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山東進口6寸碳化硅襯底

來源: 發(fā)布時間:2023-02-10

隨著電力電子變換系統(tǒng)對于效率和體積提出更高的要求,SiC(碳化硅)將會是越來越合適的半導(dǎo)體器件。尤其針對光伏逆變器和UPS應(yīng)用,SiC器件是實現(xiàn)其高功率密度的一種非常有效的手段。由于SiC相對于Si的一些獨特性,對于SiC技術(shù)的研究,可以追溯到上世界70年代。簡單來說,SiC主要在以下3個方面具有明顯的優(yōu)勢:擊穿電壓強度高(10倍于Si)更寬的能帶隙(3倍于Si)熱導(dǎo)率高(3倍于Si)這些特性使得SiC器件更適合應(yīng)用在高功率密度、高開關(guān)頻率的場合。當然,這些特性也使得大規(guī)模生產(chǎn)面臨一些障礙,直到2000年初單晶SiC晶片出現(xiàn)才開始逐步量產(chǎn)。目前標準的是4英寸晶片,但是接下來6英寸晶片也要誕生,這會導(dǎo)致成本有顯著的下降。而相比之下,當今12英寸的Si晶片已經(jīng)很普遍,如果預(yù)測沒有問題的話,接下來4到5年的時間18英寸的Si晶片也會出現(xiàn)。哪家的碳化硅襯底的價格優(yōu)惠?山東進口6寸碳化硅襯底

    降低碳化硅襯底的成本的三個方法:1)做大尺寸:襯底的尺寸越大,邊緣的浪費就越小,有利于進一步降低芯片的成本。6英寸襯底面積為4英寸襯底的,相同的晶體制備時間內(nèi)襯底面積的倍數(shù)提升帶來襯底成本的大幅降低,與此同時,單片襯底上制備的芯片數(shù)量隨著襯底尺寸增大而增多,單位芯片的成本也即隨之降低。2)提高材料使用效率:由于技術(shù)限制,長晶時間很難縮短,而單位時間內(nèi)長晶越厚成本越低,因此可以設(shè)法增加晶錠厚度;另一方面,目前的切割工藝很容易造成浪費,可以通過激光切割或其他技術(shù)手段減少切割損耗。3)提高良率:以山東天岳為例,碳化硅襯底產(chǎn)品良率逐年提升,綜合良率由30%提升至38%,國內(nèi)廠商良率情況普遍在40%左右,若能提升至60%-70%,碳化硅襯底生產(chǎn)成本將得到進一步下降。 4寸碳化硅襯底導(dǎo)電哪家的碳化硅襯底成本價比較低?

SiC碳化硅是制作高溫、高頻、大功率、高壓器件的理想材料之一:由碳元素和硅元素組成的一種化合物半導(dǎo)體材料。相比傳統(tǒng)的硅材料(Si),碳化硅(SiC)的禁帶寬度是硅的3倍;導(dǎo)熱率為硅的4-5倍;擊穿電壓為硅的8-10倍;電子飽和漂移速率為硅的2-3倍。優(yōu)勢體現(xiàn)在:1)耐高壓特性:更低的阻抗、禁帶寬度更寬,能承受更大的電流和電壓,帶來更小尺寸的產(chǎn)品設(shè)計和更高的效率;2)耐高頻特性:SiC器件在關(guān)斷過程中不存在電流拖尾現(xiàn)象,能有效提高元件的開關(guān)速度(大約是Si的3-10倍),適用于更高頻率和更快的開關(guān)速度;3)耐高溫特性:SiC相較硅擁有更高的熱導(dǎo)率,能在更高溫度下工作。

為提高生產(chǎn)效率并降低成本,大尺寸是碳化硅襯備技術(shù)的重要發(fā)展方向。襯底尺寸越大,單位襯底可制造的芯片數(shù)量越多,單位芯片成本越低。襯底的尺寸越大,邊緣的浪費就越小,有利于進一步降低芯片的成本。在半絕緣型碳化硅市場,目前主流的襯底產(chǎn)品規(guī)格為4英寸。在導(dǎo)電型碳化硅市場,目前主流的襯底產(chǎn)品規(guī)格為6英寸。在8英寸方面,與硅材料芯片相比,8英寸和6英寸SiC生產(chǎn)的主要差別在高溫工藝上,例如高溫離子注入,高溫氧化,高溫等,以及這些高溫工藝所需求的硬掩模工藝等。根據(jù)中國寬禁帶功率半導(dǎo)體及應(yīng)用產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟的預(yù)測,預(yù)計2020~2025年國內(nèi)市場的需求,4英寸逐步從10萬片市場減少到5萬片,6英寸晶圓將從8萬片增長到20萬片;2025~2030年:4英寸晶圓將逐漸退出市場,6英寸晶圓將增長至40萬片。碳化硅襯底的類別一般有哪些?

    在4H-SiC材料和器件發(fā)展方面,美國處于國際地位,已經(jīng)從探索性研究階段向大規(guī)模研究和應(yīng)用階段過渡。CREE公司已經(jīng)生產(chǎn)出4英寸(100mm)零微管(ZMP)n型SiC襯底。同時,螺旋位錯(screwdislocation)密度被降低到幾十個/cm2。商用水平比較高的器件:4H-SiCMESFET在S-波段連續(xù)波工作60W(,ldB壓縮),漏效率45%(,POUT=PldB),工作頻率至。近期CREE公司生產(chǎn)的CRF35010性能達到:工作電壓48V,輸出功率10W,工作頻率,線性增益10dB;美國正在逐步將這種器件裝備在***武器上,如固態(tài)相控陣雷達系統(tǒng)、***通訊電子系統(tǒng)、高頻電源系統(tǒng)、電子戰(zhàn)系統(tǒng)——干擾和威脅信號預(yù)警等。其中Cree公司的SiCMESFET功率管已經(jīng)正式裝備美國海軍的新一代預(yù)警機E2D樣機。近期俄羅斯、歐洲和日本加快發(fā)展,SiC材料生長和器件制造技術(shù)也在不斷走向成熟。 碳化硅襯底的使用時要注意什么?四川進口4寸n型碳化硅襯底

質(zhì)量比較好的碳化硅襯底的公司。山東進口6寸碳化硅襯底

碳化硅是技術(shù)密集型行業(yè),對研發(fā)人員操作經(jīng)驗、資金投入有較高要求。國際巨頭半導(dǎo)體公司研發(fā)早于國內(nèi)公司數(shù)十年,提前完成了技術(shù)積累工作。因此,國內(nèi)企業(yè)存在人才匱乏、技術(shù)水平較低的困難,制約了半導(dǎo)體行業(yè)的產(chǎn)業(yè)化進程發(fā)展。而在碳化硅第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,行業(yè)整體處于產(chǎn)業(yè)化初期,中國企業(yè)與海外企業(yè)的差距明顯縮小。受益于中國5G通訊、新能源等新興產(chǎn)業(yè)的技術(shù)水平、產(chǎn)業(yè)化規(guī)模的地位,國內(nèi)碳化硅器件巨大的應(yīng)用市場空間驅(qū)動上游半導(dǎo)體行業(yè)快速發(fā)展,國內(nèi)碳化硅廠商具有自身優(yōu)勢。在全球半導(dǎo)體材料供應(yīng)不足的背景下,國際企業(yè)紛紛提出碳化硅產(chǎn)能擴張計劃并保持高研發(fā)投入。同時,國內(nèi)本土SiC廠家加速碳化硅領(lǐng)域布局,把握發(fā)展機會,追趕國際企業(yè)。山東進口6寸碳化硅襯底

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