硅烷特氣柜設(shè)計要求：1、因為硅烷（SiH4）的危險性，所以整套系統(tǒng)應(yīng)該配備惰性吹掃裝置，而且應(yīng)該設(shè)置單獨的惰性氣體鋼瓶（比如高壓N2）進(jìn)行吹掃，不得采用管道氮氣吹掃。2、硅烷（SiH4）與空氣會自燃，柜內(nèi)應(yīng)配備氣體泄露偵測器、火焰探測器等，當(dāng)發(fā)生泄漏時，能及時報警處理，避免更大事故的發(fā)生。3、硅烷系統(tǒng)的排氣管不得接入排風(fēng)系統(tǒng)，硅烷和硅烷混合物排氣系統(tǒng)應(yīng)該單獨于其它氣體排氣系統(tǒng)。4、如果排氣的硅烷（SiH4）濃度較高時，應(yīng)采用燃燒式尾氣處理裝置處理后排入大氣。5、由于存在通過系統(tǒng)的固定慣性氣流，要設(shè)有防止回流裝置。6、排氣管應(yīng)采用惰性氣體連續(xù)吹掃，吹掃氣體流速不得小于0.3m/s。管道系統(tǒng)不僅看起來整潔規(guī)整，而且可以節(jié)省更多的家庭空間，為家庭的居室?guī)砀黙dd的美觀和舒適感。蘇州工業(yè)特氣管道安裝施工

管道焊接，自動焊接試樣制作 根據(jù)焊接工藝評定和焊接工藝規(guī)程，嚴(yán)格焊接操作。 為加強焊接質(zhì)量的管理，每天正式實施焊接工作前，焊工須對每臺焊機(jī)所焊規(guī)格進(jìn)行樣本制作，檢查自動焊接機(jī)的工況及作業(yè)人員工藝水平，確保焊接質(zhì)量，樣本通過后方可進(jìn)行正式焊接操作。在每天焊接結(jié)束前亦制作焊接試樣，所有焊接試樣需妥善保存，作為質(zhì)量檢驗依據(jù)。3.3.2 自動焊接施工 半成品和成品的保護(hù)措施應(yīng)及時有效，加工完成或焊接完成后及時將管子兩端密封。焊接管子對口必須為正方并緊密連接，在對口位置所允許的圓角和倒角為壁厚的十分之一，連接口需在鎢極的中心位置。蘇州廠房特氣管道安裝規(guī)范按照設(shè)計方案進(jìn)行管道的切割、焊接、連接等操作，確保管道的密封性和牢固性。

特氣輸送系統(tǒng)是指：將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數(shù)的控制，通過管道、無二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點。其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點。分類，特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。常規(guī)供氣系統(tǒng)，常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單，節(jié)省投資。

管道系統(tǒng)的設(shè)計：材料的選擇，特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強的EP管 。主管路系統(tǒng)的設(shè)計，在確定好氣體房和用氣點以后,主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路較短,拐彎較少,布置緊湊合理,給人簡單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機(jī)臺用氣點的多少和流量大小確定，基本都采用小管徑輸送（1/4-3/4）而且多設(shè)計了備用系統(tǒng)。由于氣體本身的危險性，許多地方采用把管道鋪設(shè)在電纜橋架里，對于穿墻或穿過夾道的地方，周圍有危險源和經(jīng)常有危險作業(yè)的地方，露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。管道支架制作安裝采用機(jī)械切割，臺鉆鉆孔，嚴(yán)禁氣割。

特氣管道的安裝需要特別小心，以確保安全和可靠的氣體供應(yīng)。需要遵循相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范，進(jìn)行規(guī)劃和設(shè)計、材料選擇、管道加工和安裝、壓力測試、氣體純度測試、標(biāo)識和標(biāo)簽、維護(hù)和保養(yǎng)等工作。 管道安裝工程是燃?xì)夤艿拦こ痰闹匾M成部分，它直接影響燃?xì)廨斔偷目煽啃约鞍踩\行。特氣管道施工質(zhì)量的好壞，直接影響到整個管網(wǎng)的安全運行和用戶的使用效果。因此嚴(yán)格按規(guī)范、規(guī)程進(jìn)行施工，工程質(zhì)量。特氣管道是指在一些特殊場合，如實驗室、電子廠、制藥廠等，用于輸送特殊氣體（如氧氣、氮氣、氫氣、氦氣等）的管道。特氣管道系統(tǒng)的所有管道的支吊架必須符合規(guī)范及設(shè)計要求，并按照標(biāo)準(zhǔn)圖集中的要求制作與安裝。浙江氨氣特氣管道安裝參考價

特種氣體管道的施工對環(huán)境的要求比較高，管道施工采用大批量預(yù)制然后現(xiàn)場 安裝的方法。蘇州工業(yè)特氣管道安裝施工

特種氣體管道焊接應(yīng)符合下列規(guī)定：1在正式焊接前、更換焊頭后、更換鎢棒后、改變焊接管徑、焊機(jī)電源關(guān)閉重新啟動后都應(yīng)進(jìn)行焊接測試，焊接測試樣品經(jīng)質(zhì)量檢驗員檢查合格并填寫焊接合格確認(rèn)單后方可正式施焊；在結(jié)束焊接前也應(yīng)進(jìn)行焊接測試，并應(yīng)檢查正式施焊后所焊焊接接頭是否合格；2應(yīng)嚴(yán)格按照焊接工藝規(guī)程要求進(jìn)行焊接，焊接過程中應(yīng)做好焊接記錄，焊接接頭處應(yīng)標(biāo)明焊接時間、焊工姓名或焊工鋼印號、焊接接頭編號、介質(zhì)名稱；3對接接頭組對時應(yīng)對稱均勻，接頭錯邊量不應(yīng)大于管壁厚度的10%，且管道不得在焊接接頭的位置彎曲。蘇州工業(yè)特氣管道安裝施工