高純/特種氣體的概念，半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類：1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。氣力輸送設(shè)計(jì)的計(jì)算方法：1、確定各工作參數(shù)。氣力輸送的主要工作參數(shù)包括輸送量、混合比(輸送濃度)和氣流速度等，這些參數(shù)的正確確定，對(duì)氣力輸送系統(tǒng)的選擇和運(yùn)行的經(jīng)濟(jì)性有很大的影響。2、確定各主要部件的型式和結(jié)構(gòu)尺寸，如選用吸送式氣力輸送型式，則要注意吸嘴的選型，繪制出系統(tǒng)示意圖。3、計(jì)算出系統(tǒng)各部分的壓力損失及管道總壓力損失。4、根據(jù)風(fēng)網(wǎng)總風(fēng)量和總壓力損失選擇合適的風(fēng)機(jī)，并計(jì)算風(fēng)機(jī)所需功率配用電機(jī)。使用氫氣及可燃?xì)怏w的實(shí)驗(yàn)室應(yīng)設(shè)置報(bào)警裝置。江蘇大樓氣體管道設(shè)計(jì)服務(wù)商

負(fù)壓吸引系統(tǒng)：系統(tǒng)需設(shè)水分離器，地面必須有排水槽。油潤(rùn)滑滑片式真空泵：具有空氣冷卻、低噪音、震動(dòng)少的優(yōu)點(diǎn)。內(nèi)部單向閥保護(hù)吸引系統(tǒng)不被污染，油霧分離器保護(hù)環(huán)境和減少油的損失。由于該設(shè)備是空氣冷卻，設(shè)備機(jī)房必須要有良好的透風(fēng)。負(fù)壓吸引系統(tǒng)附屬設(shè)備：雙重細(xì)菌過(guò)濾器：防止真空泵及真空罐被污染。不中斷氣流可替換過(guò)濾器：2個(gè)可交替使用的微粒過(guò)濾器。污物接收器：收集污染的及液體，保護(hù)真空系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)，不中斷氣流可清理污染物。真空緩沖罐：防止真空泵頻繁起動(dòng)。江蘇大樓氣體管道設(shè)計(jì)服務(wù)商放空管應(yīng)高出層頂2m以上，并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。

醫(yī)用氣體常用參數(shù)：常用氣體管徑的選用，氧氣管徑的計(jì)算式：式中：d=0.0188d—— 管道內(nèi)徑（m），v—— 氣體流速（m/s），Q—— 氣體在工作狀態(tài)下的實(shí)際體積流量（m3/h ），Q=Q2—— 自由狀態(tài)下的體積流量（m3/h ），t —— 氣體工作狀態(tài)時(shí)溫度，p —— 氣體工作狀態(tài)時(shí)的盡對(duì)壓力（MPa），氧氣管道中流速較大不應(yīng)超過(guò)下表中數(shù)值：氧氣工作壓力 （MPa） 0~0.1 0.1~0.3 0.3~0.6 0.6~1.6 1.6~3.5 >10，氧氣較大流速 （m/s） 20以下 15 12 10 8 4，真空管道管徑：，由于負(fù)壓管道不易方便精確計(jì)算，可參考下表經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)選?。海艿拦軓焦浪惚?，管徑 （mm） 15 20 25 32 40 50，吸引嘴數(shù) （個(gè)） 12 21 24 62 84 140。

氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范：1.閥門與氧氣接觸部分應(yīng)采用非燃燒材料。其密封圈應(yīng)采用有色金屬、不銹鋼及聚四氟乙烯等材料。填料應(yīng)采用經(jīng)除油處理的石墨石棉或聚四氟乙烯。2.氣體管道的連接應(yīng)采用焊接或法蘭連接等形式，氫氣管道不得用螺紋連接，高純氣體管道應(yīng)采用承插焊接。3.氣體管道與設(shè)備、閥門及其他附件的連接應(yīng)采用法蘭或螺紋連接，螺紋接頭的絲扣填料應(yīng)采用聚四氟乙烯薄膜或一氧化鉛、甘油調(diào)和填料。4.氣體管道設(shè)計(jì)的安全技術(shù)應(yīng)符合每臺(tái)（組）用氫設(shè)備的支管和氫氣放空管上應(yīng)設(shè)置阻火器的規(guī)定。系統(tǒng)布線應(yīng)盡量減少接縫以降低泄漏的可能性。

實(shí)驗(yàn)室氣體管道設(shè)計(jì)的流程是一個(gè)需要經(jīng)歷多個(gè)步驟的過(guò)程。對(duì)于實(shí)驗(yàn)室來(lái)說(shuō)，氣體管道是非常重要的設(shè)施之一，通過(guò)管道可以將氣體輸送到不同的實(shí)驗(yàn)設(shè)備中，保證實(shí)驗(yàn)室正常運(yùn)行。下面將以實(shí)驗(yàn)室建設(shè)者的角度，來(lái)描述實(shí)驗(yàn)室氣體管道設(shè)計(jì)的流程。首先，進(jìn)行需求分析。在實(shí)驗(yàn)室氣體管道設(shè)計(jì)之前，首先需要了解實(shí)驗(yàn)室的具體需求。設(shè)計(jì)師需要與實(shí)驗(yàn)室使用者進(jìn)行溝通，了解他們的實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目以及所需的氣體類型和使用量。根據(jù)實(shí)驗(yàn)室中不同的需求，可能需要設(shè)計(jì)不同類型的管道，如高壓氣體管道、低壓氣體管道等。每臺(tái)(組)用氫設(shè)備的支管和氫氣放空管上應(yīng)設(shè)置阻火器。工業(yè)氣體管道設(shè)計(jì)廠商

實(shí)驗(yàn)室氣體管道功能性要求，管道設(shè)計(jì)應(yīng)滿足氣體使用的流量和壓力要求，保證實(shí)驗(yàn)過(guò)程中供氣的穩(wěn)定性。江蘇大樓氣體管道設(shè)計(jì)服務(wù)商

氣力輸送設(shè)計(jì)的計(jì)算方法，一般設(shè)計(jì)程序，輸送系統(tǒng)的布置。在合理選定氣力輸送系統(tǒng)型式后，便可進(jìn)行系統(tǒng)布置。布置時(shí)可根據(jù)廠房的設(shè)備布置圖，首先確定始點(diǎn)的供料器或吸嘴的位置和終點(diǎn)分離器的位置；其次確定空壓機(jī)和附屬設(shè)備的位置，再確定空氣管和輸送管道的配管、管件和彎管的數(shù)目等。完成布置后，就可以開始進(jìn)行詳細(xì)工程設(shè)計(jì)。在管道布置時(shí)，注意減少?gòu)澒艿臄?shù)目，在長(zhǎng)距離輸送時(shí)要注意使每段水平管不宜過(guò)長(zhǎng)。通過(guò)室外的管段，必要時(shí)需進(jìn)行保溫，以防因溫差懸殊而造成管內(nèi)壁結(jié)露使物料粘壁。在物料輸送管上，不應(yīng)安裝有礙輸送的管件等。江蘇大樓氣體管道設(shè)計(jì)服務(wù)商