氦質(zhì)譜檢漏儀可采用干式泵，達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果，為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。在獲得氦氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上，通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較普遍的檢漏儀器。氦質(zhì)譜檢漏方法是基于氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測(cè)量原理。宣城自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀常見的故障和處理：1、內(nèi)部的泄漏，當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí)，會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點(diǎn)，更換密封件。2、本底信號(hào)不穩(wěn)定，1）本底信號(hào)過(guò)高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏，將室內(nèi)的門窗打開通風(fēng)，降低環(huán)境本底。2）本底信號(hào)過(guò)高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測(cè)含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時(shí)，質(zhì)譜室極易被污染，需返廠進(jìn)行清洗，本底信號(hào)不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。溫州智能氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理氦質(zhì)譜檢漏儀具有雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換的功能。

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)主要考慮以下問題：（1）如果被檢對(duì)象不固定，體積時(shí)大時(shí)小，靈敏度要求時(shí)高時(shí)低，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。（2）如果檢漏地點(diǎn)不固定，需要經(jīng)常搬運(yùn)儀器時(shí)，就要選擇小型便攜式儀器。（3）在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮儀器的價(jià)格是否低、操作是否簡(jiǎn)易、維修是否方便等方面的問題。使用時(shí)，注意觀察儀器的運(yùn)行情況，一旦發(fā)現(xiàn)問題（如較大振動(dòng)、高噪音等），儀器在運(yùn)行過(guò)程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動(dòng)檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。

氦質(zhì)譜檢漏儀的性能、特性好壞取決于質(zhì)譜分析室。質(zhì)譜分析室的工作原理是對(duì)離子源氣體進(jìn)行電離，電離出來(lái)的正離子經(jīng)過(guò)電場(chǎng)加速聚焦通過(guò)縫隙進(jìn)入均勻磁場(chǎng)，離子束在磁場(chǎng)力的作用下，旋轉(zhuǎn)180o或90o按一定軌跡到達(dá)收集極，此種形式稱之為磁性偏轉(zhuǎn)分析形式。然后，經(jīng)小電流放大器、微處理器，控制器等線路處理直至液晶屏顯示出讀數(shù)的大小。在壓力容器中，使用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏常用的方法大體可分為三種，即噴氦法（負(fù)壓法），吸口法（正壓法），氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言，噴氦法的靈敏度高些。但是當(dāng)檢漏儀安裝在大型的、比較復(fù)雜的壓力容器裝置上時(shí)，也不敢確切地說(shuō)噴氦法的靈敏度就是高。氦質(zhì)譜檢漏儀適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏。

氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)展集中體現(xiàn)如下方面：1.智能化：以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式，自動(dòng)檢測(cè)。2.便捷化：這幾年市場(chǎng)上各種小型便捷的檢漏儀能夠?yàn)樾袠I(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。3.自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。4.全無(wú)油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果，為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不只可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。氦質(zhì)譜檢漏儀測(cè)試高純氣體管道要確認(rèn)系統(tǒng)中所有的閥門和調(diào)壓閥都是全開的。常州便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法

氦質(zhì)譜檢漏儀運(yùn)用了氦質(zhì)譜和逆擴(kuò)散原理,采用了原裝進(jìn)口分子泵、180°非均勻磁場(chǎng)和全自動(dòng)控制技術(shù)。宣城自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀作為一種測(cè)量?jī)x器，需根據(jù)設(shè)備的使用頻率、被測(cè)品工藝要求定期使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)設(shè)備自身進(jìn)行校準(zhǔn)，以保證設(shè)備自身檢測(cè)精度。氦質(zhì)譜檢漏儀是對(duì)比性測(cè)試儀器，其工作原理是對(duì)進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產(chǎn)生電離，并放大，通過(guò)電流大小的判斷氦氣分子的多少！進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數(shù)的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對(duì)應(yīng)的漏率是多少，需要參照物，這個(gè)參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識(shí)：（1）前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。宣城自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀

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