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分體式氦氣檢測(cè)儀

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-03-14

氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做?1.對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進(jìn)行保養(yǎng)時(shí),由于常見(jiàn)氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級(jí)機(jī)械泵組成,因此在常規(guī)檢測(cè)時(shí)通常由前級(jí)機(jī)械泵對(duì)被檢件預(yù)抽真空,當(dāng)真空度達(dá)到規(guī)定壓力后,再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分;被檢件在檢測(cè)前會(huì)被要求進(jìn)行清潔前處理,以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)。否則將直接污染真空系統(tǒng),甚至造成真空泵損壞。因此,對(duì)被檢件的前處理以及對(duì)設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外,還需要進(jìn)行前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng),以及電磁閥組的超聲清洗,此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù),避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時(shí)導(dǎo)致設(shè)備使用壽命縮短。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的極限真空和工作真空。分體式氦氣檢測(cè)儀

氦質(zhì)譜檢漏儀性能試驗(yàn)方法:1、反應(yīng)時(shí)間、消除時(shí)間及其測(cè)定,反應(yīng)時(shí)間是指儀器節(jié)流閥完全開(kāi)啟,本底訊號(hào)為零(或補(bǔ)償?shù)搅?時(shí),由恒定的氦流量使輸儀表訊號(hào)上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時(shí)間,記為τR。消除時(shí)間是指輸出儀表訊號(hào)穩(wěn)定到固定值后,停止送氦,其訊號(hào)下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時(shí)間,記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速,質(zhì)譜室極限真空,尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計(jì)可測(cè)定儀器入口處抽速。舟山妤林氦氣檢測(cè)設(shè)備氦檢模塊氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí),不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來(lái)實(shí)現(xiàn)不同種類(lèi)離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開(kāi)抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時(shí),打開(kāi)入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測(cè)出來(lái),此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20Pa時(shí),入口閥2關(guān)閉,入口閥3打開(kāi),分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短,此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。

便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀的明顯優(yōu)點(diǎn):1、性?xún)r(jià)比高:便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀是一款實(shí)用的檢漏儀,可覆蓋廣大的應(yīng)用領(lǐng)域,競(jìng)爭(zhēng)性的價(jià)格及較低的使用成本,大抽速前級(jí)泵的設(shè)計(jì),可縮短抽氣時(shí)間,提高使用效率;2、自我保護(hù)功能:在突然暴露大氣和突然斷電時(shí)具有保護(hù)功能,系統(tǒng)的逆擴(kuò)散設(shè)計(jì)保護(hù)了質(zhì)譜室的清潔、真空,且不需要液氮;3、結(jié)構(gòu)靈活:可采用主機(jī)與前級(jí)泵單獨(dú)采買(mǎi),前級(jí)泵可使用油封式旋片泵或渦卷式干泵,對(duì)于便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀,既可選擇帶有連接配件的主機(jī)形式,也可選擇安裝在兩輪小車(chē)上的整體形式。氦質(zhì)譜檢漏儀在運(yùn)行過(guò)程中不能移動(dòng)。

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)主要考慮以下問(wèn)題:1、儀器的功能能滿(mǎn)足檢漏的要求。如有些儀器沒(méi)有逆流檢漏功能,就不適合檢漏;有些儀器沒(méi)有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能,不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用;流水線(xiàn)上要求一定的檢漏速度,此時(shí)應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿(mǎn)足檢漏的要求。國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)的不同類(lèi)型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的,如果檢漏要求的靈敏度較高,就要認(rèn)真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染,就應(yīng)選擇無(wú)油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大,必須選用抽泵抽速大的檢漏儀,否則就要外加預(yù)抽泵。氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見(jiàn)故障的處理要求是什么?江蘇妤林氦檢儀售后服務(wù)

氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的優(yōu)點(diǎn)。分體式氦氣檢測(cè)儀

氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度,通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min,即在儀器處于較佳工作條件下,以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體,進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測(cè)出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到穩(wěn)定值,被檢件出氣少且沒(méi)有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號(hào)為儀器本底噪聲的兩倍時(shí),才能認(rèn)定有漏氣訊號(hào)輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過(guò)漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲,一般指在2min內(nèi)輸出儀表的較大的波動(dòng)量,能較方便地估計(jì)檢漏效果。分體式氦氣檢測(cè)儀

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