下面為大家介紹一下石墨盤烤盤爐一.產品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體,爐內抽真空,被處理工件放置在爐膛內,采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質量的目的。二、設計特點1、后門設計熱風電機2、降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內產生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質將隔熱層內與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的三、技術指標1、使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2、絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;4、加熱元件:石墨加熱棒;5、冷卻方式:氣冷+循環(huán)風冷降溫;6、控溫穩(wěn)定度:2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;7、爐膛溫度均勻度:5℃(恒溫1500℃);8、氣氛:可向爐膛內通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%;9、極限真空:10-3torr級;10、抽氣速率:空載下,30min達到10-2torr11、升溫功率:170kW;12、升溫速率:15℃/min(空載);13、降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘工業(yè)烤箱哪個性價比高?合肥真萍科技告訴您。生產工業(yè)烤箱非標定制
下面為大家簡單介紹一下真萍科技的產品之一——潔凈烘箱。本產品是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術條件及中國相關標準研究制造,普遍應用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫(yī)藥實驗室等生產及科研部門。技術指標:1無塵等級:Class100:(符合FED-STD209E標準:0.3um≤300個0.5≤100個)2溫度范圍:+60℃~+250℃(極限溫度350℃)3溫度均勻性:2℃(空箱測試)4溫度精確度:1℃(空箱測試)箱體結構:1烘箱總體由箱體部分,電氣控制柜部分,電加熱部分,風道部分,塵埃物過濾部分,N2進氣排氣及風冷部分等組裝而成,結構合理,功能實用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵,內膽材料:采用進口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經堿性蘇打水清潔有效的防止了機臺本身灰塵的產生。3保溫材料:采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充,防止了熱能浪費。4電熱部分:采用覆套式電熱器(SHEATHEDHEATER)無塵無氧化電熱發(fā)生器精密工業(yè)烤箱價格多少合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱發(fā)揮的重要作用。
HMDS預處理系統(tǒng)的必要性:在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯(lián)劑的作用。
真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體,爐內抽真空,被處理工件放置在爐膛內,采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質量的目的。二、設計特點1、后門設計熱風電機2、降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內產生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質將隔熱層內與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的三、技術指標1、使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2、絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;4、加熱元件:石墨加熱棒;5、冷卻方式:氣冷+循環(huán)風冷降溫;6、控溫穩(wěn)定度:2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;7、爐膛溫度均勻度:5℃(恒溫1500℃);8、氣氛:可向爐膛內通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%;9、極限真空:10-3torr級;10、抽氣速率:空載下,30min達到10-2torr11、升溫功率:170kW;12、升溫速率:15℃/min(空載);13、降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘合肥哪家工業(yè)烤箱值得信賴呢?
高溫鐘罩爐設備規(guī)格及結構爐膛結構:采用多晶莫來石材料砌筑而成
一、熱工系統(tǒng)1.1額定溫度:1550℃1.2限制溫度:1600℃1.3加熱元件:U型硅鉬棒1.4加熱功率:16kW1.5空爐保溫功率≤8kW1.6溫區(qū)個數(shù):1個1.7控溫點數(shù):1點1.8熱偶:B分度1.9程序**精度:2℃(大于600℃,升溫速率≤3℃/min)二、氣氛系統(tǒng)2.1爐膛氣氛:2路空氣,流量計量程為7~70L/min;每路流量可調節(jié)2.2排氣系統(tǒng):在爐膛頂部設置一個排氣*囪,用于廢氣排放三、傳動系統(tǒng)3.1傳動方式:升降式3.2傳動類型:電動推桿傳動3.3容積:20L四、冷卻系統(tǒng)。 為什么大家都選擇合肥真萍科技的工業(yè)烤箱,原因真萍告訴您。福州精密工業(yè)烤箱
合肥真萍告訴您工業(yè)烤箱的應用范圍。生產工業(yè)烤箱非標定制
質量連續(xù)爐的產品特性:1、采用智能型溫度控制模塊,PID自動演算,LED顯示,配合SSR大功率可控硅輸出,能控制溫度之精細度;2、分段控制(當?shù)竭_設定溫度時可任意關掉其中幾段發(fā)熱管,降低加熱功率,其達到省電效果)3、內箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼(清潔無塵,防生銹、耐腐蝕),外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板(強度、塑性和焊接綜合性能相當好);4、整機控制系統(tǒng)采用觸摸屏加PLC程序控制,設備加熱、運風、傳動、自動門開關均采用智能控制,防止失誤動作;5、當實際檢測溫度超過超溫保護溫控器設定值時,自動切斷加熱電源,起到雙重保護功能。生產工業(yè)烤箱非標定制