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有關(guān)推薦或參考值的應(yīng)用無(wú)塵室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定,隨無(wú)塵室用途等具體情況而異,它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過(guò)濾器效率還受其他因素影響,就工業(yè)無(wú)塵室工程而言,影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是:(1)無(wú)塵室內(nèi)污染源:建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動(dòng)、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源,根據(jù)具體情況而異,變化很大;(2)無(wú)塵室內(nèi)氣流流型及分布:?jiǎn)蜗蛄饕缶鶆颉⑵降鹊牧骶€,但會(huì)受到工藝設(shè)備布置和位置變動(dòng)及人員活動(dòng)情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,避免死角及溫度分層;(3)自凈時(shí)間(恢復(fù)時(shí)間)的控制要求:無(wú)塵室中事故釋放或帶入污染物。
興元環(huán)境致力于中央空調(diào)系統(tǒng)、各級(jí)別潔凈系統(tǒng)、機(jī)電安裝總包工程的方案設(shè)計(jì)、安裝施工、售后服務(wù)。珠海百級(jí)無(wú)塵室裝修
復(fù)合式無(wú)塵室為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易;B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。⑵潔凈管道(CleanTube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為**適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。⑶并裝局部無(wú)塵室(CleanSpot):將無(wú)塵室等級(jí)10,000~100,000之亂流無(wú)塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。 清遠(yuǎn)萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室無(wú)塵室的結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性好。
21世界,產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革,無(wú)塵室設(shè)立之必要性也相對(duì)地提高。商品日漸的小型化和精密化,塵埃和溫濕的變化對(duì)商品的完成度亦造成極大的危害,導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的***要求,環(huán)境無(wú)塵化的需求也日益提高。因此在無(wú)塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。所謂的無(wú)塵室是一個(gè)人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng),也增加了對(duì)制造環(huán)境(無(wú)塵室)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于。優(yōu)于納米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí),就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上,可能將其腐蝕,所以無(wú)塵室為集成電路制造不可或缺的要素。
進(jìn)入無(wú)塵室的注意事項(xiàng):一,進(jìn)入無(wú)塵室之前,必須要通知管理人,并通過(guò)基本的訓(xùn)練;二,進(jìn)入無(wú)塵室嚴(yán)禁吸煙、吃東西,不可以帶外來(lái)物品進(jìn)去,并且嚴(yán)禁嘻鬧奔跑及組團(tuán)聊天;三,進(jìn)入無(wú)塵室之前,必須要在規(guī)定的地方脫鞋,將鞋放在鞋柜中,外衣放在衣柜,私人物品放在私人柜子,而且柜子不可以放食物;四,進(jìn)入無(wú)塵室的時(shí)候必須要在更衣室換衣服,并且按照規(guī)矩穿戴好口罩、無(wú)塵帽、無(wú)塵衣以及鞋套;五,進(jìn)入無(wú)塵室要進(jìn)行酒精消毒等等。無(wú)塵室內(nèi)無(wú)菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過(guò)300個(gè)/ min.人,動(dòng)態(tài)發(fā)菌量一般不超過(guò)1000個(gè)/ min/人。
萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室,亦稱為無(wú)塵室或清凈室。在FED-STD-2里面,無(wú)塵室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。世界各國(guó)均有自定規(guī)格,但普遍依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦頒布的標(biāo)準(zhǔn)【FederalStandard(FS)209E,1992】,可將無(wú)塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí),如果無(wú)塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸為μm,例如,1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)無(wú)塵室比較大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是μm,無(wú)塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示。如何做好無(wú)塵室的管理工作保證無(wú)塵室的潔凈度?惠州無(wú)塵室裝修
無(wú)塵室(Clean Room),亦稱為無(wú)塵室或清凈室。珠海百級(jí)無(wú)塵室裝修
簡(jiǎn)易無(wú)塵室通常都是建在無(wú)塵車間內(nèi),所以不需要考慮風(fēng)淋室、傳遞窗以及空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng),成本與無(wú)塵車間比較會(huì)有很大降低,當(dāng)然這與簡(jiǎn)易無(wú)塵室所需材料、大小以及潔凈級(jí)別有一定的關(guān)系。會(huì)將簡(jiǎn)易無(wú)塵室建在無(wú)塵室之內(nèi),但有的客戶不想單獨(dú)建無(wú)塵車間,在簡(jiǎn)易無(wú)塵室不考慮空調(diào)系統(tǒng)及風(fēng)淋室、傳遞窗等凈化設(shè)備的情況下,簡(jiǎn)易無(wú)塵室的成本約是無(wú)塵車間造價(jià)的40%~60%,這取決于客戶對(duì)簡(jiǎn)易無(wú)塵室材料的選擇,以及簡(jiǎn)易無(wú)塵室的大小。需要潔凈的區(qū)域越大,簡(jiǎn)易無(wú)塵室與無(wú)塵車間的成本相比差別會(huì)越小。
珠海百級(jí)無(wú)塵室裝修
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