氦質(zhì)譜檢漏儀操作注意事項(xiàng)：1、產(chǎn)品放入加壓罐中加壓時(shí)，不能直接拆除加壓罐。必須先把加壓罐里面的氣體排出才能打開。由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以防造成一定的傷害因此在加壓過程中不能讓不相干的人員靠近并在加壓罐上方貼一個(gè)警告標(biāo)識(shí)。2、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要鎖緊不能有松動(dòng)情況。以防氣體沖擊帶來傷害。3、產(chǎn)品半檢漏時(shí)，按壓住的組件不能挪動(dòng)或者強(qiáng)行扳開。以防氣體沖擊帶來傷害。4、在進(jìn)行重氟油檢漏時(shí)，產(chǎn)品不能直接放進(jìn)油箱中，而應(yīng)把油箱中的托盤拿出，把產(chǎn)品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飛濺燙傷。氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會(huì)選擇氦氣作為主要的示漏氣體？真空氦氣檢測(cè)機(jī)

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則：1、主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)，由于一個(gè)設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個(gè)單個(gè)漏孔，所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。如一個(gè)設(shè)備的允許漏率為10-11w，而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據(jù)具體被檢對(duì)象，所用方法簡(jiǎn)便易行，經(jīng)濟(jì)實(shí)用。為保證測(cè)試漏率真實(shí)有效：（1）標(biāo)準(zhǔn)漏孔每年送有專業(yè)資質(zhì)計(jì)量單位計(jì)量；（2）使用兩年以上建議更換標(biāo)準(zhǔn)漏孔。真空氦氣檢測(cè)機(jī)氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。

氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí)，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時(shí)，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測(cè)出來，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20Pa時(shí)，入口閥2關(guān)閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。

氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時(shí)要遠(yuǎn)離煙塵、注意防潮、定期清潔除塵、定期檢查是否靈敏，避免失靈等等。氦質(zhì)譜檢漏儀中都有檢測(cè)器，一般檢測(cè)的壽命越長(zhǎng)越好，一般來說氦質(zhì)譜檢漏儀的平均壽命在2-5年，抗干擾，誤差越小越好。要定期進(jìn)行濾紙更換，在傳感器規(guī)定時(shí)間內(nèi)使用，不同的傳感器之間可能會(huì)有干擾要注意還要注意電磁的干擾。防止元件的老化，及時(shí)更換零件。測(cè)定漏率型主要是針對(duì)密封性要求嚴(yán)格的部件進(jìn)行檢測(cè)，如宇宙飛船、火箭液體燃料儲(chǔ)料箱、衛(wèi)星、電子元器件等。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。

氦質(zhì)譜檢漏儀操作步驟：1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置，再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”，燈亮，擴(kuò)散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱，開冷規(guī)開關(guān)，“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再?gòu)挠蚁蜃笾饾u上升(真空示值在1×10-2Pa以下請(qǐng)不要長(zhǎng)時(shí)間開冷規(guī)，可等一會(huì)兒再開)，當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動(dòng)燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關(guān)漏孔檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號(hào)指示Zda)，靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用領(lǐng)域：學(xué)?？蒲袉挝?、真空制造、真空鍍膜、航空航天等。國(guó)產(chǎn)氦氣檢測(cè)設(shè)備多少錢一臺(tái)

檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人氦質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸口。真空氦氣檢測(cè)機(jī)

氦質(zhì)譜檢漏儀常見的幾種檢漏法：1、負(fù)壓法檢漏，負(fù)壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測(cè)口，連續(xù)向可疑的漏孔噴射示蹤氣體，示蹤氣體通過漏孔進(jìn)入檢漏儀并被檢測(cè)。一般電子器件的外殼、高壓開關(guān)管、氧化鋅、避雷器等都應(yīng)采用這種方法檢漏。根據(jù)產(chǎn)品的不同，需要選擇不同尺寸的夾具或輔助工具。2、壓氦法檢漏，壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過漏孔泄漏出來，經(jīng)檢漏儀檢測(cè)總泄漏量。一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。真空氦氣檢測(cè)機(jī)

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