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來源: 發(fā)布時(shí)間:2022-06-20

    能夠使第1線圈布線和第2線圈布線在與軸的軸向交叉的方向上進(jìn)一步遠(yuǎn)離磁傳感器。作為理想的技術(shù)方案,所述散熱器具有凹部和凸部中的一者,所述適配器具有所述凹部和所述凸部中的另一者,所述凸部能嵌入所述凹部。由此,能夠?qū)⑦m配器相對(duì)于散熱器定位。作為理想的技術(shù)方案,還具備配置于所述凹部的第1粘接劑,利用所述第1粘接劑將所述散熱器和所述適配器粘接起來。由此,能夠確保適配器不脫離散熱器。作為理想的技術(shù)方案,還具備:蓋體,其覆蓋所述電路基板;以及快速裝配機(jī)構(gòu),其將所述蓋體固定于所述散熱器,所述快速裝配機(jī)構(gòu)的卡定部和被卡定部中的一者設(shè)于所述蓋體的外周部,所述卡定部和所述被卡定部中的另一者設(shè)于所述散熱器的外周部。由此,能夠?qū)⑸w體和散熱器容易地固定在一起。作為理想的技術(shù)方案,還具備設(shè)于所述蓋體的閥,所述蓋體和所述散熱器構(gòu)成收納所述電路基板的收納體,所述閥根據(jù)所述收納體的內(nèi)部與外部的壓力差進(jìn)行開閉。由此,能夠減小溫度變化所導(dǎo)致的收納體內(nèi)部的壓力變化。作為理想的技術(shù)方案,所述散熱器具有在所述散熱器的外周部設(shè)置的槽部,所述蓋體的外周部能嵌合于所述槽部。由此,能夠?qū)⑸w體相對(duì)于散熱器定位。浦口區(qū)常見氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家!新沂象鼻子氣動(dòng)懸臂吊哪家有

    所述電路基板具有:檢測(cè)電路,其包含對(duì)所述磁體的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢測(cè)的磁傳感器;第1電力電路,其包含向所述第1線圈組供給電流的多個(gè)電子元器件;第2電力電路,其包含向所述第2線圈組供給電流的多個(gè)電子元器件;以及控制電路,其包含對(duì)所述第1電力電路和所述第2電力電路中的至少一者所供給的電流進(jìn)行控制的電子元器件,所述第1線圈布線和所述第2線圈布線均具有:第1部位,其在與所述軸的軸向交叉的方向上突出到所述殼體的外側(cè);以及第2部位,其在所述外側(cè)自所述第1部位朝向所述電路基板突出,所述散熱器具有通孔,該通孔設(shè)置在所述第1面與所述第2面之間且供所述軸穿過,在自所述軸的軸向俯視時(shí),所述通孔位于所述壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)。由此,能夠?qū)⒌?電力電路和第2電力電路配置在靠近電路基板的外周的位置,能夠增大第1電力電路以及第2電力電路與磁傳感器之間的間隔距離。由此,由第1電力電路和第2電力電路產(chǎn)生的熱不易向磁傳感器傳遞,因此,能夠抑制磁傳感器的溫度上升。另外,壁部在電路基板側(cè)具有端部,帽能夠安裝于該端部。由此,能夠防止異物自散熱器的第1面?zhèn)冗M(jìn)入壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)。由于磁于壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè),因此能夠抑制異物附著于磁體(發(fā)生污染)還具備多個(gè)肋。新沂象鼻子氣動(dòng)懸臂吊哪家有六合區(qū)包裝袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家!

    所述的手指固定座33上設(shè)置有插槽41,所述的插槽41內(nèi)可拆卸安裝晶圓固定裝置4。所述的晶圓固定裝置4包括真空吸盤、氣缸機(jī)械手等。所述的手指固定座33上還設(shè)置有掃描傳感器42,掃描傳感器42包括光纖放大器以及濾光片等光信號(hào)探測(cè)設(shè)備。使用時(shí),升降軸1進(jìn)行機(jī)械手的豎直上升下降工作,旋轉(zhuǎn)軸2進(jìn)行機(jī)械手的水平旋轉(zhuǎn)工作,伸展軸3進(jìn)行機(jī)械手的伸展拿取工作。相比現(xiàn)有的晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,本申請(qǐng)中伸展軸3中的一級(jí)伸展臂31、二級(jí)伸展臂32和手指固定座33聯(lián)動(dòng),一級(jí)伸展臂31、二級(jí)伸展臂32和手指固定座33之間分別具有傳動(dòng)機(jī)構(gòu),通過一級(jí)關(guān)節(jié)5、二級(jí)關(guān)節(jié)6和三級(jí)關(guān)節(jié)7之間的一級(jí)同步帶52和二級(jí)同步帶64在一級(jí)伸展臂31轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí),帶動(dòng)二級(jí)伸展臂32和手指固定座33不同速率的轉(zhuǎn)動(dòng),在升降軸1、旋轉(zhuǎn)軸2和伸展軸3三軸聯(lián)動(dòng)的同時(shí)讓手指固定座33始終保證直線運(yùn)動(dòng),且角度不會(huì)發(fā)生改變。這種方式不僅簡(jiǎn)化了整個(gè)伸展軸3傳動(dòng)結(jié)構(gòu),共用一個(gè)傳動(dòng)系后不僅提高了運(yùn)行精度、重復(fù)定位精度,又提高了機(jī)械手整體剛度和承重能力。本發(fā)明的機(jī)械手可以通過設(shè)定在機(jī)械手后方的掃描傳感器42,自動(dòng)掃描片盒中晶片的狀態(tài)(包括:有,無,重片,斜片),通過數(shù)據(jù)分析后把結(jié)果傳送給上位設(shè)備控制系統(tǒng)。

    該多個(gè)肋將所述壁部的外周面和所述第1面連結(jié)起來。由此,能夠提高壁部與散熱器之間的連結(jié)強(qiáng)度。作為理想的技術(shù)方案,所述多個(gè)肋沿著所述壁部的周圍以等間隔配置。由此,在壁部的周圍,能夠確保壁部與散熱器之間的連結(jié)強(qiáng)度不產(chǎn)生偏差。作為理想的技術(shù)方案,還具備帽,該帽安裝于所述壁部的靠所述電路基板側(cè)的端部,所述帽具有與所述磁體相對(duì)的頂板部和對(duì)所述頂板部的外周進(jìn)行支承的緣部,所述頂板部的材料是樹脂。由此,從磁體發(fā)出的磁通能夠透過帽的頂板部,磁傳感器能夠檢測(cè)該磁通。不必為了使磁通透過而從壁部的端部拆下帽。因此,在電動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置的組裝工序中,不需要拆下帽的工序,能夠抑制工序數(shù)量的增大。另外,在電路基板安裝于散熱器而完成了電動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置之后,也能維持帽安裝于壁部的端部的狀態(tài)。由此,能夠持續(xù)性地抑制異物附著于磁體。作為理想的技術(shù)方案,所述壁部具有在所述外周面設(shè)置的槽部,所述緣部具有在與所述槽部重疊的位置設(shè)置的突起部,所述突起部能卡合于所述槽部。由此,能將帽固定于壁部。作為理想的技術(shù)方案,所述壁部與散熱器形成為一體。由此,在壁部與散熱器之間不存在接合的邊界,因此,能夠提高壁部與散熱器之間的連結(jié)強(qiáng)度。溧水區(qū)米袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家!

    所述的伸展電機(jī)、所述的一級(jí)關(guān)節(jié)、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng),所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動(dòng)。上述技術(shù)方案中,的,所述的一級(jí)關(guān)節(jié)、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)的傳動(dòng)比為1:2:1。上述技術(shù)方案中,的,所述的伸展電機(jī)通過諧波減速機(jī)驅(qū)動(dòng)所述一級(jí)伸展臂轉(zhuǎn)動(dòng)。上述技術(shù)方案中,的,所述的一級(jí)關(guān)節(jié)上設(shè)置有一級(jí)同步輪,所述的二級(jí)關(guān)節(jié)上設(shè)置有二級(jí)同步輪,所述的一級(jí)同步輪和所述的二級(jí)同步輪通過一級(jí)同步帶傳動(dòng)連接。上述技術(shù)方案中,的,所述的一級(jí)伸展臂內(nèi)還設(shè)置有與所述一級(jí)同步帶相配合的一級(jí)張緊輪。上述技術(shù)方案中,的,所述的二級(jí)關(guān)節(jié)上設(shè)置有三級(jí)同步輪,所述的三級(jí)關(guān)節(jié)上設(shè)置有四級(jí)同步輪,所述的三級(jí)同步輪和所述的四級(jí)同步輪通過二級(jí)同步帶傳動(dòng)連接。上述技術(shù)方案中,的,所述的二級(jí)伸展臂內(nèi)還設(shè)置有與所述二級(jí)同步帶相配合的二級(jí)張緊輪。上述技術(shù)方案中,的,所述的手指固定座上設(shè)置有插槽,所述的插槽內(nèi)可拆卸安裝晶圓固定裝置。上述技術(shù)方案中,的,所述的晶圓固定裝置包括真空吸盤、氣缸機(jī)械手。上述技術(shù)方案中,的,所述的手指固定座上還設(shè)置有掃描傳感器。本發(fā)明具體為一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手,它是自動(dòng)晶圓處理設(shè)備中組成部分。江寧區(qū)米袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家!新沂象鼻子氣動(dòng)懸臂吊哪家有

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    本發(fā)明涉及航天員艙外活動(dòng)輔助裝置領(lǐng)域,尤其涉及一種助力裝置。背景技術(shù):隨著航天技術(shù)特別是空間站技術(shù)的發(fā)展,航天員艙外活動(dòng)將趨于常態(tài)化。受空間微重力環(huán)境、航天服負(fù)壓環(huán)境及安全性等因素影響,航天員的所有艙外活動(dòng)均需借助一系列輔助裝置完成。航天員艙外活動(dòng)一項(xiàng)重要內(nèi)容就是艙外設(shè)備維修,可要完成設(shè)備的維修操作就需要給失重狀態(tài)下的航天員提供施(助)力點(diǎn)。一般情況下,航天員都是借助艙壁助力扶手進(jìn)行施(助)力,然而有時(shí)艙壁助力扶手的位置、角度、高度等不能適應(yīng)航天員的操作姿態(tài),導(dǎo)致無法施(助)力。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于解決上述問題,提供一種助力裝置。為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的,本發(fā)明提供一種助力裝置,包括:固定夾持機(jī)構(gòu)、一端與所述固定夾持機(jī)構(gòu)連接的長(zhǎng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)以及與所述長(zhǎng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)的另一端連接的末端助力機(jī)構(gòu),所述固定夾持機(jī)構(gòu)和所述長(zhǎng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)之間采用具有鎖緊功能的萬向球頭接頭結(jié)構(gòu)連接,所述長(zhǎng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)與所述末端助力機(jī)構(gòu)之間采用萬向接頭結(jié)構(gòu)連接。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面,所述萬向球頭接頭結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在所述長(zhǎng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)的端部的球頭,設(shè)置在所述固定夾持機(jī)構(gòu)的端部與所述球頭活動(dòng)連接的弧形槽。新沂象鼻子氣動(dòng)懸臂吊哪家有

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