氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)參數(shù)：可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s；漏率顯示范圍：1×10-3～1×10-12Pa·m3/s；啟動時間：≤5min；響應(yīng)時間：<2S；檢漏口壓力：300Pa；極限真空：5×10-4Pa；外形尺寸：560（W）×420（D）×300（H）；重量：46KG。優(yōu)勢特點：1.采用便攜式設(shè)計；2.設(shè)備外型美觀小巧；3.采用液晶觸摸屏設(shè)計；4.有通訊接口；5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出。使用環(huán)境：環(huán)境溫度：5～35℃；相對濕度：<80%；供電電壓：單相交流220V±10%，50Hz；工作電流：10A。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進行細(xì)檢漏。江蘇分體式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)譜室故障及處理：1、燈絲無法正常啟動，在確認(rèn)機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通，消除短路現(xiàn)象。2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態(tài)且大小遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過氦質(zhì)譜檢漏儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決，只需對故障進行定位，交由維修ZX處理。3、檢漏鍵無效(綠色指示燈亮)，檢查燈絲是否啟動。如果燈絲沒有啟動或者燈絲斷，按檢漏鍵將沒有反應(yīng)。浙江自動氦質(zhì)譜檢漏儀單位可檢漏率即氦質(zhì)譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。

氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇：首先要考慮到靈敏度必需充分滿足要求，選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時。但也不是越高越好。便攜式檢漏儀適于檢小件，靈敏度也較高，移動方便。由于本機真空系統(tǒng)很小，抽氣能力有限，所以檢大容器時就不得不靠較大輔助真空系統(tǒng)抽氣，由于氣體分流、靈敏度將降低。檢大容器時，一般選逆擴散型檢漏儀，因被檢件接在分子泵錢級與機械泵連接管道上，要求真空度不高，而順檢型檢漏儀被檢件接在質(zhì)譜室上，要求真空度高，否則儀器不能工作，所以抽氣時間要長。如果在流水線上測振儀可選用特定檢漏儀或作簡單工裝使用。若平時被檢件什么樣的都可能有，可以選用基本型氦質(zhì)譜檢漏儀，以降低成本。

氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應(yīng)安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場所，特別是儀器的電源插座，應(yīng)符合要求，要有良好的地線，左右要留有30CM的通風(fēng)間距。放置好檢漏儀，以避免儀器有傾斜或傾倒的危險。檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運行前要確保真空泵中的機械泵油是否足夠，機械泵油必須用特定的針對機械泵型號的油。氦質(zhì)譜檢漏儀的機械泵有足夠的機械泵油；保證機體內(nèi)分子泵、機械泵、真高空組件各連接順暢；電源線線路沒有破損，有良好的接地。氦質(zhì)譜檢漏儀要放平穩(wěn)，不能傾斜，檢漏儀底面要有一層防靜電布。氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名。

氦質(zhì)譜檢漏儀可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。在獲得氦氣信號值的基礎(chǔ)上，通過標(biāo)準(zhǔn)的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較普遍的檢漏儀器。在使用氦質(zhì)譜檢漏儀對產(chǎn)品檢漏前首先要對工件的結(jié)構(gòu)和制造工業(yè)有所了解。江蘇分體式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

氦質(zhì)譜檢漏儀作為一種測量儀器。江蘇分體式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理，以氦氣作為檢漏儀器。質(zhì)譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。質(zhì)譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來回振蕩，與室內(nèi)氣體碰撞，氦氣泄漏進入室內(nèi)，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進入人體磁場，當(dāng)洛倫茲力效應(yīng)偏轉(zhuǎn)時，電弧形成，加速電壓的變化使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收槽到達接收極而被探測到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較普遍的檢漏儀器。江蘇分體式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

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