氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點(diǎn):①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi),電壓過低儀器啟動(dòng)困難,且性能不穩(wěn)定,電壓過高會(huì)燒壞電源,嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵,應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運(yùn)行過程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中,若搬動(dòng)檢漏儀,容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)按照說明書的要求定期進(jìn)行保養(yǎng),保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、消除時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用領(lǐng)域:學(xué)??蒲袉挝弧⒄婵罩圃?、真空鍍膜、航空航天等。鹽城妤林氦檢儀原理
選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則:1、主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù),由于一個(gè)設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個(gè)單個(gè)漏孔,所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。如一個(gè)設(shè)備的允許漏率為10-11w,而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據(jù)具體被檢對(duì)象,所用方法簡便易行,經(jīng)濟(jì)實(shí)用。為保證測(cè)試漏率真實(shí)有效:(1)標(biāo)準(zhǔn)漏孔每年送有專業(yè)資質(zhì)計(jì)量單位計(jì)量;(2)使用兩年以上建議更換標(biāo)準(zhǔn)漏孔。杭州妤林氦氣檢測(cè)儀廠家氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局。
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護(hù)?當(dāng)發(fā)現(xiàn)檢漏儀的靈敏度降低,而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求,就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。這個(gè)時(shí)候,就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進(jìn)行徹底的清洗。具體的清洗方法如下:先用高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件,不能用粗砂紙,因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件;然后用航空汽油或無水乙醇清洗,并用去離子水沖洗干凈;然后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。如果操作正確,經(jīng)過清洗維護(hù)后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2~3倍。
提高氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度方法:1、盡量開大節(jié)流閥。2、盡量減小外接泵對(duì)工件的分流或采用不分流檢漏(當(dāng)工件抽上真空后,關(guān)閉工件與外接泵之間的閥門)。3、將工件用塑料袋包扎,袋內(nèi)再充入氦氣,(但此法不能測(cè)出具體漏點(diǎn))。4、使用液氮,全開節(jié)流閥,采用不分流檢漏,必要時(shí)可將抽速閥關(guān)小。氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護(hù):1、定期更換燈絲,清洗冷規(guī)。2、定期更換機(jī)械泵油,適時(shí)對(duì)機(jī)械泵加油。3、如加液氮,需定期清洗冷阱。4、拆卸氦質(zhì)譜檢漏儀部件后,安裝時(shí)要避免安裝處出現(xiàn)泄漏。5、適時(shí)對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進(jìn)行清洗,排除漏點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲,一般指在2min內(nèi)輸出儀表的較大的波動(dòng)量,能較方便地估計(jì)檢漏效果。
氦質(zhì)譜檢漏儀調(diào)氦峰步驟:1、調(diào)氦峰方法:開漏孔開關(guān),單方向(從75~165V或從165~75V)調(diào)加速電壓“V”,使氦質(zhì)譜檢漏儀放大器輸出表指示值出現(xiàn)一個(gè)Zda值,然后關(guān)漏孔開關(guān),如表頭指示值變小,說明氦質(zhì)譜檢漏儀接收到氦信號(hào),即找到氦峰;如表頭指示值不變,說明不是氦峰,則繼續(xù)調(diào)“V”,直到找到氦峰(出現(xiàn)氦的“V”一般在85~150V之間)。2、調(diào)氦峰分辨不好:①氦和重離子分辨差。②氦和輕離子分辨差。3、調(diào)氦峰信號(hào)?。孩贌艚z沒正對(duì)電離盒上的電子入口。②燈絲離電離盒太遠(yuǎn)。③分辨不好。氦質(zhì)譜檢漏儀在運(yùn)行過程中不能移動(dòng)。移動(dòng)式氦檢儀廠家
氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。鹽城妤林氦檢儀原理
氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時(shí),產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來源主要包括幾個(gè)方面:一、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí),標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,即,標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大,漏入氦氣在途中損失不相等,這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算,這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差。三、所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。四、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。鹽城妤林氦檢儀原理
上海妤林真空設(shè)備技術(shù)有限公司坐落在徐行鎮(zhèn)新建一路2255號(hào)1幢104,是一家專業(yè)的上海妤林真空設(shè)備技術(shù)有限公司,座落于上海市嘉定區(qū)新建一路2255號(hào),是一家專門從事氦質(zhì)譜和真空產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高科技企業(yè)。 我司提供真空相關(guān)技術(shù)服務(wù),技術(shù)交流,技術(shù)咨詢以及真空管道的設(shè)計(jì),生產(chǎn)以及安裝。公司。一批專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),是實(shí)現(xiàn)企業(yè)戰(zhàn)略目標(biāo)的基礎(chǔ),是企業(yè)持續(xù)發(fā)展的動(dòng)力。公司業(yè)務(wù)范圍主要包括:氦氣檢漏儀,氦氣回收系統(tǒng),檢漏儀,氦檢儀等。公司奉行顧客至上、質(zhì)量為本的經(jīng)營宗旨,深受客戶好評(píng)。公司力求給客戶提供全數(shù)良好服務(wù),我們相信誠實(shí)正直、開拓進(jìn)取地為公司發(fā)展做正確的事情,將為公司和個(gè)人帶來共同的利益和進(jìn)步。經(jīng)過幾年的發(fā)展,已成為氦氣檢漏儀,氦氣回收系統(tǒng),檢漏儀,氦檢儀行業(yè)出名企業(yè)。