氦質(zhì)譜檢漏儀是一種用氦氣作為示漏氣體進行泄漏檢測的專門使用儀器，具有性能穩(wěn)定、靈敏度高等特點。在真空檢漏技術(shù)中，采用的是通用型檢漏儀器，具有較高的靈敏度。氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)式質(zhì)譜分析儀。是一種靈敏度較高的儀器，普遍應(yīng)用于檢測各種真空系統(tǒng)和零件的漏電，具有很好的實用價值。雙層串聯(lián)磁偏變裝置與單層磁偏變裝置相比，背景噪聲明顯降低，適用于超真空系統(tǒng)、元件和部件的檢漏。逆電流式氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，將檢件放置在檢漏儀主抽泵的前級部位，因而具有在高壓條件下能檢漏，不會造成液氮污染和質(zhì)譜室污染等特點.適用于對大漏率、真空環(huán)境衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏。了解工件的漏孔問題是選擇氦質(zhì)譜檢漏儀的必要條件。金華氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導

氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)組成：它通過質(zhì)譜室的重點供電和測量，所以作為供電的重點部分，其中一部分屬于真空部分，對這部分的重點檢測要求非常高，通過檢測中獲得的檢測數(shù)據(jù)輸出形成重點裝置。然后氦質(zhì)譜檢漏儀主要通過控制電流輸出的大小，由于氣密性檢測儀離子流收集極接收到的離子流很小，必須放大后才能顯示輸出。通過交流放大器放大調(diào)制的離子流。輸出信號由顯示儀表和聲音裝置(揚聲器)指示。低頻發(fā)生器，低頻發(fā)生器產(chǎn)生頻率為5~7Hz，振幅為14~16V的調(diào)制電壓，該電壓疊加在加速電壓上，實現(xiàn)離子流調(diào)制。高壓整流器和發(fā)射電流穩(wěn)定裝置。發(fā)射電流穩(wěn)定裝置是調(diào)節(jié)燈絲加熱電流，從而保持燈絲發(fā)射電流穩(wěn)定，提高靈敏度。發(fā)射電流可以分幾個檔次進行有級調(diào)節(jié)，以改變儀器的靈敏度。高壓整流器提供冷陰極磁控電源。真空規(guī)放電電流指示氣體壓力值，由儀器顯示，其放電電流也作為繼電保護的輸入信號。當質(zhì)譜檢漏儀室真空度惡化時，放電電流增大，使繼電器動作，然后切斷燈絲加熱電流，保護燈絲不被燒毀。江蘇進口氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢一臺氦質(zhì)譜檢漏儀堅固耐用，抗震性能好。

氦質(zhì)譜檢漏儀背壓法原理：采用背壓法檢漏時，首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時或數(shù)天，如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔，氦氣便通過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會通過漏孔泄漏到真空容器，再進入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率，需要通過換算公式計算出被檢產(chǎn)品的等效標準漏率。背壓法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，能實現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測，可以進行批量化檢測。

氦質(zhì)譜儀的泄漏檢測方法通常有兩種，一種是常規(guī)泄漏檢測，另一種是反向擴散泄漏檢測。反向擴散泄漏檢測是將測試件連接到分子泵出氣口的末端，并且泄漏的氦氣從分子泵出氣口進入安裝在泵進氣口的質(zhì)譜儀管中，方向相反。泵排氣。這種泄漏檢測方法基于以下事實：分子泵對不同的氣體質(zhì)量具有不同的壓縮率（分子泵出口處的氣壓與入口處的壓力之比），即不同氣體的反向擴散。反向擴散法檢漏可以使試件的內(nèi)部壓力更高。氦質(zhì)譜儀檢漏儀可達到300Pa（通常傳統(tǒng)檢漏儀小于0.05Pa），適用于檢測大型容器或泄漏較大的設(shè)備。泄漏。反向擴散法還具有不易污染質(zhì)譜儀管且燈絲壽命長的優(yōu)點。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。

氦質(zhì)譜檢漏儀測試高純氣體管道的方法：1. 確認系統(tǒng)中所有的閥門和調(diào)壓閥都是全開的。2. 確認系統(tǒng)中的壓力為0，如果系統(tǒng)中還有正壓，要先將系統(tǒng)中的氣體放掉。3. 緩緩打開檢漏儀入口處的閥門，開始將系統(tǒng)抽成真空狀態(tài)。遵照檢漏儀的操作說明操作，直至達到可以檢測的狀態(tài)。4. 記錄下檢漏儀的背景氦漏率，該背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以進行噴吹工作。5. 從較靠近檢漏儀的焊道或連接處開始檢測，將氦氣用噴口噴吹到焊道或連接處，使得氦氣會停留在焊道或連接處一段時間，確認沒有泄漏后，進行下一個焊道或連接處的檢測，直到較后一個焊道或連接處。氦質(zhì)譜檢漏儀測試前必須設(shè)備內(nèi)部清理干凈及焊縫表面并用熱風裝置將設(shè)備內(nèi)部干燥。安徽推車式氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家

具有性能穩(wěn)定、靈敏度高等特點。金華氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導

氦質(zhì)譜檢漏儀可以切實提高汽泵小機真空系統(tǒng)的檢漏效率，使用方法：把氦質(zhì)譜檢測儀與汽泵機組的真空系統(tǒng)連接，采取從真空系統(tǒng)外部對疑漏部位噴吹氦氣的方法來檢測該部位的漏率。在運行中真空泵的汽水分離器排氣口處放置氦質(zhì)譜檢漏儀的探測口，將一定量的氦氣釋放于真空系統(tǒng)的焊縫、管路接頭、法蘭和閥門等可能泄漏的地方，通過觀察儀器上的漏率顯示數(shù)據(jù)區(qū)間來判斷該位置是否存在泄漏，通過漏率數(shù)值大小確認該位置泄漏程度。通過氦質(zhì)譜檢漏試驗，運行人員精確迅速找到機組真空漏點并及時聯(lián)系相關(guān)部門進行安全有效處理，切實提高了機組的經(jīng)濟性和安全性。金華氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導

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