對于低蒸汽壓氣體(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質(zhì)量流量計，壓力調(diào)節(jié)閥。對于劇毒、高反應性和自燃氣體，應使用雙套管輸送。同時管道的設計要采用零死區(qū)設計，即整個管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點，要點對點，中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此，整個管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。然后管道還要有良好的接地。管道系統(tǒng)應有維護保養(yǎng)的方便性，包括檢修口、閥門的可訪問性和更換部件的便捷性。杭州特殊氣體管道設計施工

壓縮空氣管網(wǎng)設計當設計與確定壓縮空氣網(wǎng)絡時，首先需要有管網(wǎng)及用氣系統(tǒng)的設備列表，所有用氣設備，和一張標明了各用氣點位置的布局圖。用氣點可以按照一定的邏輯進行分類編組并由同一供氣支管供氣。當然一個供氣主管路為每個供氣支管供氣。一個完整的壓縮空氣管網(wǎng)有四個主要部分：供氣主管供氣支管設備連接管管道配件供氣主管把壓縮空氣從壓縮機房輸送到用氣區(qū)域領域。供氣支管是將主管內(nèi)的空氣引到用氣區(qū)域，設備連接管將支管與用氣設備連接起來。江蘇隱藏式氣體管道設計流程氣體管道設計有很多方面，都有不同的要求，氣體管道敷設，氣體管道、閥門和附件，氣體管道連接及安全要求。

負壓吸引系統(tǒng)：系統(tǒng)需設水分離器，地面必須有排水槽。油潤滑滑片式真空泵：具有空氣冷卻、低噪音、震動少的優(yōu)點。內(nèi)部單向閥保護吸引系統(tǒng)不被污染，油霧分離器保護環(huán)境和減少油的損失。由于該設備是空氣冷卻，設備機房必須要有良好的透風。負壓吸引系統(tǒng)附屬設備：雙重細菌過濾器：防止真空泵及真空罐被污染。不中斷氣流可替換過濾器：2個可交替使用的微粒過濾器。污物接收器：收集污染的及液體，保護真空系統(tǒng)正常運轉(zhuǎn)，不中斷氣流可清理污染物。真空緩沖罐：防止真空泵頻繁起動。

高純氣體的配管及材質(zhì)，高純氣體管路的設計要點：1.對于不同特性的氣體，要規(guī)劃單獨的供應區(qū)域，一般分為三個區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。2.管路設計需要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風險也越高，通常較合理的設計流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設計方面，則需要考慮使用點的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關，后者使用點的管徑一般為1/4”～3/8”。高純度氣體由管道輸送，能否將高純氣體送至用氣點仍保持質(zhì)量合格的關鍵是供氣系統(tǒng)設計合理、試驗檢測合格。

進行檢測和調(diào)試。在氣體管道施工完成后，需要進行管道的檢測和調(diào)試工作。首先，進行的氣體泄漏檢測，確保管道的密封性。其次，進行的氣體流量的測試，確保氣體輸送的穩(wěn)定性和準確性。通過檢測和調(diào)試，可以發(fā)現(xiàn)并解決潛在的問題，確保管道的正常運行。然后，進行驗收和維護。當實驗室氣體管道設計與施工完成后，需要進行驗收工作。驗收包括對管道的安全性、可靠性以及使用效果的檢查。只有通過驗收，實驗室能夠正式投入使用。同時，為了保證管道的正常運行和使用壽命，還需要進行定期的維護和保養(yǎng)工作，包括清洗、潤滑等。氧氣管道應處于除氫氣管道外的其它氣體管道之上。江蘇隱藏式氣體管道設計流程

根據(jù)用氣設備的分布情況嗎，高純氣體的管網(wǎng)大小長短應適宜，不宜過大或過長。杭州特殊氣體管道設計施工

儲氣罐選型通常一個供氣系統(tǒng)都有一個或多個儲氣罐。儲氣罐的大小是要匹配空壓機的氣量大小、控制方式和終端用氣需求的。儲氣罐具有多重功能：如緩沖罐（平衡來自壓縮機的脈動）、冷卻壓縮空氣和除去壓縮空氣中的冷凝水等。所以儲氣罐必須配置冷凝水排放裝置。下面這個公式可以用于儲氣罐大小的計算和選型，但該公式只適用于帶有加卸載控制功能的空壓機系統(tǒng)：儲氣罐容積 (l); qC = 壓縮機 FAD (l/s); p1 = 壓縮機進氣壓力 (bar(a)); T1 = 壓縮機較大進氣溫度 (K); T0 = 儲氣罐中壓縮空氣溫度 (K); (pU -pL) = 加載與卸載之間的設定壓力差; fmax = 較大負載頻率 （1循環(huán)/30秒應用于阿特拉斯·科普柯壓縮機）對于帶有可變速度控制（VSD）的壓縮機而言，所需的儲氣罐容積會較大程度上減少。當使用上述公式時，qc應視較低速度時的FAD。杭州特殊氣體管道設計施工