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臺(tái)式檢漏儀單位

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-05-24

檢漏儀檢漏時(shí)出現(xiàn)的故障:1、不向細(xì)檢方式轉(zhuǎn)換,檢漏口壓力<2×10-4MPa:檢查粗檢指示燈是否亮,如果亮,說明檢漏儀置于粗檢方式。再按一下粗檢開關(guān)切換到自動(dòng)轉(zhuǎn)換狀態(tài)。2、靈敏度低。檢查三極規(guī)所測(cè)壓力,等到質(zhì)譜室壓力<10-6MPa時(shí)再檢漏;如果壓力達(dá)到,檢查離子源是否被污染,清洗離子源。3、氦本底太高。檢查機(jī)械泵油是否失效(泵油長期使用變質(zhì)會(huì)吸附較多的氦氣,導(dǎo)致氦污染),檢查儀器系統(tǒng)是否有漏,真空管路是否污染,檢查三極規(guī)上壓力是否達(dá)到10-6MPa,離子源是否污染。另外還要注意環(huán)境的污染問題,如果有多臺(tái)檢漏儀,且氦氣的使用量較大,通風(fēng)不好時(shí),致使氦氣擴(kuò)散慢,也會(huì)導(dǎo)致氦污染。解決辦法是在檢漏口的放氣閥放氣口(通常通大氣)處,安裝一個(gè)幾升容量的氣瓶,該氣瓶與低壓氦氣管路連接。這樣,就大幅減少了環(huán)境的氦污染。氦質(zhì)譜檢漏儀的電源插座使用,應(yīng)符合要求。臺(tái)式檢漏儀單位

檢漏儀五大優(yōu)勢(shì):1、智能化:以往的檢漏儀操作非常輔助,而現(xiàn)在都是觸屏式,自動(dòng)檢測(cè)。2、便捷化:小型便捷的檢漏儀能夠?yàn)槠髽I(yè)工件設(shè)備提供小巧方便的檢測(cè)。3、自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)0點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜單選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成全檢漏過程。4、全無油的干式檢漏:檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無油蒸氣的效果,這為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏提供了有利條件。5、檢漏范圍寬:檢漏儀檢測(cè)范圍很寬,不但可檢測(cè)氦氣,還能檢測(cè)其它氣體。常州氣密檢漏儀品牌推薦氦質(zhì)譜檢漏儀在使用時(shí)需注意哪些問題?

檢漏儀的應(yīng)用特點(diǎn):(1)便攜式:各國推出的小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。(2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。(3)自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜單選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不但可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng),不但解決了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染問題,而且對(duì)快速啟動(dòng)儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。為適應(yīng)檢漏口壓強(qiáng)的變化和對(duì)靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級(jí)構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。

檢漏儀啟動(dòng)流程:1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”,低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa,開抽速閥,開漏孔開關(guān),表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置,再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”,燈亮,擴(kuò)散泵開始加熱。3、等20分鐘左右,擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱,開冷規(guī)開關(guān),“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥,過幾分鐘后開冷規(guī),表頭指針應(yīng)從左打向右,再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請(qǐng)不要長時(shí)間開冷規(guī),可等一會(huì)兒再開),當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后,可啟動(dòng)燈絲,燈亮,“發(fā)射電流”有指示,開、關(guān)漏孔檢查檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號(hào)指示Zda),靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。5、將工件用外接泵抽上真空后,開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間,對(duì)工件噴氦檢漏。檢漏完,關(guān)節(jié)流閥。檢漏儀可采用干式泵達(dá)到無油蒸氣的效果。

檢漏儀分子泵故障如何維修?檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,分子泵出口是否打開,機(jī)械泵油是否太臟,機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn),系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞??梢允褂米约旱墓ぞ咭苿?dòng)刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險(xiǎn)絲被燒毀了。更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路。氦泄漏檢測(cè)儀的燈絲不能正常啟動(dòng)。在確認(rèn)機(jī)械泵和分子泵處于正常工作狀態(tài)后,如果燈絲仍不能發(fā)射離子流,則需要更換離子源。如果燈絲指示燈閃爍,請(qǐng)檢查航空插座和離子源端子是否開啟。如果開路,請(qǐng)更換燈絲。如果沒有,請(qǐng)檢查端子是否與其他連接器連接,以消除短路。檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間及清理時(shí)間,儀器的反應(yīng)時(shí)間是質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)之一。推車式檢漏機(jī)費(fèi)用

我們應(yīng)該如何選擇氦質(zhì)譜儀呢?臺(tái)式檢漏儀單位

檢漏儀在火電廠的應(yīng)用:檢漏儀先在質(zhì)譜室中將采集的被測(cè)氣體電離,再利用電磁場(chǎng)將不同荷質(zhì)比的離子加以分離檢測(cè),從中檢測(cè)出事先安排的示蹤氦離子,主要由三大組件構(gòu)成:真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室和電子學(xué)控制單元。檢漏儀內(nèi)部配有一臺(tái)旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。質(zhì)譜室是檢漏儀的重點(diǎn)部分,它包括離子源、聚焦、質(zhì)量分析器和測(cè)量部分。質(zhì)譜室入口連接在渦輪分子泵的前級(jí)真空部分,分子泵對(duì)不同的氣體具有不同的壓縮比特性,氦氣的壓縮比很小,可以逆著分子泵的抽氣方向流動(dòng)進(jìn)入質(zhì)譜室。在質(zhì)譜室中氦氣被電離,氦離子通過質(zhì)量分析器的篩選到達(dá)收集極,產(chǎn)生一個(gè)正比于離子數(shù)量的電流信號(hào),該信號(hào)經(jīng)過放大和處理即為泄漏率。臺(tái)式檢漏儀單位

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