超純水這個(gè)詞是隨著半導(dǎo)體的發(fā)展而出現(xiàn)的.半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所要求的超純水是100%的理論純水,不含溶解在水中的離子類、有機(jī)物、活菌、微粒等。然而,不可能獲得理論純水。因?yàn)槔碚摷兯粌H本身很難制造,而且理論純水溶解其他物質(zhì)的能力也很強(qiáng)。因?yàn)闀?huì)變的。這是因?yàn)椋词鼓軌蛑圃斐隼碚摷兯?,也不能忽視設(shè)備的附著物和材料的污染,而且如果將制造水采集到容器中,容器會(huì)產(chǎn)生污漬和溶出,因此無法維持純度。因此,“超純水”是指與現(xiàn)實(shí)中能夠制造的理論純水接近的水。超純水設(shè)備可以凈化水中的微生物和有機(jī)物。浙江EDI超純水設(shè)備
采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合的方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點(diǎn)3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進(jìn)行搭配的方式,這是一種制取超純水的工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟(jì),發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點(diǎn)●技術(shù)特點(diǎn)1、第一種采用離子交換樹脂其優(yōu)點(diǎn)在于初投資少,占用的地方少,但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生,耗費(fèi)大量酸堿,而且對環(huán)境有一定的破壞。麗水半導(dǎo)體超純水設(shè)備超純水設(shè)備可以提供低總銻的水源。
超純水系統(tǒng)設(shè)備的脫鹽中心部件為進(jìn)口反滲透膜組件,超純水系統(tǒng)設(shè)備通常由預(yù)處理部分,反滲透主機(jī)部分,后處理部分共同組成。1、預(yù)處理由石英砂過濾器、活性碳過濾器、全自動(dòng)軟水器、精密過濾器組成(我司采用全自動(dòng)控制閥頭),也可選用超濾系統(tǒng)作為預(yù)處理,但通常工程造價(jià)要高。預(yù)處理主要目的是去除原水中含有的泥沙,鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物、色度、異味、生化有機(jī)物。當(dāng)原水中硬度較高時(shí),可選擇全自動(dòng)軟水器,這樣有效的保護(hù)了反滲透膜,從而延長了反滲透膜的使用壽命。2、反滲透主機(jī)主要由高壓泵、膜殼、進(jìn)口反滲透膜組件,在線儀表、控制電氣等組成。只要膜的數(shù)量及泵的型號選型得當(dāng),反滲透主機(jī)脫鹽率及產(chǎn)水量都能達(dá)到額定指標(biāo),出水電導(dǎo)率可保證在≤10us. CM以下,(原水電導(dǎo)率小于500us/cm,工作溫度:1~40℃)3、后處理部分是對反滲透制取的純水作進(jìn)一步的深化處理以制取超純水,通常是離子交換混床設(shè)備或EDI設(shè)備,根據(jù)客戶要求,出水阻率可達(dá)到18.2MΩ.CM,如果是應(yīng)用在直飲水工藝上,則加上殺菌裝置即可,通常為紫外線殺菌器或者臭氧發(fā)生器,從而使生產(chǎn)出來的水達(dá)到直飲標(biāo)準(zhǔn)。
超純水設(shè)備保護(hù)措施根據(jù)部件不同略有差別,不同的配置有對應(yīng)的保護(hù)措施,我們就來了解一下這些非常有必要收藏的保護(hù)措施。11、在超純水設(shè)備使用15-30天就應(yīng)該對砂濾器和炭濾器進(jìn)行正反沖洗,將沙層和炭層表面的雜質(zhì)沖出,以提高過濾效果。軟化器的功用主要是以離子置換的原理降低水的硬度,因此隨著使用時(shí)間的延長,陽樹脂的軟化能力也逐漸降低,需要用NaCl進(jìn)行再生。22、精密過濾器是反滲透膜前的一個(gè)重要部件。通常我們會(huì)在精密過濾器的前后各裝一個(gè)壓力表,當(dāng)壓力差在0.7-1之間說明濾芯已經(jīng)污堵了,就應(yīng)該及時(shí)更換pp濾芯。超純水設(shè)備可以提供低總錳的水供應(yīng)。
鐵銹膠體物質(zhì)懸浮物色異味生化有機(jī)物當(dāng)原水中硬度較高時(shí),可選擇全自動(dòng)軟水器,這樣有效的保護(hù)了反滲透膜,從而延長了反滲透膜的使用壽命。2、反滲透主機(jī)主要由高壓泵、膜殼、進(jìn)口反滲透膜組件,在線儀表、控制電氣等組成。只要膜的數(shù)量及泵的型號選型得當(dāng),反滲透主機(jī)脫鹽率及產(chǎn)水量都能達(dá)到額定指標(biāo),出水電導(dǎo)率可保證在≤10us.CM以下,(原水電導(dǎo)率小于500us/cm,工作溫度:1~40℃)3、后處理部分是對反滲透制取的純水作進(jìn)一步的深化處理以制取超純水,通常是離子交換混床設(shè)備或EDI設(shè)備,根據(jù)客戶要求,出水阻率可達(dá)到18.2MΩ.CM,如果是應(yīng)用在直飲水工藝上,則加上殺菌裝置即可,通常為紫外線殺菌器或者臭氧發(fā)生器,從而使生產(chǎn)出來的水達(dá)到直飲標(biāo)準(zhǔn)。超純水設(shè)備是采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理等方法。浙江EDI超純水設(shè)備
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水的電導(dǎo)率不同超純水的出水水質(zhì):電阻率>15MΩ.cm超純水水質(zhì)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。2.純水分為:工業(yè)純水和飲用純水工業(yè)純水:在25攝氏度中,1。普通純水:EC=1~10us/cm;2。高純水:EC=0.1~1.0us/cm;3。超純水:EC=0.1~0.055;飲用純水:EC=1~10us/cm(國家標(biāo)準(zhǔn))。三、各種設(shè)備之間采用的工藝流程不同(一)超純水設(shè)備的工藝流程為:1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)。2、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(工藝)。浙江EDI超純水設(shè)備