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蘇州碳化硅襯底6寸導(dǎo)電

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-02-02

為提高生產(chǎn)效率并降低成本,大尺寸是碳化硅襯備技術(shù)的重要發(fā)展方向。襯底尺寸越大,單位襯底可制造的芯片數(shù)量越多,單位芯片成本越低。襯底的尺寸越大,邊緣的浪費(fèi)就越小,有利于進(jìn)一步降低芯片的成本。在半絕緣型碳化硅市場(chǎng),目前主流的襯底產(chǎn)品規(guī)格為4英寸。在導(dǎo)電型碳化硅市場(chǎng),目前主流的襯底產(chǎn)品規(guī)格為6英寸。在8英寸方面,與硅材料芯片相比,8英寸和6英寸SiC生產(chǎn)的主要差別在高溫工藝上,例如高溫離子注入,高溫氧化,高溫等,以及這些高溫工藝所需求的硬掩模工藝等。根據(jù)中國(guó)寬禁帶功率半導(dǎo)體及應(yīng)用產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟的預(yù)測(cè),預(yù)計(jì)2020~2025年國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的需求,4英寸逐步從10萬(wàn)片市場(chǎng)減少到5萬(wàn)片,6英寸晶圓將從8萬(wàn)片增長(zhǎng)到20萬(wàn)片;2025~2030年:4英寸晶圓將逐漸退出市場(chǎng),6英寸晶圓將增長(zhǎng)至40萬(wàn)片。哪家碳化硅襯底的質(zhì)量比較好。蘇州碳化硅襯底6寸導(dǎo)電

由于電動(dòng)汽車(EV)和其他系統(tǒng)的快速增長(zhǎng),對(duì)碳化硅(SiC)襯底和功率半導(dǎo)體的需求正在激增。由于需求量大,市場(chǎng)上SiC基板、晶圓和SiC基器件供應(yīng)緊張,促使一些供應(yīng)商在晶圓尺寸轉(zhuǎn)換過(guò)程中增加晶圓廠產(chǎn)能。一些SiC器件制造商正在晶圓廠從4英寸晶圓過(guò)渡到6英寸晶圓。SiC(碳化硅功率器件)是一種基于硅和碳的化合物半導(dǎo)體材料。在生產(chǎn)流程中,專門的碳化硅襯底和晶圓被開(kāi)發(fā),然后在晶圓廠中進(jìn)行加工,從而形成基于碳化硅的功率半導(dǎo)體。許多基于SiC的電源半成品和競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的技術(shù)都是晶體管,可以在高壓下切換設(shè)備中的電流。它們被用于電力電子領(lǐng)域,在電力電子領(lǐng)域中,設(shè)備轉(zhuǎn)換和控制系統(tǒng)中的電力。廣州4寸sic碳化硅襯底如何挑選一款適合自己的碳化硅襯底?

碳化硅襯底成本下降趨勢(shì)可期。在碳化硅器件成本結(jié)構(gòu)中,襯底成本約占50%。碳化硅襯底較低的供應(yīng)量和較高的價(jià)格一直是制約碳化硅基器件大規(guī)模應(yīng)用的主要因素之一,碳化硅襯底需要在2500度高溫設(shè)備下進(jìn)行生產(chǎn),而硅晶只需1500度;碳化硅晶圓約需要7至10天,而硅晶棒只需要2天半;目前碳化硅晶圓主要是4英寸與6英寸,而用于功率器件的硅晶圓以8英寸為主,這意味著碳化硅單晶片所產(chǎn)芯片數(shù)量較少、碳化硅芯片制造成本較高,目前碳化硅功率器件的價(jià)格仍數(shù)倍于硅基器件,下游應(yīng)用領(lǐng)域仍需平衡碳化硅器件的高價(jià)格與碳化硅器件優(yōu)越性能帶來(lái)的綜合成本下降間的關(guān)系。

現(xiàn)在,SiC材料正在大舉進(jìn)入功率半導(dǎo)體領(lǐng)域。一些的半導(dǎo)體器件廠商,如羅姆(ROHM)株式會(huì)社、英飛凌科技公司、Cree、飛兆國(guó)際電子有限公司等都在開(kāi)發(fā)自己的SiC功率器件。英飛凌科技公司在今年推出了第5代SiC肖特基勢(shì)壘二極管,它結(jié)合了第3代產(chǎn)品的低容性電荷(Qc)特性與第2代產(chǎn)品中的低正向電壓(Vf)特性,使PFC電路達(dá)到高效率水平,擊穿電壓則達(dá)到了650V。飛兆半導(dǎo)體發(fā)布了SiC BJT,實(shí)現(xiàn)了1 200V的耐壓,傳導(dǎo)和開(kāi)關(guān)損耗相對(duì)于傳統(tǒng)的Si器件降低了30%~50%,從而能夠在相同尺寸的系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)高達(dá)40%的輸出功率提升。碳化硅襯底的的參考價(jià)格大概是多少?

設(shè)備制造商之間的一場(chǎng)大戰(zhàn)正在牽引逆變器領(lǐng)域展開(kāi),尤其是純電池電動(dòng)汽車。一般來(lái)說(shuō),混合動(dòng)力車正朝著48伏電池的方向發(fā)展。對(duì)于動(dòng)力發(fā)明家來(lái)說(shuō),SiC對(duì)于混合動(dòng)力車來(lái)說(shuō)通常太貴了,盡管有例外。與混合動(dòng)力一樣,純電池電動(dòng)汽車由牽引逆變器組成。高壓母線將逆變器連接到蓄電池和電機(jī)。電池為汽車提供能量。驅(qū)動(dòng)車輛的電機(jī)有三個(gè)接頭或電線。這三個(gè)連接延伸至牽引逆變器,然后連接至逆變器模塊內(nèi)的六個(gè)開(kāi)關(guān)。每個(gè)開(kāi)關(guān)實(shí)際上都是一個(gè)功率半導(dǎo)體,在系統(tǒng)中用作電開(kāi)關(guān)。對(duì)于開(kāi)關(guān),現(xiàn)有的技術(shù)是IGBT。因此,牽引逆變器可能由六個(gè)額定電壓為1200伏的IGBT組成。哪家公司的碳化硅襯底的是口碑推薦?蘇州碳化硅襯底6寸導(dǎo)電

碳化硅襯底的的性價(jià)比、質(zhì)量哪家比較好?蘇州碳化硅襯底6寸導(dǎo)電

    為何半絕緣型與導(dǎo)電型碳化硅襯底技術(shù)壁壘都比較高?PVT方法中SiC粉料純度對(duì)晶片質(zhì)量具有較大影響。粉料中一般含有極微量的氮(N),硼(B)、鋁(Al)、鐵(Fe)等雜質(zhì),其中氮是n型摻雜劑,在碳化硅中產(chǎn)生游離的電子,硼、鋁是p型摻雜劑,產(chǎn)生游離的空穴。為了制備n型導(dǎo)電碳化硅晶片,在生長(zhǎng)時(shí)需要通入氮?dú)?,讓它產(chǎn)生的一部分電子中和掉硼、鋁產(chǎn)生的空穴(即補(bǔ)償),另外的游離電子使碳化硅表現(xiàn)為n型導(dǎo)電。為了制備高阻不導(dǎo)電的碳化硅(半絕緣型),在生長(zhǎng)時(shí)需要加入釩(V)雜質(zhì),釩既可以產(chǎn)生電子,也可以產(chǎn)生空穴,讓它產(chǎn)生的電子中和掉硼、鋁產(chǎn)生的空穴(即補(bǔ)償),它產(chǎn)生的空穴中和掉氮產(chǎn)生的電子,所以所生長(zhǎng)的碳化硅幾乎沒(méi)有游離的電子、空穴,形成高阻不導(dǎo)電的晶片(半絕緣型)。摻釩工藝復(fù)雜,所以半絕緣碳化硅很難制備,成本很高。近年來(lái)也出現(xiàn)了通過(guò)點(diǎn)缺陷來(lái)實(shí)現(xiàn)高阻半絕緣碳化硅的方法。p型導(dǎo)電碳化硅也不容易制備,特別是低阻的p型碳化硅更不容易制備。 蘇州碳化硅襯底6寸導(dǎo)電

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