氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20Pa時，入口閥2關(guān)閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時間縮短，此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀的主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)。移動式氦檢機價錢

氦質(zhì)譜檢漏儀換燈絲步驟：當(dāng)冷規(guī)指針已過1×10-2Pa，按燈絲啟動，燈很亮，發(fā)射電流無指示，量離子源插頭①②足不通，即為燈絲斷，燈絲壽命一般正常使用為1至3個月。1、停機換燈絲：可直接取下離子源更換燈絲，裝好后按正常開機步驟進行。2、不停機換燈絲：關(guān)冷規(guī)，關(guān)抽速閥，取離子源插頭，取下離子源，更換燈絲后裝上離子源，插離子源插頭，此時“加速電壓”示值不應(yīng)有變化，“發(fā)射電流”示值應(yīng)為零。如其中有一示值與上不符，則是離子源內(nèi)有短路，應(yīng)取下排除。將閥開關(guān)由“前置”轉(zhuǎn)向“粗抽”(注意：閥開關(guān)在“粗抽”的時間不要超過五分鐘)，全開節(jié)流閥，等真空抽上后，關(guān)閉節(jié)流閥，將“粗抽”轉(zhuǎn)向“前置”，開抽速閥，開冷規(guī)，等真空過1×10-2Pa后可啟動燈絲，調(diào)氦峰。全自動氦氣檢測設(shè)備使用方法氦質(zhì)譜檢漏儀在運行過程中不能移動。

氦質(zhì)譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理：一、機械維護，檢查泵的油量，如果低于低標(biāo)線，則加入泵油；如果變黑或渾濁，則更換泵。使用方法見機械泵說明書。二、清洗，泄漏探測器沒有氦進入，但有一定的泄漏率指示，長期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣，在檢漏時又被釋放，造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進入氦質(zhì)譜檢漏儀，在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過濾器，將其拆下，用酒精浸泡清洗。檢查泄漏，用棉布擦拭波紋管。三、以下是常見的故障現(xiàn)象、原因及解決方法。斷電：1.電源線連接不當(dāng)；2、保險管熔斷。3、重新接通電源。4.更換相同規(guī)格的保險管。

氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇要進行多家的貨物進行對比，將不同品牌的樣品放一起對比，這樣氦質(zhì)譜檢漏儀儀質(zhì)量好與壞一眼便看得出來。除了光看樣品的質(zhì)量，建議用戶盡可能監(jiān)督安裝的全過程，同時并索要樣品驗貨，在安裝完后，可以要求商家在再測試一遍。保持氦質(zhì)譜檢漏儀的干燥，嚴(yán)禁接觸水，并避免直接接觸腐蝕性液體。嚴(yán)禁在高溫的環(huán)境中使用氦質(zhì)譜檢漏儀，高溫使用儀器，很可能會長久性的損壞傳感器。請參閱儀器的溫度使用范圍。不同的氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用范圍領(lǐng)域也不相同，例如工業(yè)用的氦質(zhì)譜檢漏儀，需符合國家各項安全標(biāo)準(zhǔn)，使用起來也更復(fù)雜。氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的要定期保養(yǎng)維護。

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜儀學(xué)原理，用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應(yīng)安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場所，特別是儀器的電源插座，應(yīng)符合要求，要有良好的地線，左右要留有30CM的通風(fēng)間距。放置好氦質(zhì)譜檢漏儀，以避免儀器有傾斜或傾倒的危險。氦質(zhì)譜檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運行前要確保真空泵中的機械泵油是否足夠，機械泵油必須用特定的針對機械泵型號的油。氦質(zhì)譜檢漏儀的可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。全自動氦氣檢測設(shè)備使用方法

為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對性的采取措施。移動式氦檢機價錢

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏原理：當(dāng)一個帶電質(zhì)點(正離子)以速度v進入均勻磁場的分析器中，如果速度v的方向和磁場H的方向相垂直，則它的運動軌跡為圓。當(dāng)磁場的磁通密度一定時，不同質(zhì)荷比(m/e)的離子在磁場中都有相應(yīng)的運輸半徑，也就是都有相應(yīng)的圓軌跡，這樣，不同質(zhì)荷比的帶電粒子在磁場分析器中運動后就會彼此分開。如果在離大運動的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉，而在對應(yīng)的氦離子運動半徑位置的檔板上開一狹縫，狹縫后安置離子接收極，這樣的只有氦離子才能通過狹縫而被接收極接收形成氦離子流，并經(jīng)放大器放大后由測量儀表指示出來。檢漏時，如果用氦氣噴吹漏孔，氦氣便通過漏孔進入檢漏儀的質(zhì)譜室中，使氦質(zhì)譜檢漏儀的測量儀表立即靈敏地反應(yīng)出來，達到了檢漏的目的。移動式氦檢機價錢

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