝置主體1的頂部中間另一側(cè)固定連接有陰離子表面活性劑儲(chǔ)罐18,陰離子表面活性劑儲(chǔ)罐18的另一側(cè)固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲(chǔ)罐19,裝置主體1的頂部另一側(cè)固定連接有氯化鉀儲(chǔ)罐20。安徽鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液銷售公司
蘇州博洋化學(xué)股份有限公司是一家從事高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及售后的生產(chǎn)型企業(yè)。公司坐落在高新區(qū)華橋路155號(hào),成立于1999-10-25。公司通過創(chuàng)新型可持續(xù)發(fā)展為重心理念,以客戶滿意為重要標(biāo)準(zhǔn)。在孜孜不倦的奮斗下,公司產(chǎn)品業(yè)務(wù)越來越廣。目前主要經(jīng)營有高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液等產(chǎn)品,并多次以精細(xì)化學(xué)品行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、客戶需求定制多款多元化的產(chǎn)品。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)不斷緊跟高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液行業(yè)發(fā)展趨勢(shì),研發(fā)與改進(jìn)新的產(chǎn)品,從而保證公司在新技術(shù)研發(fā)方面不斷提升,確保公司產(chǎn)品符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和要求。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司以市場(chǎng)為導(dǎo)向,以創(chuàng)新為動(dòng)力。不斷提升管理水平及高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液產(chǎn)品質(zhì)量。本公司以良好的商品品質(zhì)、誠信的經(jīng)營理念期待您的到來!