氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。關(guān)鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。不但靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換。氨質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到普遍的應(yīng)用。推車式氦氣檢測機特點

氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質(zhì)譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產(chǎn)生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質(zhì)譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數(shù)的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應(yīng)的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護。進口氦氣檢測設(shè)備大概多少錢所謂“動態(tài)檢漏”是指氦質(zhì)譜檢漏儀本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。

氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體？1、氦氣的質(zhì)量輕，易于穿過漏孔，進入系統(tǒng)時流動和擴散快，因此響應(yīng)快，檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當(dāng)降低對分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。

氦質(zhì)譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理：一、機械維護，檢查泵的油量，如果低于低標(biāo)線，則加入泵油；如果變黑或渾濁，則更換泵。使用方法見機械泵說明書。二、清洗，泄漏探測器沒有氦進入，但有一定的泄漏率指示，長期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣，在檢漏時又被釋放，造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進入氦質(zhì)譜檢漏儀，在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過濾器，將其拆下，用酒精浸泡清洗。檢查泄漏，用棉布擦拭波紋管。三、以下是常見的故障現(xiàn)象、原因及解決方法。斷電：1.電源線連接不當(dāng)；2、保險管熔斷。3、重新接通電源。4.更換相同規(guī)格的保險管。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。

提高氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度方法：1、盡量開大節(jié)流閥。2、盡量減小外接泵對工件的分流或采用不分流檢漏(當(dāng)工件抽上真空后，關(guān)閉工件與外接泵之間的閥門)。3、將工件用塑料袋包扎，袋內(nèi)再充入氦氣，(但此法不能測出具體漏點)。4、使用液氮，全開節(jié)流閥，采用不分流檢漏，必要時可將抽速閥關(guān)小。氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護：1、定期更換燈絲，清洗冷規(guī)。2、定期更換機械泵油，適時對機械泵加油。3、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦質(zhì)譜檢漏儀部件后，安裝時要避免安裝處出現(xiàn)泄漏。5、適時對氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進行清洗，排除漏點。為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對性的采取措施。妤林氦檢設(shè)備氦檢模塊

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)按照說明書的要求定期進行保養(yǎng)。推車式氦氣檢測機特點

氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？1.對氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進行保養(yǎng)時，由于常見氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級機械泵組成，因此在常規(guī)檢測時通常由前級機械泵對被檢件預(yù)抽真空，當(dāng)真空度達到規(guī)定壓力后，再進入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測前會被要求進行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進入真空系統(tǒng)。否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞。因此，對被檢件的前處理以及對設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外，還需要進行前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)，以及電磁閥組的超聲清洗，此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進行保養(yǎng)維護，避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時導(dǎo)致設(shè)備使用壽命縮短。推車式氦氣檢測機特點

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