EdwardsiGX半導(dǎo)體干式真空泵iGX干式真空泵系列為大修之間的零維護(hù)設(shè)定了新標(biāo)準(zhǔn)。提高效率降低了擁有成本，并在整個(gè)壓力范圍內(nèi)提供連續(xù)的泵送任務(wù)。iGX干泵包括以太網(wǎng)連接，允許通過網(wǎng)頁查看關(guān)鍵數(shù)據(jù)，以及一套***的網(wǎng)絡(luò)選項(xiàng)，以確保泵的持續(xù)可用性。iGX泵提供各種峰值速度和變體，可滿足從清潔到中型工藝的應(yīng)用。模塊化設(shè)計(jì)允許用戶配置iGX干泵以滿足個(gè)別晶圓廠的要求。超緊湊的占地面積允許安裝選項(xiàng)，包括工具上、近距離或遠(yuǎn)程。iGX干式真空泵系列為大修之間的零維護(hù)設(shè)定了新標(biāo)準(zhǔn)。提高效率降低了擁有成本，并在整個(gè)壓力范圍內(nèi)提供連續(xù)的泵送任務(wù)iGX干泵--iGX1000N真空泵維修，干泵維修iGX干式泵--iGX100L干式真空泵維修iGX干泵--iGX100M干式真空泵維修，干泵維修，半導(dǎo)體真空泵維修iGX干泵--iGX100MTI干式真空泵維修，干泵維修，半導(dǎo)體真空泵維修iGX干泵--iGX100N干式真空泵維修，干泵維修，半導(dǎo)體真空泵維修iGX干泵--iGX600L干式真空泵維修，干泵維修，半導(dǎo)體真空泵維修iGX干泵--iGX600M干式真空泵維修，干泵維修，半導(dǎo)體真空泵維修iGX干泵--iGX600N干式真空泵維修，干泵維修，半導(dǎo)體真空泵維修。在真空熱處理過程中，真空泵有助于控制溫度和氣氛，優(yōu)化材料性能。廈門真空泵常用知識(shí)

（1）以德國萊寶真空泵維修為例，首先要分析真空泵的故障原因。a)若是真空泵已返油，用手扳動(dòng)皮帶輪旋轉(zhuǎn)數(shù)周，即可起動(dòng)。b)若是由于長期不運(yùn)轉(zhuǎn)或停機(jī)后未放入大氣，可以將真空泵腔內(nèi)充滿真空泵油，然后用手扳動(dòng)皮帶輪旋轉(zhuǎn)數(shù)周，即可起動(dòng)。若是油溫太低導(dǎo)致的啟動(dòng)困難，那么就應(yīng)給油加溫或讓室內(nèi)溫度保持在15度以上，也可以用手扳動(dòng)皮帶輪旋轉(zhuǎn)數(shù)周，再繼續(xù)通電運(yùn)轉(zhuǎn)數(shù)分鐘，即可正常工作。另外，油變質(zhì)了必須更換新的真空泵油，電源缺相，應(yīng)檢修電源。油封旋片真空泵長期使用后，會(huì)出現(xiàn)真空度下降、密封處漏油、真空泵轉(zhuǎn)動(dòng)停滯、甚至發(fā)生“卡死”、油污染嚴(yán)重、真空泵腔生銹、旋片有大的撞擊聲、真空泵腔內(nèi)落入硬物劃傷真空泵腔、造成真空泵過熱等異?，F(xiàn)象，此時(shí)必須對真空泵進(jìn)行拆洗。（2）德國萊寶真空泵維修拆洗步驟如下：a)切斷電源，將真空泵從真空系統(tǒng)上卸下，用重力法或加壓法將臟油放出并收集起來，以免污染環(huán)境；b)卸下皮帶、皮帶輪積鍵(雙級(jí)旋片真空泵包含皮帶);c)先拆低真空端，取下后端蓋，再取出低真空轉(zhuǎn)子、旋片及彈簧等；d)將前端蓋拆下，取出高真空轉(zhuǎn)子、旋片及彈簧等；e)取下視鏡、排氣閥、排氣蓋等；廈門真空泵常用知識(shí)降低了操作難度和出錯(cuò)率，用戶只需簡單的操作就能實(shí)現(xiàn)設(shè)備的啟停和調(diào)節(jié)。

真空機(jī)組一般由真空泵、控制系統(tǒng)、儲(chǔ)氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報(bào)警保護(hù)系統(tǒng)等的全自動(dòng)化控制。工作原理啟動(dòng)系統(tǒng)，主真空泵組開始工作，直到真空罐內(nèi)真空度達(dá)到設(shè)定的上限值，真空泵自動(dòng)停止運(yùn)行，中央真空系統(tǒng)內(nèi)的真空由管路上的真空止回閥自動(dòng)截止而得到維持。如因工作需求真空罐內(nèi)真空度下降并低于設(shè)定的下限值時(shí)，備用真空泵組自動(dòng)啟動(dòng)。由此循環(huán)往復(fù)，真空系統(tǒng)的真空度能夠維持穩(wěn)定的真空源，滿足生產(chǎn)的要求。

PS系列泵型號(hào)如下：型號(hào)：PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802PS系列S／N型特點(diǎn)：抽速：1,600~30,000升/分鐘；極限壓力：7.5x10-3~7.5x10-4Torr；**監(jiān)控系統(tǒng)（選配）可防止泵異常停機(jī)；配備變頻器和接口選項(xiàng)，泵可用于一般真空鍍膜、真空烘箱、熱處理、食品和化學(xué)工業(yè)應(yīng)用。

干式螺桿真空泵A／H型型號(hào)：PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802PS系列A／H型特點(diǎn)：抽速：1,600~30,000升/分鐘；極限壓力：7.5x10-3~7.5x10-4Torr；結(jié)合N2加熱系統(tǒng)，可減少氣體沉淀，延長大修之間的運(yùn)行時(shí)間，延長泵的使用壽命。**監(jiān)控系統(tǒng)（選配）可以防止泵的異常停機(jī)。適用于半導(dǎo)體、TFT-LCD、LED、太陽能相關(guān)、電池和熱處理行業(yè)應(yīng)用。 真空泵是實(shí)驗(yàn)室中不可或缺的設(shè)備，它能夠有效地創(chuàng)造出所需的真空環(huán)境，確保實(shí)驗(yàn)的精確性和可靠性。

供應(yīng)萊寶真空泵維修型號(hào)：萊寶SV系列泵浦，萊寶雙級(jí)泵D系列泵浦，如SV10B、SV16B、SV25B、SV40B、SV65B、SV100B、SV120B、SV200、SV300、SV300B、SV500B、SV630B、SV630BF、SV750B、SV750BF等。雙級(jí)旋片式真空泵D8C、D16C、D30C、D40C、D60C、D65B、D25B、D8A、D60A、D30A等普旭真空泵維修型號(hào)：RA0020、RA0040、RA0063、RA0100、RA0160、RA0250、RA0302、RA0630、R5-0004B、R5-0008B、R5-0010C、R5-0016C、R5-0021C、R5-0025F、R5-0040F、R5-0063F、R5-0100F、R5-0160D、R5-0202D、R5-0250D、R5-0302D、R5-0400B、R5-0502B、R5-0630B、里其樂真空泵維修型號(hào)：VC50、VC75、VC100、VC150、VC200、VC300、VC500、VC700、VGC050、VGC075、VGC0100、VGC0150、VGC0200、VGC0300、VGC0400、VGC0500、VGC0700、貝克真空泵維修型號(hào)：U3.6、U4.20、U4.40、U4.70、U4.100、U4.165、U4.190、U4.250、U4.400、U4.630、無油旋片真空泵VT4.4、VT4.8、VT4.10、VT4.16、VT4.25、VT4.40、DVT3.60、DVT3.80、DVT3.100、DVT3.140、VTLF200、VTLF250、VTLF360、VTLF400、VTLF500離子泵不僅能提供高真空，還能有效去除帶電粒子，保持環(huán)境的純凈。廈門真空泵常用知識(shí)

分子泵在超高真空系統(tǒng)中表現(xiàn)出色，能有效排除殘留氣體分子。廈門真空泵常用知識(shí)

注意事項(xiàng)：?特油100號(hào)真空泵油換油時(shí)真空泵油換油時(shí)必須將舊油排放干凈，將新油從泵的吸氣口倒入，并用手緩慢轉(zhuǎn)動(dòng)泵軸，清掃泵腔并排盡殘油，再重復(fù)清洗泵腔數(shù)次，然后將泵殼內(nèi)的殘油洗凈裝入新油；?100號(hào)真空泵油要配備zhuan用加油工具，不能使用盛過其它油或溶劑的容器；?不同牌號(hào)，不同品種的油不能混用，新舊油不能混用。性能：150號(hào)真空泵油（一級(jí)品）具有適宜的粘度，在低溫下能使真空泵迅速啟動(dòng)，在高溫下具有良好的密封性；分別滿足規(guī)定要求的真空度和使用場合；較好的抗氧化性和熱穩(wěn)定性，降低油垢和結(jié)焦的產(chǎn)生，生產(chǎn)效率更高，延長換油周期；粘度指數(shù)高、閃點(diǎn)高，150號(hào)真空泵油（一級(jí)品）在泵溫升高時(shí)能保持穩(wěn)定的真空壓強(qiáng)，ji限真空更低；較好的抗乳化性，油水分離性強(qiáng)，產(chǎn)生油泥少，長期使用更加清潔；150號(hào)真空泵油（一級(jí)品）較好的抗泡沫性，減少由于溢流、斷流引起泵體的磨損，延長泵的使用壽命。廈門真空泵常用知識(shí)