無錫保利新能源設(shè)備制造有限公司2024-11-26

單晶爐的氣氛控制系統(tǒng)用于調(diào)節(jié)爐內(nèi)氣體的種類、流量和壓力，以創(chuàng)造適合晶體生長的氣體環(huán)境。不同的半導(dǎo)體材料對(duì)氣體環(huán)境的要求不同，例如硅單晶生長時(shí)通常需要惰性氣體（如氬氣）作為保護(hù)氣，以防止熔融材料氧化。氣氛控制系統(tǒng)還能通過調(diào)節(jié)氣體成分和流量，影響晶體生長速率和晶體質(zhì)量。

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