主要的施工機(jī)具，特種氣體管道的主要施工機(jī)具有:全自動軌道焊機(jī)(D100、MIOO等)管道切割機(jī)（GF鋸）、管子割刀、平口機(jī)、彎管器、倒角器、管口毛刺修理刮刀、有的需要配置電源穩(wěn)壓器、防止施工現(xiàn)場電流波動對焊接質(zhì)量造成影響、臺虎鉗、配電箱、拖線盤、臺鉆、電鉆、沖擊鉆、切割機(jī)、電焊機(jī)、手工氬弧焊機(jī)、其他輔助工具。施工管理和現(xiàn)場施工的幾個注意點，項目管理人員和施工人員都要進(jìn)行施工安全和施工質(zhì)量的培訓(xùn),了解特種管道的施工作業(yè)要求和規(guī)范,了解特種氣體的基本知識,從而加深對特種管道施工質(zhì)量重要性的認(rèn)識。項目管理人員和施工人員都要進(jìn)行施工安全和施工質(zhì)量的培訓(xùn)。上海大口徑特氣管道安裝設(shè)計

特種氣體管道安裝：特種氣體管道下料、預(yù)制應(yīng)符合下列規(guī)定：1 工作人員應(yīng)穿戴潔凈服、潔凈口罩、潔凈無塵手套在潔凈室內(nèi)進(jìn)行下料、預(yù)制等各項操作，不得用裸手接觸管口及管道內(nèi)壁；2 管外徑小于或等于1/2”的管道切割應(yīng)使用不銹鋼管切管器，切割后應(yīng)以平口機(jī)處理管口，并應(yīng)用專門使用倒角器去除管口內(nèi)外毛刺，管口端面應(yīng)垂直、不變形，滿足不加絲自動軌道氬弧焊要求；不得使用塑料管割刀替代；3 平口機(jī)處理管口時應(yīng)將管口向下，并應(yīng)在另一端管口用高純氮氣快速吹掃，不得將剛平口處理的管口向上。實驗室特氣管道安裝服務(wù)壓力檢測一般采用比較精密的圓盤式壓力檢測儀或電子檢測儀，不用壓力表。

硅烷（SiH4）是一種在常溫常壓下為具有惡臭的無色氣體。它還是一種在室溫下能著火、在空氣或鹵素氣體中能爆裂性燃燒和劇毒性的特種氣體。硅烷在高科技行業(yè)中應(yīng)用越來越普遍，這與它的特性有關(guān)，同時也與行業(yè)的特殊需求有關(guān)。硅烷（SiH4）可以通過熱分解或與其它氣體的化學(xué)反應(yīng)制得單晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物質(zhì)。舉例：半導(dǎo)體行業(yè)中，硅烷SiH4是顯示屏制造中較關(guān)鍵的氣體之一，與氨氣（NH3）結(jié)合使用，形成用于a-Si晶體管的氮化硅層；與氧化亞氮（N2O）結(jié)合使用形成MO晶體管的氧化硅層。

特氣管道工程是一項危險系數(shù)比較高的工程，在選擇施工公司和施工的過程中一定要注意安裝標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范操作?，F(xiàn)在市面上的特氣管道供應(yīng)商非常的多，但是大多數(shù)的氣體管道廠商只是提供產(chǎn)品，并不包括安裝這一方面。大多數(shù)人是不知道正確安裝的，下面就為大家具體的來介紹注意事項有哪些。1、 特氣管道安裝的時候，管子對口時應(yīng)檢查平直度，距離接口中心200mm處測量，當(dāng)管子公稱直徑小于100mm時，允許偏差為1mm，當(dāng)管子公稱直徑大于或等于100mm時，允許偏差為2mm，但全長允許偏差均為100mm。2、管道安裝時按不同的管徑和要求設(shè)置管卡或吊架,要求位置準(zhǔn)確，埋設(shè)平整,管卡與管道接觸應(yīng)緊密，但不得損傷管道表面涂層。管道連接過程中按圖紙要求設(shè)伸縮節(jié)，設(shè)計無要求時，按照規(guī)范要求設(shè)置，管端伸入伸縮節(jié)應(yīng)預(yù)留伸縮間隙。

供氣系統(tǒng)的選擇：簡單供氣系統(tǒng)，簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺的工藝設(shè)備等。它們的制程簡單，通常不需要連續(xù)性供氣，對氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。由于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）。輸送系統(tǒng)多采用半自動氣瓶柜或氣瓶架加簡單的控制面板；配置繼電器控制，自動切換，手動吹掃，手動放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時放在回風(fēng)夾道，或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險氣體一般共用一個抽風(fēng)系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。特氣管道安裝時，在管子對口前應(yīng)檢查平直度，在距離接口中心200mm處測量。南通化驗室特氣管道安裝

自動焊接施工 半成品和成品的保護(hù)措施應(yīng)及時有效，加工完成或焊接完成后及時將管子兩端密封。上海大口徑特氣管道安裝設(shè)計

特種氣體管道配管應(yīng)符合下列規(guī)定：1 管外徑大于1/2”的管道彎頭應(yīng)采用成品彎頭；管外徑小于或等于1/2”的彎頭可在現(xiàn)場使用專門使用彎管器揻制，BA級管道彎頭彎曲半徑不應(yīng)小于管外徑的3倍，EP級管道彎頭彎曲半徑不應(yīng)小于管外徑的5倍，公、英制彎管器不應(yīng)混用；2不銹鋼管道密封接頭的密封墊片應(yīng)根據(jù)氣體的性質(zhì)采用不銹鋼墊片或鎳墊片，嚴(yán)禁采用非金屬墊片、有劃傷的墊片以及將使用過的墊片，在同一密封面應(yīng)采用一個墊片；3特種氣體管道與用氣生產(chǎn)工藝設(shè)備之間的連接應(yīng)采用不銹鋼管道面密封接頭或自動軌道氬弧焊機(jī)焊接，不得采用非金屬軟管；管道穿墻部位應(yīng)設(shè)套管，并應(yīng)以難燃材料填充套管與管道之間的間隙：同時應(yīng)對穿墻部位加以密封。上海大口徑特氣管道安裝設(shè)計