氦質(zhì)譜檢漏儀中氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)的關(guān)鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。修長的體積，優(yōu)越的性能，適用于眾多行業(yè)。運用了氦質(zhì)譜和逆擴散原理,采用了原裝進口分子泵、180°非均勻磁場和全自動控制技術(shù)，實現(xiàn)了自動氦峰掃描、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換,具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強等特點。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀特點：1.檢測時間和響應(yīng)周期非常短，可以達到2s以內(nèi)；2.檢測的介質(zhì)比較常用，只需壓縮空氣即可；3.多種大漏保護模式，充分保護離子源不被氧化和暴漏大氣時分子泵不被沖擊。氦質(zhì)譜檢漏儀由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其普遍應(yīng)用。上海移動式氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀可以切實提高汽泵小機真空系統(tǒng)的檢漏效率，使用方法：把氦質(zhì)譜檢測儀與汽泵機組的真空系統(tǒng)連接，采取從真空系統(tǒng)外部對疑漏部位噴吹氦氣的方法來檢測該部位的漏率。在運行中真空泵的汽水分離器排氣口處放置氦質(zhì)譜檢漏儀的探測口，將一定量的氦氣釋放于真空系統(tǒng)的焊縫、管路接頭、法蘭和閥門等可能泄漏的地方，通過觀察儀器上的漏率顯示數(shù)據(jù)區(qū)間來判斷該位置是否存在泄漏，通過漏率數(shù)值大小確認該位置泄漏程度。通過氦質(zhì)譜檢漏試驗，運行人員精確迅速找到機組真空漏點并及時聯(lián)系相關(guān)部門進行安全有效處理，切實提高了機組的經(jīng)濟性和安全性。浙江移動式氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好氦質(zhì)譜檢漏儀正壓法優(yōu)點是不需要輔助的真空系統(tǒng)，可以精確定位，實現(xiàn)任何工作壓力下的檢測。

氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態(tài)檢漏時所能檢測出的較小漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到較佳值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時間不大于3s。所謂“較小可檢”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的波動量。如果檢漏時用輔助系統(tǒng)抽氣（即對示漏氦氣有分流）?；蛴美鄯e法檢漏時，給出儀器較小可檢氦濃度（即濃度靈敏度）。記為γmin，能較方便地估計檢漏效果。濃度靈敏度校準系統(tǒng)中應(yīng)用出色量計測出通過針閥2進入儀器的空氣流率qL.o，則儀器濃度靈敏度。

氦質(zhì)譜檢漏儀在管道檢測方面有兩種檢測方法，負壓法和正壓法，一般化工管道采用的是負壓法。負壓法就是常說的抽真空，這是氦質(zhì)譜檢漏儀常用的檢漏方法。檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達到一定真空度。使用氦氣噴口在管道密封接頭，焊縫處噴氦，如果被檢管道某處有泄漏，當氦噴到漏孔上時，氦氣會立刻被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴散到質(zhì)譜室內(nèi)，氦質(zhì)譜檢漏儀感應(yīng)到氦就會立刻有響應(yīng)。從而達到了檢漏的結(jié)果。氦氣是較輕的惰性氣體，在噴出時會自動上升，為了準確找到漏孔位置噴氦，使用此方法時噴氦自上而下，由近至遠（相對檢漏儀的位置），這是因為在下方時有可能被上方漏孔吸入；漏孔距離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時間也不同，所以噴氦氣應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開始由近至遠進行。氦質(zhì)譜檢漏儀測試前必須設(shè)備內(nèi)部清理干凈及焊縫表面并用熱風裝置將設(shè)備內(nèi)部干燥。

氦質(zhì)譜檢漏儀測試高純氣體管道的方法有哪些？如果發(fā)現(xiàn)檢漏儀的指示值有上升的現(xiàn)象，待到檢漏儀讀值恢復正常后，重新檢測該焊道或連接處以確認其是否真的有漏，如果確認不是該焊道或連接處有漏，要依次檢測該焊道或連接處之前的焊道或連接處，直到找到漏點為止。直至所有的接點都被檢測到，檢測合格的接點要貼合格標志。所有的接點都噴吹過氦氣后，繼續(xù)觀察檢漏儀的讀值10分鐘左右，確認讀值沒有異常后才可以將系統(tǒng)與儀器之間分離開。如果每個接點的氦氣漏率都低于1× 10-9 mbar.l/s，說明該系統(tǒng)的漏率是符合要求的。測試人員可以將檢測結(jié)果記錄在檢測報告里了。將檢漏儀與系統(tǒng)分開。氦質(zhì)譜檢漏儀實現(xiàn)了自動氦峰掃描、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。杭州臺式氦質(zhì)譜檢漏儀價格

氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低可以先用細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件。上海移動式氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)：氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級機械泵組成。在常規(guī)檢測時通常由前級機械泵對被檢件預抽真空，當真空度達到一定壓力后，再進入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測前會被要求進行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進入真空系統(tǒng)；否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞；所以被檢件的清潔前處理及對設(shè)備自身定期的保養(yǎng)清理尤為重要。設(shè)備自身保養(yǎng)小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護。上海移動式氦質(zhì)譜檢漏儀

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