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上海氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-07-17

氦質(zhì)譜檢漏儀換燈絲步驟:1、停機(jī)換燈絲:可直接取下離子源更換燈絲,裝好后按正常開(kāi)機(jī)步驟進(jìn)行。2、不停機(jī)換燈絲:關(guān)冷規(guī),關(guān)抽速閥,取離子源插頭,取下離子源,更換燈絲后裝上離子源,插離子源插頭,此時(shí)“加速電壓”示值不應(yīng)有變化,“發(fā)射電流”示值應(yīng)為零。如其中有一示值與上不符,則是離子源內(nèi)有短路,應(yīng)取下排除。將閥開(kāi)關(guān)由“前置”轉(zhuǎn)向“粗抽”(注意:閥開(kāi)關(guān)在“粗抽”的時(shí)間不要超過(guò)五分鐘),全開(kāi)節(jié)流閥,等真空抽上后,關(guān)閉節(jié)流閥,將“粗抽”轉(zhuǎn)向“前置”,開(kāi)抽速閥,開(kāi)冷規(guī),等真空過(guò)1×10-2Pa后可啟動(dòng)燈絲,調(diào)氦峰。氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲安裝時(shí)應(yīng)先將離子源內(nèi)的污漬用細(xì)砂紙打干凈,清洗后再裝。燈絲應(yīng)正對(duì)電離盒電子入口,盡量靠近電離盒,但不能短路,三根引線間也不能相互短路。氦質(zhì)譜檢漏儀的日常保養(yǎng):如果儀器不是每天使用,建議每周開(kāi)機(jī)檢查一下,使儀器高真空系統(tǒng)保持真空。上海氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng):氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級(jí)機(jī)械泵組成。在常規(guī)檢測(cè)時(shí)通常由前級(jí)機(jī)械泵對(duì)被檢件預(yù)抽真空,當(dāng)真空度達(dá)到一定壓力后,再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分;被檢件在檢測(cè)前會(huì)被要求進(jìn)行清潔前處理,以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng);否則將直接污染真空系統(tǒng),甚至造成真空泵損壞;所以被檢件的清潔前處理及對(duì)設(shè)備自身定期的保養(yǎng)清理尤為重要。設(shè)備自身保養(yǎng)小知識(shí):(1)前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng);(2)電磁閥組的超聲清洗;(3)質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。杭州分體式氦質(zhì)譜檢漏儀哪個(gè)牌子好氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)時(shí)間和響應(yīng)周期非常短,可以達(dá)到2s以內(nèi)。

氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項(xiàng):1.設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進(jìn)行本測(cè)試,測(cè)試完成后不得進(jìn)行焊縫的修磨等。2.若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會(huì)影響毛細(xì)管的泄漏而影響測(cè)試結(jié)果的真實(shí)性。3.因氦比空氣輕,因此要注意檢漏的順序,檢查順序應(yīng)依照由下而上,由近而遠(yuǎn)的順序進(jìn)行。4.檢漏過(guò)程中,如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人質(zhì)譜檢漏儀,應(yīng)立即移去吸口,防止因儀器長(zhǎng)時(shí)間消除不掉氦影響而延誤測(cè)試。氦質(zhì)譜檢漏儀的特點(diǎn):1.操作方便:體積小,重量輕,結(jié)構(gòu)緊湊,操作面板簡(jiǎn)單;2.性能高:采用了進(jìn)口檢漏儀儀分了泵與高性能的質(zhì)譜系統(tǒng),靈敏度度高,響應(yīng)時(shí)間快,檢測(cè)壓強(qiáng)高;3.功能強(qiáng)大:多種模自動(dòng)切換,豐富的菜單選項(xiàng),具有權(quán)限管理功能。

氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇:1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒(méi)有逆流檢漏功能,就不適合吸法檢漏;有些儀器沒(méi)有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能,不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用;流水線上要求一定的檢漏速度,此時(shí)應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的,如果檢漏要求的靈敏度較高,就要認(rèn)真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染,就應(yīng)選擇無(wú)油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大,必須選用抽泵抽速大的檢漏儀,否則就要外加預(yù)抽泵。5、如果被檢對(duì)對(duì)象不固定,體積時(shí)大時(shí)小,靈敏度要求時(shí)高時(shí)低時(shí),就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)主要考慮的問(wèn)題有哪些?

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式:1、鐘罩法——測(cè)總漏率,將被檢件與儀器檢漏口聯(lián)接抽真空,在被檢件外面罩以充滿氦氣的容器,如被檢件有漏孔,氦氣便由漏孔進(jìn)入被檢件,達(dá)到質(zhì)譜管被檢測(cè)。所測(cè)漏率是被檢件的總漏率,不能確定有幾個(gè)泄漏點(diǎn)和每個(gè)漏點(diǎn)的準(zhǔn)確位置??梢钥闯鲧娬址ㄊ腔趪姶捣ǖ囊环N檢漏方法。2、背壓法——測(cè)總漏率,進(jìn)行電子元器件氣密性檢測(cè)時(shí)常用背壓法。檢漏前用特定加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時(shí)間控制壓入的量),然后取出被檢件,吹去表面吸附氦后放入特定檢漏罐中,再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上,對(duì)檢漏罐抽真空,實(shí)施檢漏。若器件有漏,則通過(guò)該漏孔壓人的氦氣又釋放出來(lái)進(jìn)入檢漏罐,到達(dá)質(zhì)譜管。用這種方法測(cè)得的漏率也是總漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)氦峰掃描、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。常州模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀廠家推薦

影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素有哪些?上海氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子,在室內(nèi)來(lái)回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng),由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中比較常用的兩種方法。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏效率高,簡(jiǎn)便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了普遍應(yīng)用。上海氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理

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