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光刻機(jī)的工作原理是什么?

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岱美儀器技術(shù)服務(wù)2024-11-13

光刻機(jī)的工作原理主要是利用光學(xué)成像技術(shù),將芯片上的電路圖案投射到光刻膠上,然后通過(guò)化學(xué)反應(yīng)將圖案轉(zhuǎn)移到芯片表面。具體來(lái)說(shuō),光刻機(jī)先將芯片表面涂上一層光刻膠,然后將芯片放置在光刻機(jī)的工作臺(tái)上。接下來(lái),光刻機(jī)將光源通過(guò)光學(xué)透鏡集成一個(gè)光學(xué)圖案,再通過(guò)投影鏡頭將圖案縮小并投射到光刻膠上。光刻膠在光的作用下會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),形成電路圖案。然后再,通過(guò)洗滌和蝕刻等工藝步驟將光刻膠去除,就可以得到芯片上的電路圖案了。我們岱美一切產(chǎn)品均從實(shí)際出發(fā),嚴(yán)格把關(guān)產(chǎn)品質(zhì)量,得到了廣大客戶積極的好評(píng),熱誠(chéng)歡迎廣大客戶前來(lái)咨詢合作!

岱美儀器技術(shù)服務(wù)
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簡(jiǎn)介:岱美儀器,專注于半導(dǎo)體行業(yè)40多年,可提供歐美先進(jìn)設(shè)備,擁有雄厚的技術(shù)積累,以及專業(yè)的技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)。
簡(jiǎn)介: 岱美儀器,專注于半導(dǎo)體行業(yè)40多年,可提供歐美先進(jìn)設(shè)備,擁有雄厚的技術(shù)積累,以及專業(yè)的技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)。
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