特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾?，自?dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測，遠(yuǎn)程緊急切斷；專門使用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊?。VMB采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架，繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空；VMB主管氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?；支路氣?dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進(jìn)行分類。特氣管道安裝可以家庭設(shè)備的安全使用，正確的管道安裝可以管道系統(tǒng)的流暢運(yùn)作，防止漏水、滲漏等問題。鹽城特氣管道安裝流程

特氣管道工程是一項(xiàng)危險(xiǎn)系數(shù)比較高的工程，在選擇施工公司和施工的過程中一定要注意安裝標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范操作。現(xiàn)在市面上的特氣管道供應(yīng)商非常的多，但是大多數(shù)的氣體管道廠商只是提供產(chǎn)品，并不包括安裝這一方面。大多數(shù)人是不知道正確安裝的，下面就為大家具體的來介紹注意事項(xiàng)有哪些。1、 特氣管道安裝的時(shí)候，管子對(duì)口時(shí)應(yīng)檢查平直度，距離接口中心200mm處測量，當(dāng)管子公稱直徑小于100mm時(shí)，允許偏差為1mm，當(dāng)管子公稱直徑大于或等于100mm時(shí)，允許偏差為2mm，但全長允許偏差均為100mm。2、管道安裝時(shí)按不同的管徑和要求設(shè)置管卡或吊架,要求位置準(zhǔn)確，埋設(shè)平整,管卡與管道接觸應(yīng)緊密，但不得損傷管道表面涂層。鹽城特氣管道安裝流程按照設(shè)計(jì)方案進(jìn)行管道的切割、焊接、連接等操作，確保管道的密封性和牢固性。

特氣管道一般采用小管道輸送，為了降低成本，管道采用直接用彎管器煨彎的方式，彎管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此對(duì)管道施工人員要進(jìn)行各種角度下的彎管培訓(xùn)，對(duì)焊工也必須進(jìn)行焊接程序的培訓(xùn)，熟悉各種焊接參數(shù)的調(diào)整，然后管工和焊工都必須經(jīng)過考試，由專門的質(zhì)量管理人員確認(rèn)合格后，發(fā)給作業(yè)許可證后方可施工，這也是QA/QC保證程序的組成部分。也是施工程序中人員培訓(xùn)的重點(diǎn)。一個(gè)工藝技術(shù)先進(jìn)的大規(guī)模集成電路工廠的硅片制造過程中，全部工藝大約要使用50種不同的電子氣體。其中大部分為特種氣體。本文就特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工方面做一個(gè)簡單描述。

雙層管特種氣體管道施工除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第 10.6.1條~第 10.6.3條的規(guī)定外，還應(yīng)符合下列規(guī)定：1當(dāng)雙層管焊接施工時(shí)，應(yīng)先實(shí)施內(nèi)管的焊接，并在焊接接頭處應(yīng)安裝滑套；2 當(dāng)雙層管焊接外管及滑套時(shí)，內(nèi)管和外管都應(yīng)充高純氬氣保護(hù)，宜采用自動(dòng)軌道氬弧焊機(jī)焊接；3 內(nèi)管焊接完成后應(yīng)先做壓力試驗(yàn)和氦檢漏，確認(rèn)內(nèi)管無泄漏后，方可焊接外管上的滑套；4 雙層管的內(nèi)管和外管之間應(yīng)安裝彈簧進(jìn)行隔離，內(nèi)管和外管不得直接接觸；5雙套管施工宜采用分段隔絕的方式施工，從氣瓶柜到閥門箱的外層套管不得全部相通。施工中，可通過設(shè)計(jì)使用彎管裝置，現(xiàn)場制作彎頭，解決此加工問題。

特氣輸送系統(tǒng)是指：將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過對(duì)流量和壓力等參數(shù)的控制，通過管道、無二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點(diǎn)。其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點(diǎn)。分類，特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。常規(guī)供氣系統(tǒng)，常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對(duì)氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單，節(jié)省投資。特氣管道工程施工注意事項(xiàng)：避免出現(xiàn)管道經(jīng)常出現(xiàn)問題，影響研究和工作進(jìn)度。上海鋁合金特氣管道安裝規(guī)范

在管道安裝完成后，進(jìn)行壓力測試，以確保管道的密封性和耐壓性。鹽城特氣管道安裝流程

特氣管道工程安裝要求：1、特氣管道工程要選擇一家經(jīng)驗(yàn)豐富的供氣氣體系統(tǒng)公司，2、施工和驗(yàn)收要參照規(guī)范。特氣管道工程施工注意事項(xiàng)：1、不選擇半路進(jìn)入行業(yè)，沒有過多的經(jīng)驗(yàn)的公司，2、不使用的材料不合格，工藝落后，施工和驗(yàn)收不按規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)，3、避免氣體管道工程系統(tǒng)設(shè)計(jì)不到位，4、避免出現(xiàn)管道經(jīng)常出現(xiàn)問題，影響研究和工作進(jìn)度。5、注意特殊氣體泄漏會(huì)引起中毒或爆裂的危險(xiǎn)。特種氣體管道的施工及相關(guān)流程介紹，特種氣體管道的施工采用全自動(dòng)軌道焊接，同時(shí)制定和實(shí)施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序，對(duì)施工的質(zhì)量和程序進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。然后整個(gè)系統(tǒng)還要進(jìn)行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。鹽城特氣管道安裝流程