氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見(jiàn)故障的處理：一、機(jī)械維護(hù)，檢查泵的油量，如果低于低標(biāo)線，則加入泵油；如果變黑或渾濁，則更換泵。使用方法見(jiàn)機(jī)械泵說(shuō)明書(shū)。二、清洗，泄漏探測(cè)器沒(méi)有氦進(jìn)入，但有一定的泄漏率指示，長(zhǎng)期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣，在檢漏時(shí)又被釋放，造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過(guò)濾器，將其拆下，用酒精浸泡清洗。檢查泄漏，用棉布擦拭波紋管。以下是常見(jiàn)的故障現(xiàn)象、原因及解決方法。斷電：1.電源線連接不當(dāng)；2、保險(xiǎn)管熔斷；3、重新接通電源；4.更換相同規(guī)格的保險(xiǎn)管。氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。南京真空氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法

氦質(zhì)譜檢漏儀有哪些結(jié)構(gòu)？電氣系統(tǒng)，氦質(zhì)譜儀電氣部分的重點(diǎn)是質(zhì)譜室的供電和測(cè)量，其他部分包括真空系統(tǒng)的電源與控制部分，操縱面板及輸出儀表等。主要含有小電流放大器及輸出裝置、低頻發(fā)生器、高壓整流器及發(fā)射電流穩(wěn)定裝置、高壓整流器供給冷陰極磁控規(guī)電源。質(zhì)譜室，形象的說(shuō)，質(zhì)譜室是氦質(zhì)譜檢漏儀的心臟，由離子源、分析器和電氣系統(tǒng)三個(gè)部分組成，并將冷陰極磁控規(guī)也放在其內(nèi)，共用其磁場(chǎng)。為了有利于微小的粒子流放大，將一級(jí)放大用高阻及靜電計(jì)管也放在質(zhì)譜室之內(nèi)。質(zhì)譜室殼由非磁性材料制成，內(nèi)部抽空，而外部設(shè)置成磁鐵形成磁分析器的磁場(chǎng)。上海分體式氦質(zhì)譜檢漏儀原理氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

氦質(zhì)譜檢漏儀換燈絲步驟：1、停機(jī)換燈絲：可直接取下離子源更換燈絲，裝好后按正常開(kāi)機(jī)步驟進(jìn)行。2、不停機(jī)換燈絲：關(guān)冷規(guī)，關(guān)抽速閥，取離子源插頭，取下離子源，更換燈絲后裝上離子源，插離子源插頭，此時(shí)“加速電壓”示值不應(yīng)有變化，“發(fā)射電流”示值應(yīng)為零。如其中有一示值與上不符，則是離子源內(nèi)有短路，應(yīng)取下排除。將閥開(kāi)關(guān)由“前置”轉(zhuǎn)向“粗抽”(注意：閥開(kāi)關(guān)在“粗抽”的時(shí)間不要超過(guò)五分鐘)，全開(kāi)節(jié)流閥，等真空抽上后，關(guān)閉節(jié)流閥，將“粗抽”轉(zhuǎn)向“前置”，開(kāi)抽速閥，開(kāi)冷規(guī)，等真空過(guò)1×10-2Pa后可啟動(dòng)燈絲，調(diào)氦峰。氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲安裝時(shí)應(yīng)先將離子源內(nèi)的污漬用細(xì)砂紙打干凈，清洗后再裝。燈絲應(yīng)正對(duì)電離盒電子入口，盡量靠近電離盒，但不能短路，三根引線間也不能相互短路。

氦質(zhì)譜檢漏儀的日常保養(yǎng)與維護(hù)：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開(kāi)機(jī)檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時(shí)的開(kāi)機(jī)時(shí)間。2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。3.適時(shí)對(duì)儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊，以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作。4.檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來(lái)物掉在或?yàn)⒃跈z漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過(guò)培訓(xùn)或有資格的設(shè)備維護(hù)工程師，才能使用此儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀長(zhǎng)期不使用時(shí)，用盲板將檢漏口、機(jī)械泵排氣口封上。

氦質(zhì)譜檢漏儀適用于元件精確檢漏的要求，靈活性測(cè)試，高靈敏度，快速于精確的結(jié)果，快速啟動(dòng)，移動(dòng)性和系統(tǒng)的可靠性。常見(jiàn)的氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)儀方法有漏點(diǎn)型、漏率型兩種。氦質(zhì)譜檢漏方法是基于氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測(cè)量原理。當(dāng)樣品的密封面發(fā)生泄漏時(shí)，氦和其他元件的泄漏氣體會(huì)從泄漏孔中泄漏出來(lái)。當(dāng)泄漏氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器后，由于氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器具有選擇性識(shí)別能力，因此只給出氣體中氦的分壓信號(hào)。在獲得氦氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上，通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專(zhuān)門(mén)用于檢漏的儀器。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)。安徽小型氦質(zhì)譜檢漏儀哪個(gè)牌子好

氦質(zhì)譜檢漏儀現(xiàn)在已經(jīng)滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門(mén)、電力、核電、制冷、家電等行業(yè)。南京真空氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法

影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素有哪些？第1，氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的位置不同于被檢漏孔的位置，即標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔到檢漏儀的距離相差太大，泄漏氦氣的損失在途中不同，會(huì)導(dǎo)致進(jìn)入檢漏儀的氦量可比性差。第二，是進(jìn)入被檢漏孔與標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或無(wú)法準(zhǔn)確給出氦氣壓力和分壓比值，導(dǎo)致無(wú)法轉(zhuǎn)換，此時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差。第三，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱(chēng)漏率有誤差。第四，是氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與泄漏率線性關(guān)系差。第五，在校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氣流特性與被檢漏孔不同。第六，檢漏儀性能不穩(wěn)定；第七，氦氣純度不穩(wěn)定或有誤差；第八，之后是檢漏操作人員的因素，包括素質(zhì)、責(zé)任感、技術(shù)水平和工作經(jīng)驗(yàn)。南京真空氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法

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