氮化硅(Si3N4)采用氮化硅制成的新款陶瓷基板的撓曲強(qiáng)度比采用Al2O3和AlN制成的基板高。Si3N4的斷裂韌性甚至超過(guò)了氧化鋯摻雜陶瓷。功率模塊內(nèi)使用的覆銅陶瓷基板的可靠性一直受制于陶瓷較低的撓曲強(qiáng)度，而后者會(huì)降低熱循環(huán)能力。對(duì)于那些整合了極端熱和機(jī)械應(yīng)力的應(yīng)用（例如混合動(dòng)力汽車和電動(dòng)汽車(HEV/EV)而言，目前常用的陶瓷基板不是*佳選擇?；澹ㄌ沾桑┖蛯?dǎo)體（銅）的熱膨脹系數(shù)存在很大差異，會(huì)在熱循環(huán)期間對(duì)鍵合區(qū)產(chǎn)生壓力，進(jìn)而降低可靠性。隨著HEV/EV和可再生能源應(yīng)用的增長(zhǎng)，設(shè)計(jì)者找到了新方法來(lái)確保這些推動(dòng)極具挑戰(zhàn)性的新技術(shù)發(fā)展所需的電子元件的可靠性。由于工作壽命比電力電子使用的其它陶瓷長(zhǎng)10倍或者更高，所以氮化硅基板能夠提供對(duì)于達(dá)到必要的可靠性要求至關(guān)重要的機(jī)械強(qiáng)度。陶瓷基板的壽命是由在不出現(xiàn)剝離和其它影響電路功能與安全的故障的情況下，基板可以承受的熱循環(huán)重復(fù)次數(shù)來(lái)衡量的。該測(cè)試通常是通過(guò)從-55°C到125°C或者150°C對(duì)樣品進(jìn)行循環(huán)運(yùn)行來(lái)完成的?！暗谑邔弥袊?guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕。誠(chéng)邀您蒞臨參觀！云集中外杰出供應(yīng)商的中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)！2025年3月10-12日，新之聯(lián)伊麗斯誠(chéng)邀您相聚上海！3月10日至12日上海市國(guó)際先進(jìn)陶瓷技術(shù)專題論壇

從國(guó)內(nèi)看，碳化硅制造廠商包括長(zhǎng)飛先進(jìn)、芯聯(lián)集成、上海積塔、比亞迪、三安光電、士蘭微、泰科天潤(rùn)等，其中長(zhǎng)飛先進(jìn)、芯聯(lián)集成、上海積塔已實(shí)現(xiàn)碳化硅MOSFET產(chǎn)品的大規(guī)模量產(chǎn)，其他企業(yè)尚不具備大規(guī)模量產(chǎn)能力。三家企業(yè)產(chǎn)能合計(jì)為25萬(wàn)片/年，規(guī)劃產(chǎn)能為44.8萬(wàn)片/年。國(guó)外he心技術(shù)封鎖為常態(tài)，國(guó)產(chǎn)替代需求迫切。和許多先進(jìn)科技一樣，國(guó)內(nèi)發(fā)展碳化硅產(chǎn)業(yè)也受到國(guó)外技術(shù)禁運(yùn)的限制，尤其是寬禁帶半導(dǎo)體器件在jun事領(lǐng)域的應(yīng)用，這進(jìn)一步催生了國(guó)產(chǎn)替代的迫切需求。國(guó)內(nèi)碳化硅產(chǎn)業(yè)在自主創(chuàng)新的推動(dòng)下，正加速自主研發(fā)步伐，以bao障供應(yīng)鏈的安全穩(wěn)定?！暗谑邔弥袊?guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕！五展聯(lián)動(dòng)，串聯(lián)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈，吸引更多的觀眾群體，形成既匯聚更多參展企業(yè)同臺(tái)競(jìng)技，又滿足觀眾和買家多樣化需求的“一站式”商貿(mào)交流平臺(tái)。展會(huì)展覽面積將超過(guò)50,000平方米，中外展商約900家，參展品牌1500個(gè)，國(guó)內(nèi)外觀眾預(yù)計(jì)將達(dá)到70,000人次。展會(huì)打通供需堵點(diǎn)，整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源，集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠(chéng)邀您蒞臨參觀！2024年3月6日先進(jìn)陶瓷技術(shù)與裝備展匯中外優(yōu)秀企業(yè)，展前沿技術(shù)產(chǎn)品，“中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)：2025年3月10-12日將于上海世博展覽館開(kāi)幕。

隨著下游應(yīng)用端的不斷拓展，碳化硅產(chǎn)能供不應(yīng)求。從全球產(chǎn)能情況來(lái)看，近5年內(nèi)全球碳化硅襯底產(chǎn)能嚴(yán)重不足。2023至2025年處于擴(kuò)建產(chǎn)能爬坡期，預(yù)計(jì)2026年新產(chǎn)能大量釋放，但釋放后也只能滿足不足60%的市場(chǎng)需求?？紤]未來(lái)再建產(chǎn)能的時(shí)間周期，包括評(píng)估、資本募集、建廠、訂購(gòu)設(shè)備、產(chǎn)線爬坡等時(shí)間需求，更大產(chǎn)能需要在2030年后才能釋放?！暗谑邔弥袊?guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕！五展聯(lián)動(dòng)；第17屆中國(guó)?國(guó)際粉末冶金及硬質(zhì)合金展覽會(huì)（PM CHINA）、2025上海國(guó)際線圈、變壓器、電感、電機(jī)與磁性材料展覽會(huì)（MMIC CHINA)、2025上海國(guó)際增材制造應(yīng)用技術(shù)展覽會(huì)（AM CHINA)和2025上海國(guó)際粉體加工與處理展覽會(huì)（POWDEX CHINA）同期同地舉辦。五展聯(lián)動(dòng)，串聯(lián)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈，吸引更多的觀眾群體，形成既匯聚更多參展企業(yè)同臺(tái)競(jìng)技，又滿足觀眾和買家多樣化需求的“一站式”商貿(mào)交流平臺(tái)。展會(huì)展覽面積將超過(guò)50,000平方米，中外展商約900家，參展品牌1500個(gè)，國(guó)內(nèi)外觀眾預(yù)計(jì)將達(dá)到70,000人次。展會(huì)打通供需堵點(diǎn)，整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源，集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠(chéng)邀您蒞臨參觀！

碳化硅外延制作方法包括化學(xué)氣相沉積法（CVD）、分子束外延法（MBE）、液相外延法（LPE）、脈沖激光淀積和升華法（PLD）等。其中CVD法較為普及，該方法能精確控制生長(zhǎng)條件，包括氣體源流量、溫度和壓力，從而精確控制外延層的厚度、摻雜濃度和類型，重復(fù)性良好，設(shè)備適中，為目前主流技術(shù)。液相外延法和分子束外延法雖理論上可行，但外延制作的質(zhì)量、效率和成本均不如CVD法，不適合商業(yè)化應(yīng)用。碳化硅外延設(shè)備的密閉性、氣壓、氣體通入時(shí)間、配比和沉積溫度均需精確控制。器件耐壓提升，厚度和摻雜濃度均勻性的控制難度增加；外延層厚度增加，控制均勻性和缺陷密度的難度增加?！暗谑邔弥袊?guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕！展會(huì)展覽面積將超過(guò)50,000平方米，中外展商約900家，參展品牌1500個(gè)，國(guó)內(nèi)外觀眾預(yù)計(jì)將達(dá)到70,000人次。展會(huì)打通供需堵點(diǎn)，整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源，集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠(chéng)邀您蒞臨參觀！“中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展”多方位展示企業(yè)智造實(shí)力，搭建行業(yè)共享共贏的商貿(mào)平臺(tái)，2025年3月10-12日上海見(jiàn)！

碳化硅外延需經(jīng)過(guò)光刻、沉積、離子注入等前段工藝形成碳化硅晶圓，再經(jīng)過(guò)減薄、封裝等后段工藝分別形成碳化硅芯片、功率器件及功率模塊。在制程上，SiC芯片與硅基器件的工藝類似，但SiC制備需要特殊設(shè)備，如高溫離子注入機(jī)和高溫?zé)崽幚碓O(shè)備等。刻蝕、減薄等環(huán)節(jié)也需特殊設(shè)備?！暗谑邔弥袊?guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕！五展聯(lián)動(dòng)；第17屆中國(guó)?國(guó)際粉末冶金及硬質(zhì)合金展覽會(huì)（PM CHINA）、2025上海國(guó)際線圈、變壓器、電感、電機(jī)與磁性材料展覽會(huì)（MMIC CHINA)、2025上海國(guó)際增材制造應(yīng)用技術(shù)展覽會(huì)（AM CHINA)和2025上海國(guó)際粉體加工與處理展覽會(huì)（POWDEX CHINA）同期同地舉辦。五展聯(lián)動(dòng)，串聯(lián)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈，吸引更多的觀眾群體，形成既匯聚更多參展企業(yè)同臺(tái)競(jìng)技，又滿足觀眾和買家多樣化需求的“一站式”商貿(mào)交流平臺(tái)。展會(huì)展覽面積將超過(guò)50,000平方米，中外展商約900家，參展品牌1500個(gè)，國(guó)內(nèi)外觀眾預(yù)計(jì)將達(dá)到70,000人次。展會(huì)打通供需堵點(diǎn)，整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源，集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠(chéng)邀您蒞臨參觀！“中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”2025年3月10日上海世博展覽館。云集行業(yè)杰出企業(yè)的商貿(mào)平臺(tái)，共襄行業(yè)盛會(huì)！3月10日-12日上海國(guó)際先進(jìn)陶瓷及粉末冶金展覽會(huì)

賦能品質(zhì)制造，探索萬(wàn)千可能。中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)承載業(yè)界期許，2025年3月10-12日誠(chéng)邀您蒞臨參觀！3月10日至12日上海市國(guó)際先進(jìn)陶瓷技術(shù)專題論壇

在IT和電子行業(yè)中，元器件散熱需要用到風(fēng)扇，風(fēng)扇中馬達(dá)若采用陶瓷軸承即可減少噪音，又可延長(zhǎng)壽命，比金屬軸承具有更大優(yōu)越性。ZrO2和Si3N4陶瓷不僅耐磨性好，斷裂韌性高，而且具有一定的自潤(rùn)滑性，因此是制造陶瓷軸承的理想候選材料。電子用精密陶瓷部件、機(jī)電工業(yè)用精密陶瓷部件包括各種氧化鋁(Al2O3)體系絕緣陶瓷零部件，如集成電路封裝管殼；電真空開(kāi)關(guān)陶瓷管；微波爐中磁控管用絕緣陶瓷以及絕緣陶瓷燈座等。機(jī)電工業(yè)用精密陶瓷部件、透明氧化鋁陶瓷產(chǎn)品許多透明氧化鋁陶瓷產(chǎn)品已采用注射成型技術(shù)制備，包括牙齒矯正用透明陶瓷托槽、陶瓷金屬鹵化物燈泡內(nèi)的透明陶瓷電弧發(fā)光管、以及集實(shí)用與美觀于一體的半透明氧化鋁陶瓷杯。“第十七屆中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕。3月10日至12日上海市國(guó)際先進(jìn)陶瓷技術(shù)專題論壇