【離子鍍膜法之直流二極型(DCIP)】: 直流二極型(DCIP):利用電阻或電子束加熱使膜材氣化;被鍍基體作為陰極,利用高電壓直流輝光放電將充入的氣體氬(Ar)(也可充少量反應(yīng)氣體)離化。這種方法的特點(diǎn)是:基板溫升大、繞射性好、附著性好,膜結(jié)構(gòu)及形貌差,若用電子束加熱必須用差壓板;可用于鍍耐腐蝕潤(rùn)滑機(jī)械制品。 【離子鍍膜法之多陰極型】: 多陰極型:利用電阻或電子束加熱使膜材氣化;依靠熱電子、陰極發(fā)射的電子及輝光放電使充入的真空惰性氣體或反應(yīng)氣體離化。這種方法的特點(diǎn)是:基板溫升小,有時(shí)需要對(duì)基板加熱;可用于鍍精密機(jī)械制品、電子器件裝飾品。真空鍍膜設(shè)備品牌推薦。海南真空鍍膜設(shè)備的玻璃架圖片
【濺射鍍膜定義】: 定義:所謂濺射,就是這充滿(mǎn)腔室的工藝氣體在高電壓的作用下,形成氣體等離子體(輝光放電),其中的陽(yáng)離子在電場(chǎng)力作用下高速向靶材沖擊,陽(yáng)離子和靶材進(jìn)行能量交換,使靶材原子獲得足夠的能量從靶材表面逸出(其中逸出的還可能包含靶材離子)。這一整個(gè)的動(dòng)力學(xué)過(guò)程,就叫做濺射。入射離子轟擊靶面時(shí),將其部分能量傳輸給表層晶格原子,引起靶材中原子的運(yùn)動(dòng)。有的原子獲得能量后從晶格處移位,并克服了表面勢(shì)壘直接發(fā)生濺射;有的不能脫離晶格的束縛,只能在原位做振動(dòng)并波及周?chē)?,結(jié)果使靶的溫度升高;而有的原子獲得足夠大的能量后產(chǎn)生一次反沖,將其臨近的原子碰撞移位,反沖繼續(xù)下去產(chǎn)生高次反沖,這一過(guò)程稱(chēng)為級(jí)聯(lián)碰撞。級(jí)聯(lián)碰撞的結(jié)果是部分原子達(dá)到表面,克服勢(shì)壘逸出,這就形成了級(jí)聯(lián)濺射,這就是濺射機(jī)理。當(dāng)級(jí)聯(lián)碰撞范圍內(nèi)反沖原子密度不高時(shí),動(dòng)態(tài)反沖原子彼此間的碰撞可以忽略,這就是線(xiàn)性級(jí)聯(lián)碰撞。海南真空鍍膜設(shè)備類(lèi)型真空鍍膜設(shè)備真空度多少?
【真空蒸鍍的歷史】:1857年Michael FaradayZui早提出基本原理,而后、1930年代由于油擴(kuò)散式真空泵實(shí)用化、蒸鍍主要用于制作鏡片防反射膜。第二次世界大戰(zhàn)時(shí),其他的光學(xué)機(jī)器對(duì)材料的需求提高,真空蒸鍍也因此快速發(fā)展。 【真空蒸鍍的原理】:在真空狀態(tài)下,加熱蒸發(fā)容器中的靶材,使其原子或分子逸出,沉積在目標(biāo)物體表面,形成固態(tài)薄膜。依蒸鍍材料、基板的種類(lèi)可分為:抵抗加熱、電子束、高周波 誘導(dǎo)、雷射等加熱方式。蒸鍍材料有鋁、亞鉛、金、銀、白金、鎳等金屬材料與可產(chǎn)生光學(xué)特性薄膜的材料,主要有使用SiO2、TiO2、ZrO2、MgF2 等氧化物與氟化物。蒸鍍除金屬外,樹(shù)脂與玻璃也可以使用、近年來(lái)連紙也變成可蒸鍍。 【蒸發(fā)鍍膜的優(yōu)缺點(diǎn)】: 優(yōu)點(diǎn):設(shè)備簡(jiǎn)單、容易操作;成膜的速率快,效率高。 缺點(diǎn):薄膜的厚度均勻性不易控制,蒸發(fā)容器有污染的隱患,工藝重復(fù)性不好,附著力不高。
【真空鍍膜改善外層膜表面硬度】: 減反膜一般外層選用MgF2,該層剖面是較為松散的柱狀結(jié)構(gòu),表面硬度不高,容易擦拭出道子。改善外層表面硬度的方法包括: 1. 在膜系設(shè)計(jì)允許的條件下,膜外層加10nm左右的二氧化硅膜層,二氧化硅的表面光滑度優(yōu)于氟化鎂(但二氧化硅表面耐磨度、硬度不如氟化鎂)。鍍膜后離子轟擊幾分鐘,牢固度效果會(huì)更好。(但表面會(huì)變粗) 2. 鏡片取出真空室后,放置在較為干燥潔凈的地方,防止鏡片快速吸潮,表面硬度降低。PVD真空鍍膜設(shè)備公司。
【濺射的四要素】:①靶材物質(zhì),②電磁場(chǎng),③底物,④一整套完整配備的鍍膜設(shè)備【濺射收益】:1)離子每一次撞擊靶材時(shí),靶材所釋放出的靶材原子;2)影響濺射收益的因素:①等離子體中離子動(dòng)能,②入射離子的入射角度;3)Zui大濺射收益的決定因素:①入射角度在45°&50°左右,②取決于靶材物質(zhì);4)入射角度的影響因素①由電場(chǎng)決定,②靶材表面于入射源的相對(duì)角度?!緸R射率】:定義:每單位時(shí)間內(nèi)靶材物質(zhì)所釋放出的原子個(gè)數(shù)。濺射率的影響因素:①離子動(dòng)能(取決于電源電壓和氣體壓力)②等離子密度(取決于氣體壓力和電流)。統(tǒng)計(jì)學(xué)公式:Rs(統(tǒng)計(jì)學(xué))=d/t。注:濺射原子溢出角度大部分在0~10度之間,因此在腔室內(nèi)所有區(qū)域都可能被鍍上一層膜,久之會(huì)產(chǎn)生污染。所以真空濺射腔室內(nèi)必須進(jìn)行定期清潔。真空鍍膜設(shè)備真空四個(gè)階段。江西進(jìn)口真空鍍膜設(shè)備
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【光學(xué)鍍膜的目的】: &反射率的提高或透射率的降低 &反射率的降低或透射率的提高 &分光作用:中性分光、變色分光、偏極光分光 &光譜帶通、帶止及長(zhǎng)波通或短波通之濾光作用 &相位改變 &液晶顯示功能之影顯 &色光顯示、色光反射、偽chao及有價(jià)證券之防止 &光波的引導(dǎo)、光開(kāi)關(guān)及集體光路 a. 在膜層中,波的干涉結(jié)果,如R%, T%都是與膜質(zhì)本身和兩邊界邊的折射率率有關(guān)系,相位變化也是如此。 b. 由于干涉作用造成的反射率有時(shí)升高,有時(shí)反而降低,都要視磨蹭的折射率高于或低于基板折射率而定。若Nf>Ns,則反射率會(huì)提高(Ns為基底),若Nf海南真空鍍膜設(shè)備的玻璃架圖片