氦質(zhì)譜檢漏儀真空壓力法原理：采用真空壓力法檢漏時，需要將被檢產(chǎn)品整體放入真空密封室內(nèi)，真空密封室與輔助抽空系統(tǒng)和檢漏儀相連，被檢產(chǎn)品的充氣接口通過連接管道引出真空密封室后，再與氦氣源相連，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入真空密封室，再進入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。真空壓力法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，能實現(xiàn)任何工作壓力的漏率檢測，反映被檢件的真實泄漏狀態(tài)。真空壓力法的檢測標(biāo)準(zhǔn)有GB/T15823-2009《氦泄漏檢驗》，主要應(yīng)用于結(jié)構(gòu)簡單、壓力不是特別高的密封產(chǎn)品，如電磁閥、高壓充氣管道、推進劑貯箱、天線、應(yīng)答機、整星產(chǎn)品等。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)在施工工作完成后進行本測試。溫州自動氦質(zhì)譜檢漏儀廠家推薦

氦質(zhì)譜檢漏儀開機步驟：1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置，再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應(yīng)熱，開冷規(guī)開關(guān)，戴表壓強的質(zhì)譜室表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī)，可等一會兒再開)，當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關(guān)漏孔檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。5、將工件用外接泵抽上真空后，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對被檢件噴氦檢漏。檢漏完畢。無損氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項氦質(zhì)譜檢漏儀通過質(zhì)譜室的重點供電和測量，成為供電的重點部分。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式：1、鐘罩法——測總漏率，將被檢件與儀器檢漏口聯(lián)接抽真空，在被檢件外面罩以充滿氦氣的容器，如被檢件有漏孔，氦氣便由漏孔進入被檢件，達(dá)到質(zhì)譜管被檢測。所測漏率是被檢件的總漏率，不能確定有幾個泄漏點和每個漏點的準(zhǔn)確位置。可以看出鐘罩法是基于噴吹法的一種檢漏方法。2、背壓法——測總漏率，進行電子元器件氣密性檢測時常用背壓法。檢漏前用特定加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時間控制壓入的量)，然后取出被檢件，吹去表面吸附氦后放入特定檢漏罐中，再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上，對檢漏罐抽真空，實施檢漏。若器件有漏，則通過該漏孔壓人的氦氣又釋放出來進入檢漏罐，到達(dá)質(zhì)譜管。用這種方法測得的漏率也是總漏率。

氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng)，不但解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應(yīng)檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。例如可通過采用改變分子泵轉(zhuǎn)速來達(dá)到此目的，且提高檢漏靈敏度。另外，逆擴散檢漏方式，實現(xiàn)了高壓強下檢漏，也為正壓吸檢漏提供了良好的條件。氦質(zhì)譜檢漏儀現(xiàn)在已經(jīng)滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業(yè)。氦質(zhì)譜檢漏儀由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其普遍應(yīng)用。

氦質(zhì)譜儀的泄漏檢測方法通常有兩種，一種是常規(guī)泄漏檢測，另一種是反向擴散泄漏檢測。反向擴散泄漏檢測是將測試件連接到分子泵出氣口的末端，并且泄漏的氦氣從分子泵出氣口進入安裝在泵進氣口的質(zhì)譜儀管中，方向相反。泵排氣。這種泄漏檢測方法基于以下事實：分子泵對不同的氣體質(zhì)量具有不同的壓縮率（分子泵出口處的氣壓與入口處的壓力之比），即不同氣體的反向擴散。反向擴散法檢漏可以使試件的內(nèi)部壓力更高。氦質(zhì)譜儀檢漏儀可達(dá)到300Pa（通常傳統(tǒng)檢漏儀小于0.05Pa），適用于檢測大型容器或泄漏較大的設(shè)備。泄漏。反向擴散法還具有不易污染質(zhì)譜儀管且燈絲壽命長的優(yōu)點。氦質(zhì)譜檢漏儀維護保養(yǎng)方法：機械泵維護，檢查機械泵油量，如低于較低標(biāo)線則添加泵油。紹興多功能氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家

氦質(zhì)譜檢漏儀檢測的介質(zhì)比較常用，只需壓縮空氣即可。溫州自動氦質(zhì)譜檢漏儀廠家推薦

氦質(zhì)譜檢漏儀中氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)的關(guān)鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。修長的體積，優(yōu)越的性能，適用于眾多行業(yè)。運用了氦質(zhì)譜和逆擴散原理,采用了原裝進口分子泵、180°非均勻磁場和全自動控制技術(shù)，實現(xiàn)了自動氦峰掃描、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換,具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強等特點。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進行細(xì)檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀特點：1.檢測時間和響應(yīng)周期非常短，可以達(dá)到2s以內(nèi)；2.檢測的介質(zhì)比較常用，只需壓縮空氣即可；3.多種大漏保護模式，充分保護離子源不被氧化和暴漏大氣時分子泵不被沖擊。溫州自動氦質(zhì)譜檢漏儀廠家推薦

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