氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)解析：真空系統(tǒng)，真空系統(tǒng)是提供質(zhì)譜室正常工作的條件。由于鎢陰極正常工作時需要具備0.001-0.01Pa的真空度，同時保證氦離子在分析器中的運動有較高的傳輸率，因此建立一個高真空系統(tǒng)是必要的。系統(tǒng)中的節(jié)能閥則是為了滿足質(zhì)譜室工作壓力的調(diào)節(jié)，該閥全開時檢漏靈敏度較高，因此在條件允許情況下開啟大些為宜。檢漏時為了校準檢漏靈敏度，系統(tǒng)中設(shè)置了標準漏孔。輔助真空系統(tǒng)的配置，在氦質(zhì)譜儀檢漏技術(shù)中，根據(jù)被檢件的結(jié)構(gòu)，尺寸要求和具體的檢漏條件，設(shè)置具有預(yù)抽被檢件、保證檢漏儀工作真空度、進行的氣體分流、縮短反應(yīng)時間和清理時間、降低對靈敏度的不良影響等功能的輔助真空系統(tǒng)，在某些條件下是非常必要的。氦質(zhì)譜檢漏儀測試高純氣體管道要確認系統(tǒng)中所有的閥門和調(diào)壓閥都是全開的。蘇州氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢

氦質(zhì)譜檢漏儀開機如何操作？1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置，再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應(yīng)熱，開冷規(guī)開關(guān)，“質(zhì)譜室壓強”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī)，可等一會兒再開)，當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關(guān)漏孔檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達要求后關(guān)漏孔。將工件用外接泵抽上真空后，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對工件噴氦檢漏。檢漏完，關(guān)節(jié)流閥。蘇州氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢氦質(zhì)譜檢漏儀通過質(zhì)譜室的重點供電和測量，成為供電的重點部分。

氦質(zhì)譜檢漏儀維護保養(yǎng)方法：機械泵維護，檢查機械泵油量，如低于較低標線則添加泵油；如泵油發(fā)黑、渾濁則更換泵油。具體操作參見機械泵說明書。清洗，檢漏儀在沒有氦氣進入時，卻有一定漏率指示，并且長時間存在。這種情況多由于檢漏口、波紋管、密封圈等臟污后吸附了氦氣，在檢漏時再次釋放出來造成較大的氦本底。為避免油污、粉塵、雜物進入檢漏儀，在檢漏口下方裝有過濾器，將其拆下用酒精浸泡清洗。檢漏口、波紋管用棉布擦拭即可。儲存，檢漏儀長期不使用時，用盲板將檢漏口、機械泵排氣口封上，觸摸屏用棉布或者硬紙板遮擋，標準漏孔、氣袋噴槍、相關(guān)配件裝入包裝盒，存放到陰涼、通風(fēng)、沒有漏雨、火災(zāi)等危險的房間。

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)該如何選擇？1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合吸口法檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預(yù)抽泵。5、如果被檢對對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低時，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。6、如果檢漏地點不固定，需要經(jīng)常搬運儀器時，就要選擇小型便攜式儀器。7、在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。氦質(zhì)譜檢漏儀長期不使用時，用盲板將檢漏口、機械泵排氣口封上。

氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了普遍應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。只有經(jīng)過培訓(xùn)或有資格的設(shè)備維護工程師，才能使用氦質(zhì)譜檢漏儀。蘇州氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢

氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。蘇州氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢

氦質(zhì)譜檢漏儀關(guān)機步驟：1、關(guān)冷規(guī)，關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”。3、等20分鐘左右，擴散泵已冷，將總電源轉(zhuǎn)到“關(guān)”。氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏注意事項：1、工件要保持清潔、干燥。2、對工件噴氦應(yīng)按以下順序進行：①從上往下。②從靠近測試口到遠離測試口。3、噴氦時應(yīng)經(jīng)常檢查噴口口是否有氦氣噴出。4、檢完工件，必須將“節(jié)流閥”關(guān)閉，才能取工件。5、對同一工件，如有兩處以上漏點，應(yīng)排除Zda的漏點后，再對其它地方檢漏。6、裝工件時應(yīng)使連接處密封好，不能有漏。7、檢漏間應(yīng)通風(fēng)良好，避免氦氣濃度，但應(yīng)避免強通風(fēng)。8、氦氣屬貴重氣體，應(yīng)避免泄漏浪費。蘇州氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢

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