隨著下游新能源汽車、充電樁、光伏、5G基站等領(lǐng)域的爆發(fā),了對(duì)第三代半導(dǎo)體——碳化硅材料襯底、外延與器件方面的巨大市場(chǎng)需求,國(guó)內(nèi)眾多企業(yè)紛紛通過加強(qiáng)技術(shù)研發(fā)與資本投入布局碳化硅產(chǎn)業(yè),我們首先來探討一下碳化硅襯底的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。碳化硅分為立方相(閃鋅礦結(jié)構(gòu))、六方相(纖鋅礦結(jié)構(gòu))和菱方相3大類共 260多種結(jié)構(gòu),目前只有六方相中的 4H-SiC、6H-SiC才有商業(yè)價(jià)值。另碳化硅根據(jù)電學(xué)性能的不同主要可分為高電阻(電阻率 ≥105Ω·cm)的半絕緣型碳化硅襯底和低電阻(電阻率區(qū)間為 15~30mΩ·cm)的導(dǎo)電型碳化硅襯底,滿足不同功能芯片需求碳化硅襯底的的參考價(jià)格大概是多少?進(jìn)口半絕緣碳化硅襯底
SiC產(chǎn)業(yè)鏈包括上游的襯底和外延環(huán)節(jié)、中游的器件和模塊制造環(huán)節(jié),以及下游的應(yīng)用環(huán)節(jié)。其中襯底的制造是產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)壁壘比較高、價(jià)值量比較大環(huán)節(jié),是未來SiC大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化推進(jìn)的。1)襯底:價(jià)值量占比46%,為的環(huán)節(jié)。由SiC粉經(jīng)過長(zhǎng)晶、加工、切割、研磨、拋光、清洗環(huán)節(jié)終形成襯底。其中SiC晶體的生長(zhǎng)為工藝,難點(diǎn)在提升良率。類型可分為導(dǎo)電型、和半絕緣型襯底,分別用于功率和射頻器件領(lǐng)域。外延:價(jià)值量占比 23%。本質(zhì)是在襯底上面再覆蓋一層薄膜以滿足器件生產(chǎn)的條件。 具體分為:導(dǎo)電型 SiC 襯底用于 SiC 外延,進(jìn)而生產(chǎn)功率器件用于電動(dòng)汽車以及新 能源等領(lǐng)域。半絕緣型 SiC 襯底用于氮化鎵外延,進(jìn)而生產(chǎn)射頻器件用于 5G 通信等 領(lǐng)域。浙江6寸導(dǎo)電碳化硅襯底蘇州質(zhì)量好的碳化硅襯底的公司聯(lián)系方式。
碳化硅SiC的應(yīng)用前景 由于SiC具有上述眾多優(yōu)異的物理化學(xué)性質(zhì),不僅能夠作為一種良好的高溫結(jié)構(gòu)材料,也是一種理想的高溫半導(dǎo)體材料。近20年,伴隨薄膜制備技術(shù)的高速發(fā)展,SiC薄膜已經(jīng)被***應(yīng)用于保護(hù)涂層、光致發(fā)光、場(chǎng)效應(yīng)晶體管、薄膜發(fā)光二極管以及非晶Si太陽能電池的窗口材料等。另外,作為結(jié)構(gòu)材料的SiC薄膜還被認(rèn)為是核聚變堆中比較好的防護(hù)材料,在不銹鋼基體上沉積一層SiC薄膜,可以**地降低氚的滲透率,并保持聚變反應(yīng)的穩(wěn)定性??偨Y(jié)起來,SiC具有以下幾個(gè)方面的應(yīng)用:(1)高的硬度與熱穩(wěn)定性,可用于***涂層;(2)穩(wěn)定的結(jié)構(gòu),在核反應(yīng)技術(shù)中用作核聚變堆等離子體的面對(duì)材料:(3)大的禁帶寬度,可作為光的短波長(zhǎng)區(qū)域發(fā)光材料。例如,3C-SiC的Eg=2.2eV,6H-SiC的Eg=2.9eV可分別用作綠色、藍(lán)色LED材料,目前SiC藍(lán)光LED已經(jīng)商品化;(4)高的熱導(dǎo)率,可作為超大規(guī)模集成電路和特大規(guī)模集成電路的熱沉材料
從襯底的下游晶圓與器件來看,大量生產(chǎn)廠家仍然位于日本、歐洲與美國(guó);但國(guó)內(nèi)生產(chǎn)廠家在襯底領(lǐng)域已經(jīng)擁有了一定的市場(chǎng)份額。根據(jù)Yole數(shù)據(jù),在2020年半絕緣型碳化硅襯底市場(chǎng)中,貳陸公司(II-IV)、科銳公司(Cree)以及天岳先進(jìn)依次占據(jù)甲的位置,市場(chǎng)份額分別為35%、33%和30%,市場(chǎng)高度集中。從資金來看,國(guó)內(nèi)第三代半導(dǎo)體投資力度高企,力爭(zhēng)追趕國(guó)際廠商。根據(jù)CASA披露的數(shù)據(jù)顯示,2018年至今,國(guó)內(nèi)廠商始終加強(qiáng)布局第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),2020年共有24筆投資擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目,增產(chǎn)投資金額超過694億元,其中碳化硅領(lǐng)域共17筆、投資550億元。碳化硅襯底的的性價(jià)比、質(zhì)量哪家比較好?
不同的SiC多型體在半導(dǎo)體特性方面表現(xiàn)出各自的特性。利用SiC的這一特點(diǎn)可以制作SiC不同多型體間晶格完全匹配的異質(zhì)復(fù)合結(jié)構(gòu)和超晶格,從而獲得性能較好的器件.其中6H-SiC結(jié)構(gòu)**為穩(wěn)定,適用于制造光電子器件:p-SiC比6H-SiC活潑,其電子遷移率比較高,飽和電子漂移速度**快,擊穿電場(chǎng)**強(qiáng),較適宜于制造高溫、大功率、高頻器件,及其它薄膜材料(如A1N、GaN、金剛石等)的襯底和X射線的掩膜等。而且,β-SiC薄膜能在同屬立方晶系的Si襯底上生長(zhǎng),而Si襯底由于其面積大、質(zhì)量高、價(jià)格低,可與Si的平面工藝相兼容,所以后續(xù)PECVD制備的SiC薄膜主要是β-SiC薄膜[2]。哪家公司的碳化硅襯底的是有質(zhì)量保障的?天津進(jìn)口6寸led碳化硅襯底
口碑好的碳化硅襯底的公司聯(lián)系方式。進(jìn)口半絕緣碳化硅襯底
碳化硅具有熱導(dǎo)率高(比硅高3倍)、與氮化鎵晶格失配小(4%)等優(yōu)勢(shì),非常適合用作新一代發(fā)光二極管(LED)襯底材料。在《國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要(2006-2020年)》中將碳化硅列為“新一代信息功能材料及器件”,在《中國(guó)制造2025》中明確大尺寸碳化硅單晶襯底為“關(guān)鍵戰(zhàn)略材料”“先進(jìn)半導(dǎo)體材料”??梢院敛豢鋸埖卣f,碳化硅已成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的前沿和制高點(diǎn)。從整體上來看,碳化硅半導(dǎo)體完整產(chǎn)業(yè)鏈包括:碳化硅原料-晶錠-晶片-外延-芯片-器件-模塊,如圖1所示。在LED的制備過程中,上游的碳化硅晶片(襯底)材料是決定LED顏色、亮度、壽命等性能指標(biāo)的主要因素。
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