【真空鍍膜機(jī)清洗工藝之氮?dú)鉀_洗】氮?dú)庠诓牧媳砻嫖綍r,由于吸附能小,因而吸留表面時間極短.即便吸附在器壁上,也很容易被抽走。利用氮?dú)獾倪@種性質(zhì)沖洗真空系統(tǒng),可以dada縮短系統(tǒng)的抽氣時間。如真空鍍膜機(jī)在放入da氣之前,先用干燥氮?dú)獬淙胝婵帐覜_刷一下再充入da氣,則下一抽氣循環(huán)的抽氣時間可縮短近一半,其原因?yàn)榈钟璧奈侥苓h(yuǎn)比水氣分子小,在真空下充入氮?dú)夂?,氮分子先被真空室壁吸附了。由于吸附位是一定的,先被氮分子占滿了,其吸附的水分子就很少了,因而使抽氣時間縮短了。如果系統(tǒng)被擴(kuò)散泵油噴濺污染了,還可以利用氮?dú)鉀_洗法來清洗被污染的系統(tǒng).一般是一邊對系統(tǒng)進(jìn)行烘烤加熱,一邊用氮?dú)鉀_洗系統(tǒng),可將油污染消除。真空鍍膜機(jī)日常怎么維護(hù)?吉林大直徑射頻離子源生產(chǎn)廠家
【真空鍍膜機(jī)真空檢漏方法普及之熒光檢漏法】熒光檢漏法首先需要將熒光材料溶于如丙tong等一些浸潤性能好、易于揮發(fā)的有機(jī)溶劑中,使之成為飽和溶液;然后將被檢的真空部件外表面浸泡到溶液中或涂抹到部件表面,這一過程中,為了提升效果、縮短浸泡時間,可以在抽真空或者加壓條件下對其進(jìn)行浸泡。如果存在漏孔,熒光劑溶液會因毛細(xì)作用滲入到其中;qing除表面多余的溶液,待有機(jī)溶劑揮發(fā)后,熒光材料便會在漏孔中殘留下來;此時再用紫外線燈光照射,漏孔位置就會觀察到明顯的熒光點(diǎn)。在進(jìn)行紫外光源照射時,對于一些存在盲孔、表面不平的器件,可能也會存在殘留熒光材料,因此玻璃真空器件好在背面進(jìn)行照射觀察;為了提高對比度也可以采用濾光放da鏡,過濾掉紫外線以外的其他光線,來獲得更佳的觀察效果;而在熒光材料的選擇時要注意其發(fā)光顏色和被檢真空部件的顏色要有明顯的反差。熒光檢漏法不僅用于真空系統(tǒng)檢漏中,而且也被用于鑄件、模壓金屬件以及焊接件的裂紋檢查等。重慶離子束輔助沉積射頻離子源制造生產(chǎn)真空鍍膜機(jī)故障維修技巧有哪些?
且多個葉片2的尾端22伸入中空結(jié)構(gòu)11圍合的區(qū)域中以形成可供離子束穿過的光闌3,驅(qū)動機(jī)構(gòu)可驅(qū)動葉片2的尾端22相對葉片排布形成的圓周的中心運(yùn)動,從而使得葉片2圍合形成的光闌3的大小得以調(diào)節(jié),即對離子束的束徑進(jìn)行調(diào)節(jié)。作為一種推薦實(shí)施例,葉片2的首端21與底座1的對應(yīng)端面轉(zhuǎn)動連接,葉片2的尾端22沿葉片2排布形成的圓周周向依次疊放并斜向伸入中空結(jié)構(gòu)11所在區(qū)域以形成光闌3,驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括滑環(huán)41及驅(qū)動滑環(huán)41繞滑環(huán)41中心旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動組件,滑環(huán)41位于多個葉片2的遠(yuǎn)離底座1的一側(cè)并與多個葉片2排布形成的圓周同軸設(shè)置,滑環(huán)41旋轉(zhuǎn)時帶動葉片2的尾端22繞葉片2的首端21轉(zhuǎn)動以實(shí)現(xiàn)光闌3大小調(diào)節(jié),也即滑環(huán)41旋轉(zhuǎn)時,由于葉片2的首端21與底座1一端端面轉(zhuǎn)動連接,葉片2的首端21相對葉片2圍合形成的圓周的中心距離不會變化,而葉片2的尾端22則會相對于葉片2排布形成的圓周的中心進(jìn)行運(yùn)動,從而使葉片2的尾端22相交圍合形成的光闌3大小變化。并且為了使光闌3的形狀更趨近于圓形,葉片2具有朝向葉片2排布形成的圓周的圓弧方向同向彎曲的圓弧形狀,同時,當(dāng)葉片2的數(shù)量越多時,光闌3的形狀更趨近于圓形。具體而言,底座1的對應(yīng)端的端面上設(shè)有多個呈圓周布置的定位孔12。
【真空鍍膜設(shè)備撿漏需注意】真空鍍膜設(shè)備檢漏是保證真空鍍膜設(shè)備真空度的一項(xiàng)檢查措施,簡稱檢漏,真空度的高低是直接影響到鍍膜效果的,所以檢漏是必不可少的。一、要確認(rèn)漏氣到底的虛漏還是實(shí)漏。因?yàn)楣ぜ牧霞訜岷蠖紩诓煌潭壬袭a(chǎn)生氣體,有可能誤以為是從外部流進(jìn)的氣體,這就是虛漏,要排除這種情況。二、測試好真空室的氣體密封性能。確保氣密性能符合要求。三、檢查漏孔的da小,形狀、位置,漏氣的速度,制備出可解決方案并實(shí)施。四、確定檢測儀器的小可檢漏率和檢漏靈敏性,以da范圍的檢測出漏氣情況,避免一些漏孔被忽略,提高檢漏的準(zhǔn)確性。五、把握檢漏儀器的反應(yīng)時間和消除時間。把時間掌握好,保證檢漏儀器工作到位,時間少了,檢漏效果肯定差,時間長了,浪費(fèi)檢漏氣體和人工電費(fèi)。六、還要避免漏孔堵塞。有時由于操作失誤,檢漏過程中,一些灰塵或液體等把漏孔堵塞了,以為在該位置沒有漏孔,但當(dāng)這些堵塞物由于內(nèi)外壓強(qiáng)差異提高或其他原因使漏孔不堵了,那漏氣還是存在的。為真空鍍膜設(shè)備做好檢漏工作是很重要的,造成真空度下降的原因多種多樣,我們要一一的解決這些原因,穩(wěn)定鍍膜的效果。真空鍍膜機(jī)的主要應(yīng)用。
【真空鍍膜機(jī)之卷繞機(jī)構(gòu)設(shè)計中應(yīng)考慮的問題】①提高卷繞速度的問題。卷繞速度即是帶狀基材運(yùn)動的線速度,它是卷繞機(jī)構(gòu)的一個主要技術(shù)指櫟。國內(nèi)早期鍍膜機(jī)卷繞速度只有10m/min,現(xiàn)在也只有80m/min~120m/min,在國外日本的EW系列產(chǎn)品中,其卷繞速度已達(dá)到300m/min,德國L.H公司生產(chǎn)的鍍膜機(jī)已達(dá)到600m/min,可見隨著鍍膜技術(shù)的發(fā)展,卷繞速度有待提高。②帶狀基材的線速恒定問題。這一問題也很重要,因?yàn)橹挥芯砝@機(jī)構(gòu)保證帶狀基材的線速恒定,才能使基材上鍍層厚度均勻。這一點(diǎn)對制備帶狀基材的功能性膜(如電容器膜)尤為重要。③帶狀基材的跑偏和起褶問題。隨著卷繞速度的提高,帶狀基材在卷繞鍍膜過程中,起褶和發(fā)生偏斜,嚴(yán)重時會造成基材的斷裂,使生產(chǎn)中斷,既影響生產(chǎn)效率,又浪費(fèi)材料。因此,在卷繞機(jī)構(gòu)的設(shè)計中應(yīng)充分考慮這一問題。射頻離子源是一種高能離子源,可用于各種科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用。廣東離子束濺射射頻離子源廠家
錦成國泰真空鍍膜機(jī)怎么樣?吉林大直徑射頻離子源生產(chǎn)廠家
【真空鍍膜之磁控濺射鍍膜】磁控濺射對陰極濺射中電子使基片溫度上升過快的缺點(diǎn)加以改良,形成了電場和磁場方向相互垂直的特點(diǎn)。在正交的電磁場的作用下,電子以擺線的方式沿著靶表面前進(jìn),從而xianzhu地延長了電子的運(yùn)動路程,增加了同工作氣體分子的碰撞幾率,提高了電子的電離效率。由于電子每經(jīng)過一次碰撞損失一部分動能,經(jīng)過多次碰撞后,喪失了能量成為“終電子”進(jìn)入離陰極靶面較遠(yuǎn)的弱電場區(qū),后到達(dá)陽極時已經(jīng)是能量消耗殆盡的低能電子,也就不再會使基片過熱。同時高密度等離子體被束縛在靶面附近,又不與基片接觸,這樣電離產(chǎn)生的正離子能十分有效地轟擊靶面,而基片又可免受等離子體的轟擊,因而基片溫度又可降低。在濺射儀起輝以后,并不把樣品轉(zhuǎn)入陽極的生長位置,也不通循環(huán)水,使樣品隨放電的熱能而逐漸升高至一定溫度后,才開始生長,以減小應(yīng)力,獲得牢固度較高的薄膜。另外在樣品盤中還安裝了溫控儀(精度小于1℃)以監(jiān)控薄膜生長過程中的樣品溫度。吉林大直徑射頻離子源生產(chǎn)廠家