晶圓甩干機(jī)的噴淋系統(tǒng)有什么作用？

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無(wú)錫凡華半導(dǎo)體科技有限公司2025-02-07

在漂洗過程中，將去離子水或其他清洗液均勻地噴灑在晶圓表面，沖洗掉雜質(zhì)和殘留化學(xué)物質(zhì)。

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