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成都4寸碳化硅襯底

來源: 發(fā)布時間:2023-02-02

    碳化硅是由碳元素和硅元素組成的一種化合物半導(dǎo)體材料,它與氮化鎵(GaN)、氮化鋁(AlN)、氧化鎵(Ga2O3)等,因禁帶寬度大于,在國內(nèi)也稱為第三代半導(dǎo)體材料。目前,以氮化鎵、碳化硅為的第三代半導(dǎo)體材料及相關(guān)器件芯片已成為全球高技術(shù)領(lǐng)域競爭戰(zhàn)略制高爭奪點。而對于碳化硅和氮化鎵這兩種芯片,如果想很大程度利用其材料本身的特性,較為理想的方案便是在碳化硅單晶襯底上生長外延層。在碳化硅上長同質(zhì)外延很好理解,憑借著禁帶寬度大、擊穿電場高、飽和電子漂移速度高、熱導(dǎo)率大等優(yōu)勢,碳化硅特別適于制造耐高溫、耐高壓,耐大電流的高頻大功率的器件,因此在電動汽車、電源、、航天等領(lǐng)域很被看好。 哪家公司的碳化硅襯底是比較劃算的?成都4寸碳化硅襯底

在逆變器中,有六個IGBT,每個IGBT都有一個單獨的硅基二極管。使用二極管有幾個原因?!盧ohm的VanOchten說:“IGBT不喜歡極性接通或跨接電壓。”因此,需要在每個IGBT上添加一個二極管,以防止在關(guān)閉開關(guān)時損壞它。”提高系統(tǒng)效率的一種方法是更換硅二極管。”提高牽引逆變器效率的第一步是將IGBT留在其中。但是,你用碳化硅二極管代替普通的硅二極管,”他說碳化硅二極管具有更好的性能。這將使您的效率提高幾個百分點?!笨梢钥隙ǖ氖牵蓟枵谏郎?,電動汽車也在升溫。如果供應(yīng)商能夠降低成本,SiCpower半成品似乎處于主導(dǎo)地位。好消息是4英寸和6英寸尺寸的SiC基板和晶圓的生產(chǎn)能力迅速擴大,這將很快降低SiC基板和晶圓的成本。杭州進(jìn)口6寸碳化硅襯底哪家公司的碳化硅襯底的口碑比較好?

    半絕緣型碳化硅襯底主要應(yīng)用于制造氮化鎵射頻器件。通過在半絕緣型碳化硅襯底上生長氮化鎵外延層,制得碳化硅基氮化鎵外延片,可進(jìn)一步制成氮化鎵射頻器件;導(dǎo)電型碳化硅襯底主要應(yīng)用于制造功率器件。與傳統(tǒng)硅功率器件制作工藝不同,碳化硅功率器件不能直接制作在碳化硅襯底上,需在導(dǎo)電型襯底上生長碳化硅外延層得到碳化硅外延片,并在外延層上制造各類功率器件。大尺寸碳化硅襯底有助于實現(xiàn)降本增效,已成主流發(fā)展趨勢。襯底尺寸越大,單位襯底可生產(chǎn)更多的芯片,因而單位芯片成本越低,同時邊緣浪費的減少將進(jìn)一步降低芯片生產(chǎn)成本。目前業(yè)內(nèi)企業(yè)量產(chǎn)的碳化硅襯底主要以4英寸和6英寸為主,在半絕緣型碳化硅市場,目前襯底規(guī)格以4英寸為主;而在導(dǎo)電型碳化硅市場,目前主流的襯底產(chǎn)品規(guī)格為6英寸。國際巨頭CREE、II-VI以及國內(nèi)的爍科晶體都已成功研發(fā)8英寸襯底產(chǎn)品。

碳化硅襯底主要有導(dǎo)電型及半絕緣型兩種。其中,在導(dǎo)電型碳化硅襯底上生長碳化硅外延層制得碳化硅外延片,可進(jìn)一步制成碳化硅功率器件,應(yīng)用于新能源汽車、光伏發(fā)電、軌道交通、智能電網(wǎng)、航空航天等領(lǐng)域;在半絕緣型碳化硅襯底上生長氮化鎵外延層可以制得碳化硅基氮化鎵外延片,可進(jìn)一步制成微波射頻器件,應(yīng)用于5G通訊、雷達(dá)等領(lǐng)域。中國碳化硅襯底領(lǐng)域的研究從20世紀(jì)90年代末開始,在行業(yè)發(fā)展初期受到技術(shù)水平、設(shè)備規(guī)模產(chǎn)能的限制,未能進(jìn)入工業(yè)化生產(chǎn)。21世紀(jì),中國企業(yè)歷經(jīng)20年的研發(fā)與摸索,已經(jīng)掌握了2-6英寸碳化硅襯底的生產(chǎn)加工技術(shù)。如何選擇一家好的碳化硅襯底公司。

現(xiàn)在,SiC材料正在大舉進(jìn)入功率半導(dǎo)體領(lǐng)域。一些**的半導(dǎo)體器件廠商,如羅姆(ROHM)株式會社、英飛凌科技公司、Cree、飛兆國際電子有限公司等都在開發(fā)自己的SiC功率器件。英飛凌科技公司在今年推出了第5代SiC肖特基勢壘二極管,它結(jié)合了第3代產(chǎn)品的低容性電荷(Qc)特性與第2代產(chǎn)品中的低正向電壓(Vf)特性,使PFC電路達(dá)到**高效率水平,擊穿電壓則達(dá)到了650V。飛兆半導(dǎo)體發(fā)布了SiCBJT,實現(xiàn)了1200V的耐壓,傳導(dǎo)和開關(guān)損耗相對于傳統(tǒng)的Si器件降低了30%~50%,從而能夠在相同尺寸的系統(tǒng)中實現(xiàn)高達(dá)40%的輸出功率提升。ROHM公司則推出了1200V的第2代SiC制MOSFET產(chǎn)品,實現(xiàn)了SiC-SBD與SiC-MOSFET的一體化封裝,與Si-IGBT相比,工作損耗降低了70%,并可達(dá)到50kHz以上的開關(guān)頻率。值得一提的是,IGBT的驅(qū)動比較復(fù)雜,如果使用SiC基的MOSFET,則能使系統(tǒng)開發(fā)的難度大為降低。SiC的市場頗為看好,根據(jù)預(yù)測,到2022年,市場規(guī)模將達(dá)到40億美元,年平均復(fù)合增長率可達(dá)到45%蘇州好的碳化硅襯底的公司。北京進(jìn)口4寸導(dǎo)電碳化硅襯底

碳化硅襯底應(yīng)用于什么樣的場合?成都4寸碳化硅襯底

碳化硅屬于第三代半導(dǎo)體材料,在低功耗、小型化、高壓、高頻的應(yīng)用場景有極大優(yōu)勢。第三代半導(dǎo)體材料以碳化硅、氮化鎵為,與前兩代半導(dǎo)體材料相比比較大的優(yōu)勢是較寬的禁帶寬度,保證了其可擊穿更高的電場強度,適合制備耐高壓、高頻的功率器件。碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈分為襯底材料制備、外延層生長、器件制造以及下游應(yīng)用。通常采用物相傳輸法(PVT法)制備碳化硅單晶,再在襯底上使用化學(xué)氣相沉積法(CVD法)等生成外延片,制成相關(guān)器件。在SiC器件的產(chǎn)業(yè)鏈中,由于襯造工藝難度大,產(chǎn)業(yè)鏈價值量主要集中于上游襯底環(huán)節(jié)。成都4寸碳化硅襯底

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