氦質(zhì)譜檢漏儀是由離子源、分析器、收集器、冷陰極離子儀等組成的質(zhì)譜室、抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀是一種用氦氣作為示漏氣體進行泄漏檢測的特定儀器，具有性能穩(wěn)定、靈敏度高等特點。在真空檢漏技術中，采用的是通用型檢漏儀器，具有較高的靈敏度。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀特點：1.檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內(nèi)；2.檢測的介質(zhì)比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會受到主觀因素判斷的影響；4.檢測的數(shù)據(jù)精確。氦質(zhì)譜檢漏儀是以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。江蘇國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀技術指導

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時，產(chǎn)生測量誤差的主要來源：一、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準靈敏度時，標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導致經(jīng)二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導致無法換算，這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。三、所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。四、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關系差。五、校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時，所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。寧波自動氦質(zhì)譜檢漏儀原理氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可達10-12Pam3/s。

氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護？影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素包括實際檢測條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術等多方面。當發(fā)現(xiàn)檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴重污染。這個時候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件；然后用航空汽油和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；然后用烘箱或電吹風進行干燥。如果操作正確，經(jīng)過清洗維護后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。

氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術參數(shù)：可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s；漏率顯示范圍：1×10-3～1×10-12Pa·m3/s；啟動時間：≤5min；響應時間：<2S；檢漏口壓力：300Pa；極限真空：5×10-4Pa；外形尺寸：560（W）×420（D）×300（H）；重量：46KG。優(yōu)勢特點：1.采用便攜式設計；2.設備外型美觀小巧；3.采用液晶觸摸屏設計；4.有通訊接口；5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出。使用環(huán)境：環(huán)境溫度：5～35℃；相對濕度：<80%；供電電壓：單相交流220V±10%，50Hz；工作電流：10A。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。

氦質(zhì)譜法檢漏方法可分為真空法、正壓法、真空壓力法和反壓法。靈敏度、反應時間、消除時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標。氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態(tài)檢漏時所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到合適的值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。氦質(zhì)譜檢漏儀堅固耐用，抗震性能好。江蘇國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀技術指導

氦質(zhì)譜法檢漏方法可分為真空法、正壓法、真空壓力法和反壓法。江蘇國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀技術指導

氦質(zhì)譜檢漏儀作為一種測量儀器，需根據(jù)設備的使用頻率、被測品工藝要求定期使用標準漏孔對設備自身進行校準，以保證設備自身檢測精度。氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質(zhì)譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產(chǎn)生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質(zhì)譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數(shù)的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標準漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護。江蘇國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀技術指導

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