氦檢儀應(yīng)用領(lǐng)域：工業(yè)：真空爐、鍍膜系統(tǒng)、壓力容器、超高真空工程。高能物理：加速器、束線、同步輻射光源?？蒲蓄I(lǐng)域：空間模擬系統(tǒng)、試驗(yàn)裝置、微電子、表面分析系統(tǒng)。半導(dǎo)體及電子：工藝設(shè)備、氣路、氣路傳輸設(shè)備、電子元器件、封裝。汽車制冷：蒸發(fā)器、空調(diào)、管路。核工業(yè)：核電閥門、核容器。航空航天：空間模擬器、航天器、管路。電廠：管道、蒸汽發(fā)生器、熱交換器、冷凝器。氦檢儀是對(duì)密封容器的泄漏進(jìn)行快速定位和定量測(cè)量的儀器。氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識(shí)別法、壓強(qiáng)衰減法和鹵素檢漏等方法相比，具有檢測(cè)靈敏度高、速度快和適用范圍寬，此外氦檢儀選擇無(wú)毒、無(wú)破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。氦檢儀為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。自動(dòng)氦檢儀工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇要進(jìn)行多家的貨物進(jìn)行對(duì)比，將不同品牌的樣品放一起對(duì)比，這樣氦質(zhì)譜檢漏儀儀質(zhì)量好與壞一眼便看得出來。除了光看樣品的質(zhì)量，建議用戶盡可能監(jiān)督安裝的全過程，同時(shí)并索要樣品驗(yàn)貨，在安裝完后，可以要求商家在再測(cè)試一遍。保持氦質(zhì)譜檢漏儀的干燥，嚴(yán)禁接觸水，并避免直接接觸腐蝕性液體。嚴(yán)禁在高溫的環(huán)境中使用氦質(zhì)譜檢漏儀，高溫使用儀器，很可能會(huì)長(zhǎng)久性的損壞傳感器。請(qǐng)參閱儀器的溫度使用范圍。不同的氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用范圍領(lǐng)域也不相同，例如工業(yè)用的氦質(zhì)譜檢漏儀，需符合國(guó)家各項(xiàng)安全標(biāo)準(zhǔn)，使用起來也更復(fù)雜。小型氦檢儀特點(diǎn)氦檢儀在電廠檢漏領(lǐng)域被普遍使用。

氦檢儀的基本原理是采集被檢件中的氣體將其電離，根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn)，利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來。儀器只對(duì)示漏氣體氦氣有相應(yīng)信號(hào)，而對(duì)其他氣體沒有反應(yīng)，屬于唯1性氦檢儀器。檢漏過程中，一旦出現(xiàn)信號(hào)，就說明有氦氣通過漏孔進(jìn)入被檢件，從而指示出漏孔的位置與大小。而之所以選擇氦氣作為示漏氣體，主要是因?yàn)楹べ|(zhì)量輕，易于穿過漏孔，擴(kuò)散快，對(duì)分析設(shè)備制造的要求相對(duì)簡(jiǎn)單；同時(shí)氦氣在空氣中含量少，本底壓力小，又為惰性氣體，不易發(fā)生反應(yīng)等等，都為提高儀器靈敏度創(chuàng)造了條件。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時(shí)，產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來源主要包括幾個(gè)方面：一、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無(wú)法換算，這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差。三、所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。四、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。

氦檢儀靈敏度高、操作便捷、低維護(hù)，使您放心得到準(zhǔn)確可靠的測(cè)試結(jié)果。產(chǎn)品普遍應(yīng)用于科研院所、航空航天、動(dòng)力鋰電池，閥門、精密儀表、機(jī)械加工、電力、半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。氦檢儀關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。氦檢儀是對(duì)比性測(cè)試儀器，其工作原理是對(duì)進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產(chǎn)生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數(shù)的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有氦檢儀本身并不知道放大后的電流對(duì)應(yīng)的漏率是多少，需要參照物，這個(gè)參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。自動(dòng)氦檢儀工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀的的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。自動(dòng)氦檢儀工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用讓我國(guó)許多設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)情況得到了更好的監(jiān)控，特別是在一些真空設(shè)備的質(zhì)量檢驗(yàn)之中，應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為了一種常見的事項(xiàng)。氦質(zhì)譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設(shè)備的檢測(cè)準(zhǔn)度，所以選擇合適的氦質(zhì)譜檢漏儀很重要。氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇：1、如果被檢對(duì)對(duì)象不固定，體積時(shí)大時(shí)小，靈敏度要求時(shí)高時(shí)低時(shí)，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。2、如果檢漏地點(diǎn)不固定，需要經(jīng)常搬運(yùn)氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)，就要選擇小型便攜式儀器。3、在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的價(jià)格是否低、操作是否簡(jiǎn)易、維修是否方便等方面的問題。自動(dòng)氦檢儀工作原理

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