有哪些不同種類的拉壓力傳感器?
拉壓力傳感器的工作原理基于金屬材料的壓阻效應(yīng)或應(yīng)變效應(yīng)。當(dāng)有外力作用于傳感器的彈性元件時,彈性元件會發(fā)生形變,粘貼在其表面的電阻應(yīng)變片隨之變形,導(dǎo)致電阻值改變。通過測量這一電阻變化,并利用惠斯通電橋?qū)⑵滢D(zhuǎn)換為電壓信號輸出,就能精確計算出所施加的拉力或壓力大小。這種將力的物理量轉(zhuǎn)化為電信號的過程,是拉壓力傳感器實(shí)現(xiàn)精細(xì)測量的基礎(chǔ)。
從結(jié)構(gòu)上看,拉壓力傳感器主要由彈性敏感元件、電阻應(yīng)變片、測量電路和外殼等部分組成。彈性敏感元件的設(shè)計和材料選擇決定了傳感器的測量范圍和精度,不同形狀和材質(zhì)的彈性元件適用于不同的應(yīng)用場景。按測量原理,拉壓力傳感器可分為電阻應(yīng)變式、電容式、電感式等多種類型,其中電阻應(yīng)變式因其技術(shù)成熟、精度高、成本較低等優(yōu)勢,在市場上占據(jù)主導(dǎo)地位。
電阻應(yīng)變式拉壓力傳感器:在電子秤中廣泛應(yīng)用。無論是日常購物的超市電子秤,還是工業(yè)用的大型地磅,電阻應(yīng)變式拉壓力傳感器都是**部件。當(dāng)物體放置在秤臺上,壓力通過彈性元件傳遞,使粘貼在其上的電阻應(yīng)變片產(chǎn)生形變,進(jìn)而改變電阻值,經(jīng)過測量電路轉(zhuǎn)換為對應(yīng)的重量數(shù)值顯示出來,因其成本較低、技術(shù)成熟,能滿足大多數(shù)稱重場景對精度和穩(wěn)定性的要求。
電容式拉壓力傳感器:常用于一些對微小力變化敏感的精密測量場合,如半導(dǎo)體芯片制造過程中的壓力監(jiān)測。在芯片制造的光刻環(huán)節(jié),需要精確控制光刻設(shè)備中壓頭對硅片的壓力,電容式拉壓力傳感器可以憑借其高靈敏度,精細(xì)感知極微小的壓力變化,并將其轉(zhuǎn)化為電容變化進(jìn)行測量,確保芯片制造過程的精度和穩(wěn)定性,避免因壓力不當(dāng)導(dǎo)致芯片質(zhì)量問題。
電感式拉壓力傳感器:在自動化生產(chǎn)線的金屬零件檢測中有重要應(yīng)用。例如汽車零部件生產(chǎn)線上,對于一些關(guān)鍵金屬零部件的尺寸精度和裝配質(zhì)量檢測,電感式拉壓力傳感器可以通過檢測金屬零件在受力時引起的電感變化,來判斷零件是否存在缺陷或裝配是否到位。當(dāng)零件存在裂紋、變形等問題時,其受力后的電感變化與正常零件不同,傳感器便能及時檢測到并發(fā)出警報,保障生產(chǎn)線的正常運(yùn)行和產(chǎn)品質(zhì)量。