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江蘇模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀廠家推薦

來源: 發(fā)布時間:2022-10-19

氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲高是什么原因?一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣,而電離規(guī),特別是磁放電真空規(guī)對氦有記憶效應(yīng),其表面污染時就更為嚴(yán)重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴散。四、檢漏儀中空氣的本底影響。五、殘余氣體分子對離子的散射作用。六、燈絲和其他電極受機械振動引起的效應(yīng)。因此,為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲,需要針對性的采取措施,如減少采用有機材料,不用磁放電規(guī),提高檢漏儀的工作真空度,保證穩(wěn)定抽速等等。另外檢漏時切勿將大量的氦氣通進儀器,避免本底太大,難以清理。怎么確定氦質(zhì)譜檢漏儀用于鍍膜設(shè)備的靈敏度?江蘇模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀廠家推薦

?氦質(zhì)譜檢漏儀在真空度校驗中的應(yīng)用:氦是一種惰性氣體,不會對設(shè)備產(chǎn)生腐蝕,不與真空器件起化學(xué)反應(yīng),無毒,也不會污染環(huán)境,因此使用起來也十分安全。對容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境干擾較小,常作為泄漏氣體使用。在接有檢漏儀(即調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的氣體剖析儀)的被檢容器上噴射該氣體,如果容器有漏孔,分析儀就會發(fā)出響聲,從而知道漏孔的位置和漏氣量。氦質(zhì)譜檢測泄漏技術(shù)是真空檢測領(lǐng)域中不可缺少的一項技術(shù),由于其檢測效率高、簡便易行、儀器反應(yīng)靈敏、準(zhǔn)確度高、不受其它氣體干擾等特點,在電阻爐檢測泄漏中被普遍應(yīng)用。江蘇進口氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。

氦質(zhì)譜檢漏儀正壓法原理:采用正壓法檢漏時,需對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室充入高于一個大氣壓力的氦氣,當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時,氦氣就會通孔漏孔進入被檢外表面的周圍大氣環(huán)境中,再采用吸口的方式檢測被檢產(chǎn)品周圍大氣環(huán)境中的氦氣濃度增量,從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏測量。按照收集氦氣方式的不同,又可以將正壓法分為正壓吸口法和正壓累積法。其中正壓吸口法采用檢漏儀吸口對被檢產(chǎn)品外表面進行掃描探查,可以實現(xiàn)漏孔的精確定位; 正壓累積法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來,采用檢漏儀吸口測量一定時間段前后的氦罩內(nèi)氦氣濃度變化量,實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的精確測量。正壓法的優(yōu)點是不需要輔助的真空系統(tǒng),可以精確定位,實現(xiàn)任何工作壓力下的檢測。

氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名,但實際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等,主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體,原因主要有以下幾點:1、氦氣的質(zhì)量輕,易于穿過漏孔,進入系統(tǒng)時流動和擴散快,因此響應(yīng)快,檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小,因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大,利于離子分離,可以適當(dāng)降低對分析器制造精度的要求,使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個縫隙,從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少,在材料出氣中氦氣也很少,因此本底壓力小,檢漏時本底信號小。以上這些因素都為提高氦質(zhì)譜檢漏儀器的靈敏度創(chuàng)造了良好條件。另外,氦氣作為一種惰性氣體,性質(zhì)不活潑,不與真空器件起化學(xué)反應(yīng),無毒,也不會污染環(huán)境,因此使用起來也十分安全。氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器。

氦質(zhì)譜檢漏儀維護保養(yǎng)方法:機械泵維護,檢查機械泵油量,如低于較低標(biāo)線則添加泵油;如泵油發(fā)黑、渾濁則更換泵油。具體操作參見機械泵說明書。清洗,檢漏儀在沒有氦氣進入時,卻有一定漏率指示,并且長時間存在。這種情況多由于檢漏口、波紋管、密封圈等臟污后吸附了氦氣,在檢漏時再次釋放出來造成較大的氦本底。為避免油污、粉塵、雜物進入檢漏儀,在檢漏口下方裝有過濾器,將其拆下用酒精浸泡清洗。檢漏口、波紋管用棉布擦拭即可。儲存,檢漏儀長期不使用時,用盲板將檢漏口、機械泵排氣口封上,觸摸屏用棉布或者硬紙板遮擋,標(biāo)準(zhǔn)漏孔、氣袋噴槍、相關(guān)配件裝入包裝盒,存放到陰涼、通風(fēng)、沒有漏雨、火災(zāi)等危險的房間。氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低可以先用細(xì)的高標(biāo)號金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件。江蘇進口氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進行細(xì)檢漏。江蘇模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀廠家推薦

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