氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇：首先要考慮到靈敏度必需充分滿足要求，選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)。但也不是越高越好。便攜式檢漏儀適于檢小件，靈敏度也較高，移動(dòng)方便。由于本機(jī)真空系統(tǒng)很小，抽氣能力有限，所以檢大容器時(shí)就不得不靠較大輔助真空系統(tǒng)抽氣，由于氣體分流、靈敏度將降低。檢大容器時(shí)，一般選逆擴(kuò)散型檢漏儀，因被檢件接在分子泵錢級(jí)與機(jī)械泵連接管道上，要求真空度不高，而順檢型檢漏儀被檢件接在質(zhì)譜室上，要求真空度高，否則儀器不能工作，所以抽氣時(shí)間要長(zhǎng)。如果在流水線上測(cè)振儀可選用特定檢漏儀或作簡(jiǎn)單工裝使用。若平時(shí)被檢件什么樣的都可能有，可以選用基本型氦質(zhì)譜檢漏儀，以降低成本。禁止任何外來物掉在或?yàn)⒃诤べ|(zhì)譜檢漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中。上海客制化氦質(zhì)譜檢漏儀原理

氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)：1、可檢漏率：即氦質(zhì)譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。2、響應(yīng)(消除)時(shí)間：指一定流量的探索氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后，電子和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時(shí)間，漏率指示才能達(dá)到較大值；反之，停止供氣后，漏率指示不能立即回零，需要一定時(shí)間的下降過程，通常由于氦氣的吸附和脫附作用，消除時(shí)間稍長(zhǎng)于響應(yīng)時(shí)間。3、啟動(dòng)時(shí)間：指氦質(zhì)譜檢漏儀自接通電源到能進(jìn)行檢漏的時(shí)間。要注意使用的環(huán)境。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的生產(chǎn)、檢測(cè)，都是在20-25℃的室溫下進(jìn)行。尤其有些標(biāo)準(zhǔn)漏孔，對(duì)溫度特別敏感。溫度每變化1℃，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如，夏天，室溫達(dá)到30℃，這種標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率誤差增加30%。真空氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。

氦質(zhì)譜檢漏儀常見的故障和處理：1、內(nèi)部的泄漏，當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí)，會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點(diǎn)，更換密封件。2、本底信號(hào)不穩(wěn)定，1）本底信號(hào)過高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏，將室內(nèi)的門窗打開通風(fēng)，降低環(huán)境本底。2）本底信號(hào)過高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測(cè)含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時(shí)，質(zhì)譜室極易被污染，需返廠進(jìn)行清洗，本底信號(hào)不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。

氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)展集中體現(xiàn)如下方面：1.智能化：以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式，自動(dòng)檢測(cè)。2.便捷化：這幾年市場(chǎng)上各種小型便捷的檢漏儀能夠?yàn)樾袠I(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。3.自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。4.全無油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。

氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)參數(shù)：可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s；漏率顯示范圍：1×10-3～1×10-12Pa·m3/s；啟動(dòng)時(shí)間：≤5min；響應(yīng)時(shí)間：<2S；檢漏口壓力：300Pa；極限真空：5×10-4Pa；外形尺寸：560（W）×420（D）×300（H）；重量：46KG。優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：1.采用便攜式設(shè)計(jì)；2.設(shè)備外型美觀小巧；3.采用液晶觸摸屏設(shè)計(jì)；4.有通訊接口；5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出。使用環(huán)境：環(huán)境溫度：5～35℃；相對(duì)濕度：<80%；供電電壓：?jiǎn)蜗嘟涣?20V±10%，50Hz；工作電流：10A。在使用氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)產(chǎn)品檢漏前首先要對(duì)工件的結(jié)構(gòu)和制造工業(yè)有所了解。真空氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好

氦質(zhì)譜檢漏儀使用時(shí)需要注意哪些事項(xiàng)？上?？椭苹べ|(zhì)譜檢漏儀原理

氦質(zhì)譜檢漏儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。性能穩(wěn)定可靠。不但靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。上?？椭苹べ|(zhì)譜檢漏儀原理

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