選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)主要考慮以下問題:1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能,就不適合檢漏;有些儀器沒有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能,不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用;流水線上要求一定的檢漏速度,此時(shí)應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的,如果檢漏要求的靈敏度較高,就要認(rèn)真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染,就應(yīng)選擇無(wú)油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大,必須選用抽泵抽速大的檢漏儀,否則就要外加預(yù)抽泵。氦質(zhì)譜檢漏儀的漏孔漏率是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過(guò)漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。移動(dòng)式氦氣檢測(cè)機(jī)原理
全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀的明顯優(yōu)點(diǎn):1、操作簡(jiǎn)便:全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀結(jié)合簡(jiǎn)捷的雙鍵操作功能及內(nèi)置智能化系統(tǒng)可以提供簡(jiǎn)單但強(qiáng)大的測(cè)試性能。2、功能強(qiáng)大:適用于各種檢漏方法,優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜室及真空系統(tǒng)功能強(qiáng)大,能適合各種檢漏方法的要求,以滿足各種各樣的檢漏應(yīng)用。3、配置齊全:多種系統(tǒng)配置,多種可選件,可以靈活地組成各種各樣的系統(tǒng)配置。4、堅(jiān)固耐用:在堅(jiān)固耐用方面的革新設(shè)計(jì),使得全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀能適應(yīng)各種惡劣的工業(yè)環(huán)境。適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏,其靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。小型氦檢儀技術(shù)指導(dǎo)氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度,通常指儀器的可檢漏率。
氦檢儀機(jī)械泵故障及處理:1、機(jī)械泵不動(dòng)作,檢查項(xiàng)目有:氦檢儀電源電壓是否正常,開關(guān)是否打開,繞組是否斷路或接地,電機(jī)是否過(guò)熱(泵冷卻后是否能啟動(dòng))。2、機(jī)械泵聲音異常,檢查油位是否合適,油質(zhì)是否變壞,油溫是否<10℃,油霧過(guò)濾器的出口有無(wú)氣體排出(如果無(wú)氣體排出,更換油霧過(guò)濾器)。氦檢儀質(zhì)譜室故障及處理:1、燈絲無(wú)法正常啟動(dòng),在確認(rèn)機(jī)械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后,若燈絲仍無(wú)法發(fā)射離子流,則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍,檢查離子源航空插座與接線柱是否開路,若開路,需要更換燈絲,若不開路,檢查其接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通,消除短路現(xiàn)象。2、本底信號(hào)處于雜亂無(wú)章的波動(dòng)狀態(tài)且大小遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)氦檢儀故障自身的本底噪聲,需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無(wú)法解決,只需對(duì)故障進(jìn)行定位,交由維修處理。
氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、清零時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦檢儀的主要性能指標(biāo)。檢測(cè)氣體使用氦氣的主要原因如下:(1)對(duì)人體和自然環(huán)境沒有毒害;(2)不能燃燒,作業(yè)安全;(3)惰性氣體,和被檢測(cè)對(duì)象不會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng);(4)分子直徑和質(zhì)量小,容易穿過(guò)微小縫隙,便于檢漏;(5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài),不會(huì)堵住微漏孔;(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣;(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm,容易定點(diǎn)查清漏氣位置。由于氦氣比空氣輕很多,向真空腔體噴氦氣檢漏時(shí)要從上往下依次操作,否則不利于判定漏點(diǎn)所在。當(dāng)腔體構(gòu)造復(fù)雜,或漏率極小時(shí),可針對(duì)重點(diǎn)部位用塑料袋套住,然后向塑料袋內(nèi)部充入氦氣,實(shí)現(xiàn)對(duì)特定重點(diǎn)部位的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。
氦檢儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。影響氦檢儀靈敏度的因素包括實(shí)際檢測(cè)條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面。當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低,而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求,就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來(lái)源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。氦檢儀為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。移動(dòng)式氦檢設(shè)備特點(diǎn)
氦檢儀本底漏率值是什么?移動(dòng)式氦氣檢測(cè)機(jī)原理
提高氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度方法:1、盡量開大節(jié)流閥。2、盡量減小外接泵對(duì)工件的分流或采用不分流檢漏(當(dāng)工件抽上真空后,關(guān)閉工件與外接泵之間的閥門)。3、將工件用塑料袋包扎,袋內(nèi)再充入氦氣,(但此法不能測(cè)出具體漏點(diǎn))。4、使用液氮,全開節(jié)流閥,采用不分流檢漏,必要時(shí)可將抽速閥關(guān)小。氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護(hù):1、定期更換燈絲,清洗冷規(guī)。2、定期更換機(jī)械泵油,適時(shí)對(duì)機(jī)械泵加油。3、如加液氮,需定期清洗冷阱。4、拆卸氦質(zhì)譜檢漏儀部件后,安裝時(shí)要避免安裝處出現(xiàn)泄漏。5、適時(shí)對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進(jìn)行清洗,排除漏點(diǎn)。移動(dòng)式氦氣檢測(cè)機(jī)原理
上海妤林真空設(shè)備技術(shù)有限公司正式組建于2020-06-11,將通過(guò)提供以氦氣檢漏儀,氦氣回收系統(tǒng),檢漏儀,氦檢儀等服務(wù)于于一體的組合服務(wù)。上海妤林真空經(jīng)營(yíng)業(yè)績(jī)遍布國(guó)內(nèi)諸多地區(qū)地區(qū),業(yè)務(wù)布局涵蓋氦氣檢漏儀,氦氣回收系統(tǒng),檢漏儀,氦檢儀等板塊。同時(shí),企業(yè)針對(duì)用戶,在氦氣檢漏儀,氦氣回收系統(tǒng),檢漏儀,氦檢儀等幾大領(lǐng)域,提供更多、更豐富的儀器儀表產(chǎn)品,進(jìn)一步為全國(guó)更多單位和企業(yè)提供更具針對(duì)性的儀器儀表服務(wù)。公司坐落于上海市嘉定區(qū)徐行鎮(zhèn)新建一路2255號(hào)1幢104,業(yè)務(wù)覆蓋于全國(guó)多個(gè)省市和地區(qū)。持續(xù)多年業(yè)務(wù)創(chuàng)收,進(jìn)一步為當(dāng)?shù)亟?jīng)濟(jì)、社會(huì)協(xié)調(diào)發(fā)展做出了貢獻(xiàn)。