施工前應(yīng)將管道內(nèi)的特種氣體用高純氮?dú)馔耆脫Q，被置換出的氣體應(yīng)經(jīng)過尾氣處理裝置處理，達(dá)標(biāo)后排放。施工完畢、測試合格后，應(yīng)將管道系統(tǒng)內(nèi)充入0.1MPa(表壓)的高純氮?dú)?。說明：本標(biāo)準(zhǔn)用詞說明1 為便于在執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)條文時(shí)區(qū)別對待，對要求嚴(yán)格程度不同的用詞說明如下：1) 表示很嚴(yán)格，非這樣做不可的：正面詞采用“必須”，反面詞采用“嚴(yán)禁”；2) 表示嚴(yán)格，在正常情況下均應(yīng)這樣做的：正面詞采用“應(yīng)”，反面詞采用“不應(yīng)”或“不得”；3) 表示允許稍有選擇，在條件許可時(shí)首先應(yīng)這樣做的：正面詞采用“宜”，反面詞采用“不宜”；4) 表示有選擇，在一定條件下可以這樣做的，采用“可”。2 條文中指明應(yīng)按其他有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行的寫法為：“應(yīng)符合….的規(guī)定”或“應(yīng)按……執(zhí)行”。管道安裝時(shí)按不同的管徑和要求設(shè)置管卡或吊架,要求位置準(zhǔn)確，埋設(shè)平整。浙江大口徑特氣管道安裝工程

GMS和GDS系統(tǒng)，氣體監(jiān)控系統(tǒng)（GMS)通過計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)對氣體輸送系統(tǒng)的實(shí)時(shí)監(jiān)控，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性。氣體偵測系統(tǒng)（GDS）是全廠生命安全系統(tǒng)（LSS）的重要組成部分。對于偵測器的要求，除了精度高，反應(yīng)迅速外，還應(yīng)具備自檢功能。對于這兩個(gè)系統(tǒng)在這里只能做一個(gè)概念性的介紹。然后、充分了解氣體特性、從而合理配置系統(tǒng)，合理選擇管徑和材料，是我們設(shè)計(jì)的重點(diǎn)，這樣可明顯降低整個(gè)系統(tǒng)的成本。特種氣體管道的施工，特種氣體管道的施工采用全自動(dòng)軌道焊接，同時(shí)制定和實(shí)施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質(zhì)量和程序進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。然后整個(gè)系統(tǒng)還要進(jìn)行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。其現(xiàn)場基本的施工程序?yàn)椋菏┕D紙會審﹣→施工組織編寫﹣→預(yù)制間的搭設(shè)﹣→施工機(jī)具的準(zhǔn)備﹣→施工人員的培訓(xùn)﹣→預(yù)制圖紙的編寫﹣→管道的預(yù)制﹣→管道的現(xiàn)場安裝﹣→系統(tǒng)檢測﹣→系統(tǒng)驗(yàn)收。浙江大口徑特氣管道安裝工程整個(gè)系統(tǒng)還要進(jìn)行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。

特氣管道工程安裝注意事項(xiàng)有哪些？現(xiàn)在市面上的特氣管道供應(yīng)商非常的多，但是大多數(shù)的氣體管道廠商只是提供產(chǎn)品，并不包括安裝這一方面。大多數(shù)人是不知道正確安裝的，下面就會為大家具體的來介紹注意事項(xiàng)有哪些。1、 特氣管道安裝的時(shí)候，管子對口時(shí)應(yīng)檢查平直度，距離接口中心200mm處測量，當(dāng)管子公稱直徑小于100mm時(shí)，允許偏差為1mm，當(dāng)管子公稱直徑大于或等于100mm時(shí)，允許偏差為2mm，但全長允許偏差均為100mm。2、管道安裝時(shí)按不同的管徑和要求設(shè)置管卡或吊架,要求位置準(zhǔn)確，埋設(shè)平整,管卡與管道接觸應(yīng)緊密，但不得損傷管道表面涂層。

供氣系統(tǒng)的選擇：簡單供氣系統(tǒng)，簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺的工藝設(shè)備等。它們的制程簡單，通常不需要連續(xù)性供氣，對氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。由于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）。輸送系統(tǒng)多采用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架加簡單的控制面板；配置繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道，或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。直管段外層管亦采用彈簧圈支墊，確保雙層管夾層空間距離，起到雙層管保護(hù)作用。

施工管理和現(xiàn)場施工的注意點(diǎn)：現(xiàn)場的質(zhì)量管理人員要做好材料的質(zhì)量檢查記錄和每天的施工質(zhì)量檢查記錄，包括管工彎管的質(zhì)量，尺寸是否準(zhǔn)確，管道是否有劃傷，彎頭是不是壓得太扁;拆除包裝的管道，預(yù)制好的管道，管口是不是封好;(管道封口應(yīng)套上管帽，再采用EP管完好的內(nèi)包裝袋割下15-20公分長套在管口折回后用潔凈膠帶纏好;如果沒有管帽，則采用套一層內(nèi)包裝袋用膠帶封好，然后外面再套一層，也用膠帶封好。)焊工的焊縫是否符合質(zhì)量要求，每個(gè)焊縫都必須仔細(xì)檢查，并作好焊接作業(yè)者和焊接數(shù)量記錄。管道支架制作安裝采用機(jī)械切割，臺鉆鉆孔，嚴(yán)禁氣割。寧波檢驗(yàn)科特氣管道安裝

當(dāng)管子公稱直徑小于100mm時(shí)，允許偏差為1mm。浙江大口徑特氣管道安裝工程

硅烷（SiH4）是一種在常溫常壓下為具有惡臭的無色氣體。它還是一種在室溫下能著火、在空氣或鹵素氣體中能爆裂性燃燒和劇毒性的特種氣體。硅烷在高科技行業(yè)中應(yīng)用越來越普遍，這與它的特性有關(guān)，同時(shí)也與行業(yè)的特殊需求有關(guān)。硅烷（SiH4）可以通過熱分解或與其它氣體的化學(xué)反應(yīng)制得單晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物質(zhì)。舉例：半導(dǎo)體行業(yè)中，硅烷SiH4是顯示屏制造中較關(guān)鍵的氣體之一，與氨氣（NH3）結(jié)合使用，形成用于a-Si晶體管的氮化硅層；與氧化亞氮（N2O）結(jié)合使用形成MO晶體管的氧化硅層。浙江大口徑特氣管道安裝工程