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廣西連續(xù)式真空鍍膜機(jī)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2021-11-24

【真空鍍膜之磁控濺射鍍膜】 磁控濺射對陰極濺射中電子使基片溫度上升過快的缺點(diǎn)加以改良,形成了電場和磁場方向相互垂直的特點(diǎn)。在正交的電磁場的作用下,電子以擺線的方式沿著靶表面前進(jìn),從而xianzhu地延長了電子的運(yùn)動路程,增加了同工作氣體分子的碰撞幾率,提高了電子的電離效率。由于電子每經(jīng)過一次碰撞損失一部分動能,經(jīng)過多次碰撞后,喪失了能量成為“*終電子”進(jìn)入離陰極靶面較遠(yuǎn)的弱電場區(qū),*后到達(dá)陽極時(shí)已經(jīng)是能量消耗殆盡的低能電子,也就不再會使基片過熱。同時(shí)高密度等離子體被束縛在靶面附近,又不與基片接觸,這樣電離產(chǎn)生的正離子能十分有效地轟擊靶面,而基片又可免受等離子體的轟擊,因而基片溫度又可降低。在濺射儀起輝以后,并不把樣品轉(zhuǎn)入陽極的生長位置,也不通循環(huán)水,使樣品隨放電的熱能而逐漸升高至一定溫度后,才開始生長,以減小應(yīng)力,獲得牢固度較高的薄膜。另外在樣品盤中還安裝了溫控儀(精度小于1℃)以監(jiān)控薄膜生長過程中的樣品溫度。 真空鍍膜機(jī)的相關(guān)資料。廣西連續(xù)式真空鍍膜機(jī)

【常見的真空材料表面上的污染物類型】 1、油脂:加工、裝配、操作時(shí)沾染上的潤滑劑、切削液、真空油脂等; 2、酸、堿、鹽類物質(zhì):清洗時(shí)的殘余物質(zhì)、手汗、水中的礦物質(zhì)等; 3、表面氧化物:材料長期放置在空氣中或放置在潮濕空氣中所形成的表面氧化物; 4、水基類:操作時(shí)的手汗、吹氣時(shí)的水汽、唾液等; 5、拋光殘?jiān)碍h(huán)境空氣中的塵埃和其它有機(jī)物等。 清洗這些污染物的目的是為了改進(jìn)真空鍍膜機(jī)的工作穩(wěn)定性,使工作能夠更加順利的進(jìn)行。清洗后的表面根據(jù)要求分為原子級清潔表面和工藝技術(shù)上的清潔表面兩類?!?在真空鍍膜機(jī)使用鍍膜材料鍍膜前,對鍍膜材料做簡單的表面清潔可以延長鍍膜機(jī)的使用壽命。因?yàn)楦鞣N污染物不僅使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度,還會影響真空部件連接處的強(qiáng)度和密封性能。前期到位的清洗工作可以減少許多麻煩,避免許多小問題的發(fā)生,對工作效率、真空鍍膜機(jī)鍍膜質(zhì)量都具有十分積極的作用??蒬ada提高真空系統(tǒng)中所有器壁和其它組件表面在各工作條件下的工作穩(wěn)定性。  廣西連續(xù)式真空鍍膜機(jī)真空鍍膜機(jī)哪個(gè)牌子的好?

【機(jī)械泵分類】機(jī)械泵有很多種,常用的有滑閥式、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式四種類型。 機(jī)械泵是從da氣開始工作的,它的主要參數(shù)有極限真空,抽氣速率,此為設(shè)計(jì)與選用機(jī)械泵的重要依據(jù)。單級泵可以將容器從da氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級機(jī)械泵可以將容器從da氣抽到6.7*10-2帕,甚至更高。抽氣速率,是指旋片泵按額定轉(zhuǎn)數(shù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),單位時(shí)間內(nèi)所能排出氣體的體積,可以用下公式計(jì)算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結(jié)束時(shí)空腔截面積,L表示空腔長度,系數(shù)表示轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周有兩次排氣過程,Vs表示當(dāng)轉(zhuǎn)子處于水平位置的時(shí)候,吸氣結(jié)束,此時(shí)空腔內(nèi)的體積*da,轉(zhuǎn)速為n。機(jī)械泵排氣的效果還與電機(jī)的轉(zhuǎn)速及皮帶的松緊度有關(guān)系,當(dāng)電機(jī)的皮帶比較松,電機(jī)轉(zhuǎn)速很慢的時(shí)候,機(jī)械泵的排氣效果也會變差,所以要經(jīng)常保養(yǎng),點(diǎn)檢,機(jī)械泵油的密封效果也需要常常點(diǎn)檢,油過少,達(dá)不到密封效果,泵內(nèi)會漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣和排氣,一般,在油位在線下0.5厘米即可。

【真空鍍膜設(shè)備的正常工作條件】 1、環(huán)境溫度:10~30℃ 2、相對濕度:不da于70% 3、冷卻水進(jìn)水溫度:不高于25℃ 4、冷卻水質(zhì):城市自來水或質(zhì)量相當(dāng)?shù)乃?5、供電電壓:380V,三相50Hz或220V,單相50Hz(由所用電器需要而定),電壓波動范圍342~399V或198V~231V,頻率波動范圍49~51Hz; 6、設(shè)備所需的壓縮空氣、液氮、冷熱水等壓力、溫度、消耗量均應(yīng)在產(chǎn)品使用說明書上寫明。 7、設(shè)備周圍環(huán)境整潔、空氣清潔,不應(yīng)有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導(dǎo)電的塵?;驓怏w存在。 此外,真空鍍膜設(shè)備所在實(shí)驗(yàn)室或車間應(yīng)保持清潔衛(wèi)生。地面為水磨石或木質(zhì)涂漆地面、無塵埃。為防止機(jī)械泵工作時(shí)排出的氣體對實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的污染,可采用在泵的排氣口上面裝設(shè)排氣管道(金屬、橡膠管)的辦法,將氣體排出室外。 真空鍍膜機(jī)真空度多少?

【真空鍍膜機(jī)常見故障】: 一、 當(dāng)正在鍍膜室真空突然下降 1. 蒸發(fā)源水路膠圈損壞(更換膠圈) 2. 坩堝被打穿(更換坩堝) 3. 高壓電極密封處被擊穿(更換膠圈) 4. 工轉(zhuǎn)動密封處膠圈損壞(更換膠圈) 5. 預(yù)閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥) 6. 高閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥) 7. 機(jī)械泵停機(jī)可能是繼電器斷開(檢查繼電器是否工作正常) 8. 烘烤引入線電極密封處被擊穿(更換膠圈) 9. 擋板動密封處膠圈損壞(更換膠圈) 10. 玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂(更換玻璃) 二、長期工作的鍍膜機(jī)抽真空的時(shí)間很長且達(dá)不到工作真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空: 1. 蒸發(fā)室有很多粉塵(應(yīng)清洗) 2. 擴(kuò)散泵很久未換油(應(yīng)清洗換油) 3. 前級泵反壓強(qiáng)da太機(jī)械泵真空度太低(應(yīng)清洗換油) 4. 各動密封膠圈損壞(更換膠圈) 5. 由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠圈老化(更換膠圈) 6. 蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞(更換膠圈) 7. 各引入座螺釘、螺母有無松動現(xiàn)象(重新壓緊) 8. 高低預(yù)閥是否密封可靠(注油) 真空鍍膜機(jī)的工作原理和構(gòu)成。廣西連續(xù)式真空鍍膜機(jī)

國產(chǎn)真空鍍膜機(jī)廠商推薦。廣西連續(xù)式真空鍍膜機(jī)

【真空鍍膜技術(shù)專業(yè)詞匯】真空鍍膜vacuum coating:在處于真空下的基片上制取膜層的一種方法。 基片substrate:膜層承受體。 試驗(yàn)基片testing substrate:在鍍膜開始、鍍膜過程中或鍍膜結(jié)束后用作測量和(或)試驗(yàn)的基片。 鍍膜材料coating material:用來制取膜層的原材料。 蒸發(fā)材料evaporation material:在真空蒸發(fā)中用來蒸發(fā)的鍍膜材料。 濺射材料sputtering material:有真空濺射中用來濺射的鍍膜材料。 膜層材料(膜層材質(zhì))film material:組成膜層的材料。 蒸發(fā)速率evaporation rate:在給定時(shí)間間隔內(nèi),蒸發(fā)出來的材料量,除以該時(shí)間間隔 濺射速率sputtering rate:在給定時(shí)間間隔內(nèi),濺射出來的材料量,除以該時(shí)間間隔。 沉積速率deposition rate:在給定時(shí)間間隔內(nèi),沉積在基片上的材料量,除以該時(shí)間間隔和基片表面積。 鍍膜角度coating angle:入射到基片上的粒子方向與被鍍表面法線之間的夾角。 廣西連續(xù)式真空鍍膜機(jī)

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